钢管连续式溅射镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种钢管连续式溅射镀膜机，包括若干相互连通的第一腔室和第二腔室，首尾两个所述第一腔室上分别安装有前门阀和后门阀，部分所述第一腔室上连接有真空泵组，连接有真空泵组的所述第一腔室上分别设有两部传动组件，所述传动组件上设有与运输小车底部齿条相啮合的第一齿轮，所述传动组件上设有到位行程开关机构；所述第一腔室内设有运输小车的行驶导轨，所述第二腔室上设有回程输送系统，所述回程输送系统上设有与运输小车底部齿条相啮合的第二齿轮。本实用新型专利技术有益效果：不仅能够提高镀膜效率，而且使成膜质量好，同时膜层均匀性高以及靶材利用率高。

Continuous sputtering coating machine for steel pipe

The utility model discloses a steel pipe continuous sputter coating machine, which comprises a number of interconnected first chambers and a second chamber. The first and the last two chambers are respectively equipped with a front door valve and a rear door valve. Part of the first chamber is connected with a vacuum pump group, and the first chamber connected with a true air pump group is respectively equipped with two transmission components. The transmission components are equipped with The first gear meshed with the rack at the bottom of the transport car is provided with a travel switch mechanism on the transmission component; the first chamber is provided with a travel guide rail of the transport car, the second chamber is provided with a return conveying system, and the return conveying system is provided with a second gear meshed with the rack at the bottom of the transport car. The utility model has the advantages of not only improving the coating efficiency, but also improving the film forming quality, high film uniformity and high target utilization rate.

【技术实现步骤摘要】
钢管连续式溅射镀膜机
本技术涉及镀膜
，具体来说，涉及一种钢管连续式溅射镀膜机。
技术介绍
目前的金属管镀膜机是单腔室镀膜机，其中，单腔室式镀膜机，每次进出料腔室需要暴露大气，造成膜层质量不稳定、抽真空时间长，产能低，且很难兼容多种规格的金属管，尤其是不同长度的金属管，而且受靶的限制，很难给长度超过4m的管子镀膜，靶材利用率也不高。针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
针对相关技术中的上述技术问题，本技术提出一种钢管连续式溅射镀膜机，不仅能够提高镀膜效率，而且使成膜质量好，同时膜层均匀性高以及靶材利用率高。为实现上述技术目的，本技术的技术方案是这样实现的：一种钢管连续式溅射镀膜机，包括若干相互连通的第一腔室和第二腔室，首尾两个所述第一腔室上分别安装有前门阀和后门阀，部分所述第一腔室上连接有真空泵组，连接有真空泵组的所述第一腔室上分别设有两部传动组件，所述传动组件上设有与运输小车底部齿条相啮合的第一齿轮，所述传动组件上设有到位行程开关机构；所述第一腔室内设有运输小车的行驶导本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，包括若干相互连通的第一腔室和第二腔室，首尾两个所述第一腔室上分别安装有前门阀（13）和后门阀（14），部分所述第一腔室上连接有真空泵组（15），连接有真空泵组（15）的所述第一腔室上分别设有两部传动组件，所述传动组件上设有与运输小车（9）底部齿条相啮合的第一齿轮，所述传动组件上设有到位行程开关机构；所述第一腔室内设有运输小车（9）的行驶导轨，所述第二腔室上设有回程输送系统（12），所述回程输送系统（12）上设有与运输小车（9）底部齿条相啮合的第二齿轮。/n

【技术特征摘要】
1.一种钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，包括若干相互连通的第一腔室和第二腔室，首尾两个所述第一腔室上分别安装有前门阀（13）和后门阀（14），部分所述第一腔室上连接有真空泵组（15），连接有真空泵组（15）的所述第一腔室上分别设有两部传动组件，所述传动组件上设有与运输小车（9）底部齿条相啮合的第一齿轮，所述传动组件上设有到位行程开关机构；所述第一腔室内设有运输小车（9）的行驶导轨，所述第二腔室上设有回程输送系统（12），所述回程输送系统（12）上设有与运输小车（9）底部齿条相啮合的第二齿轮。


2.根据权利要求1所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，所述第一腔室包括依次相互连通的第一过渡腔室（2）、预热腔室（3）、第一保温腔室（4）、镀膜腔室（5）、第二保温腔室（6）、传输腔室（7）和第二过渡腔室（8），其中，所述前门阀（13）设于所述第一过渡腔室（2）前端，所述后门阀（14）设于所述第二过渡腔室（8）后端。


3.根据权利要求2所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，所述真空泵组（15）分别与所述第一过渡腔室（2）、预热腔室（3）、第一保温腔室（4）、传输腔室（7）和第二过渡腔室（...

【专利技术属性】
技术研发人员：王峥，龙睿芬，薛道荣，
申请(专利权)人：北京奥普科星技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11