一种液体循环系统和液体循环方法技术方案

本发明专利技术提供了一种液体循环系统和液体循环方法，开启液泵并使得控制阀处于关闭，以使得液箱内的液体通过第一管路流入液泵并从所述液泵通过第二管路流向一外部单元后通过第三管路流入液箱；监测元件监测所述第二管路的液体流量；控制阀根据所述监测元件的监测结果决定是否开启，所述控制阀开启时，液体从所述液泵通过第四管路流向所述液箱。在本发明专利技术提供的液体循环系统和液体循环方法中，根据监测元件的监测结果开启所述控制阀对所述液泵进行排气，这种排气方法操作方便且易于控制，并且排气时基本不会有液体泄漏的风险。

A liquid circulation system and method

The invention provides a liquid circulation system and a liquid circulation method. The liquid pump is opened and the control valve is closed, so that the liquid in the liquid tank flows into the liquid pump through the first pipeline and flows to an external unit through the second pipeline, and then flows into the liquid tank through the third pipeline; the monitoring element monitors the liquid flow of the second pipeline; the control valve monitors the liquid flow of the second pipeline according to the monitoring element When the control valve is opened, the liquid flows from the liquid pump to the liquid tank through the fourth pipeline. In the liquid circulation system and the liquid circulation method provided by the invention, the control valve is opened according to the monitoring result of the monitoring element to exhaust the liquid pump, the exhaust method is convenient to operate and easy to control, and there is basically no risk of liquid leakage during the exhaust.

【技术实现步骤摘要】
一种液体循环系统和液体循环方法
本专利技术涉及温控设备
，尤其涉及一种液体循环系统和液体循环方法。
技术介绍
液体循环系统被广泛应用于各行各业中，如：暖通空调行业中的风机盘管系统和半导体行业中的光刻机的环境分系统、刻蚀机的外部辅助液体温控设备等，在液体循环系统使用中，液体循环系统的动力部件为液泵，液泵的可靠运行对系统来说至关重要，但是液体循环系统的液泵内经常含有空气，可能造成如下问题：1、无法对外部单元精准控温，2、液泵内含有空气，对液泵有害，3、液体中的气体会对管路造成侵蚀。现有技术常用的排气方法是用扳手拧开液泵或液泵出口管路上的排气口，进行液泵排空，但是这种操作麻烦，而且还有泄露液体的风险，造成污染和浪费。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种液体循环系统和排气方法，以解决现有技术中的液泵排气不方便的问题。为了达到上述目的，本专利技术提供了一种液体循环系统，所述液体循环系统包括：液箱、液泵、监测元件、第一管路、第二管路、第三管路、第四管路和控制阀；所述液箱内的液体通过所述第一管路流入液泵，所述液泵用于将从所述液箱流出的液体加压并通过所述第二管路作用于一外部单元后通过所述第三管路流入所述液箱；所述监测元件设置在所述第二管路上，所述监测元件用于监测所述第二管路的液体流量；所述第四管路连接所述液箱和所述液泵或者所述第四管路连接所述液箱和所述第二管路，所述控制阀根据所述监测元件的监测结果决定是否开启，所述控制阀开启时，液体通过所述第四管路流向所述液箱。>可选的，在所述液体循环系统中，所述液体循环系统还包括控制单元，所述控制单元与所述控制阀和所述监测元件分别连接，所述控制单元用于获取所述监测元件的监测结果并根据所述监测结果控制所述控制阀的开启和关闭。可选的，在所述液体循环系统中，所述液体循环系统还包括显示单元，所述显示单元与所述控制单元连接，所述显示单元用于显示所述监测结果。可选的，在所述液体循环系统中，所述液体循环系统还包括温控单元，所述温控单元设置在所述第三管路上，所述温控单元用于液体温度的控制。可选的，在所述液体循环系统中，所述液泵具有第一出口，所述第一出口连接所述第二管路，所述液泵或所述第二管路上具有第二出口，所述第二出口连接所述第四管路。可选的，在所述液体循环系统中，所述控制阀选自于电磁阀和手动球阀。相应地，本专利技术还提供了一种如上述所述的液体循环系统的液体循环方法，所述液体循环方法包括：开启液泵并使得控制阀处于关闭状态，以使得液箱内的液体通过第一管路流入液泵并从所述液泵通过第二管路流向一外部单元后通过第三管路流入液箱，监测元件监测所述第二管路的液体流量；控制阀根据所述监测元件的监测结果决定是否开启，所述控制阀开启时，液体从所述液泵通过第四管路流向所述液箱。可选的，在所述的液体循环方法中，所述液体循环方法还包括：显示单元显示所述监测元件的监测结果。可选的，在所述的液体循环方法中，所述液体循环方法还包括：控制单元判断所述监测元件的监测结果是否小于预设值，若小于预设值，则控制单元控制所述控制阀开启。可选的，在所述的液体循环方法中，所述液体循环方法还包括：若监测元件的监测结果大于预设值，则保持所述控制阀处于关闭状态。在本专利技术提供的一种液体循环系统和液体循环方法中，通过在第二管路上设置监测元件，所述监测元件监控所述第二管路的液体流量；增加第四管路连接所述液泵和所述液箱，并在第四管路上设置控制阀，根据所述监测元件的监测结果开启所述控制阀对所述液泵进行排气，这种排气方法操作方便且易于控制，并且排气时不会有液体泄漏的风险。附图说明图1是本专利技术一实施例的循环系统的结构示意图；图2是本专利技术另一实施例的循环系统的结构示意图；图3是本专利技术实施例的液体循环方法的流程图；图中：100-液体循环系统、110-液箱、120-液泵、130-监测元件、141-第一管路、142-第二管路、143-第三管路、144-第四管路、150-控制阀、160-外部单元、170-控制单元、180-显示单元、190-温控单元、191-冷却单元、192-加热单元。具体实施方式下面将结合示意图对本专利技术的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述和权利要求书，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。参照图1和图2，本专利技术提供了一种液体循环系统100，所述液体循环系统100包括：液箱110、液泵120、监测元件130、第一管路141、第二管路142、第三管路143、第四管路144和控制阀150；所述液箱110内的液体通过所述第一管路141流入液泵120，所述液泵120用于将从所述液箱110流出的液体加压并通过所述第二管路142作用于一外部单元160后通过所述第三管路143流入所述液箱110；所述监测元件130设置在所述第二管路142上，所述监测元件130用于监测所述第二管路142的液体流量；所述第四管路144连接所述液箱110和所述液泵120或者所述第四管路140连接所述液箱110和所述第二管路142，所述控制阀150设置在所述第四管路144上，所述控制阀150根据所述监测元件130的监测结果决定是否开启，所述控制阀150开启时，液体通过第四管路144流向所述液箱110。进一步的，所述液体循环系统100还包括控制单元170，所述控制单元170与所述控制阀150和所述监测元件130分别连接，所述控制单元170用于获取所述监测元件130的监测结果并根据监测结果控制所述控制阀150的开启和关闭。所述控制单元170与所述控制阀150和所述监测元件130的连接方式可以是无线连接也可以是有线连接。所述监测元件130可以选用流量传感器，所述控制单元170可以获取所述监测元件130的监测结果，在此即流量传感器感测到的所述第二管路142的液体流量(的具体值)，并可以进一步的判断监测结果是否小于设定值，从而判断所述液泵120是否需要排气。进一步的，所述液体循环系统100还包括显示单元180，所述显示单元180与所述控制单元170连接，所述显示单元180显示所述监测元件130的监测结果。在本申请的其他实施例中，所述显示单元180也可以直接与所述监测元件130连接以显示所述监测结果。显示单元180可以选用显示屏，操作人员可以从显示屏上时刻观察到第二管路142中的液体流量(的具体值)。进一步的，所述液体循环系统100还包括温控单元190，所述温控单元190设置在所述第三管路143上，所述温控单元190用于液体温度的控制。所述温控单元190可以包括冷却单元191和加热单元192，所述冷却单元191可以对液体进行降温，所述加热单元192可以对液体进行加温，所述冷却单元191和所述加热单元192都起到对液体温度调控的作用以使得循环的液体能够达到/保持所需的温度，而所述外部单元1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液体循环系统，其特征在于，所述液体循环系统包括：液箱、液泵、监测元件、第一管路、第二管路、第三管路、第四管路和控制阀；/n所述液箱内的液体通过所述第一管路流入液泵，所述液泵用于将从所述液箱流出的液体加压并通过所述第二管路作用于一外部单元后通过所述第三管路流入所述液箱；/n所述监测元件设置在所述第二管路上，所述监测元件用于监测所述第二管路的液体流量；/n所述第四管路连接所述液箱和所述液泵或者所述第四管路连接所述液箱和所述第二管路，所述控制阀设置在所述第四管路上，所述控制阀根据所述监测元件的监测结果决定是否开启，所述控制阀开启时，液体通过所述第四管路流向所述液箱。/n

【技术特征摘要】
1.一种液体循环系统，其特征在于，所述液体循环系统包括：液箱、液泵、监测元件、第一管路、第二管路、第三管路、第四管路和控制阀；
所述液箱内的液体通过所述第一管路流入液泵，所述液泵用于将从所述液箱流出的液体加压并通过所述第二管路作用于一外部单元后通过所述第三管路流入所述液箱；
所述监测元件设置在所述第二管路上，所述监测元件用于监测所述第二管路的液体流量；
所述第四管路连接所述液箱和所述液泵或者所述第四管路连接所述液箱和所述第二管路，所述控制阀设置在所述第四管路上，所述控制阀根据所述监测元件的监测结果决定是否开启，所述控制阀开启时，液体通过所述第四管路流向所述液箱。


2.如权利要求1所述的液体循环系统，其特征在于，所述液体循环系统还包括控制单元，所述控制单元与所述控制阀和所述监测元件分别连接，所述控制单元用于获取所述监测元件的监测结果并根据所述监测结果控制所述控制阀的开启和关闭。


3.如权利要求2所述的液体循环系统，其特征在于，所述液体循环系统还包括显示单元，所述显示单元与所述控制单元连接，所述显示单元用于显示所述监测结果。


4.如权利要求1所述的液体循环系统，其特征在于，所述液体循环系统还包括温控单元，所述温控单元设置在所述第三管路上，所述温控单元用于液体温度的控制。

【专利技术属性】
技术研发人员：王明，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31