一种大尺寸碲化镉太阳能电池镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种大尺寸碲化镉太阳能电池镀膜装置，包括：蒸发腔体，蒸发源，蒸发源挡板，衬底加热器，衬底支撑架，真空泵，机械臂，本实用新型专利技术将蒸发源置于玻璃衬底上方，使玻璃衬底的上表面温度高于下表面，由表面热胀冷缩所产生的形变与重力所产生的形变抵消，有效解决了大面积玻璃在高温下的形变问题。

A coating device for large size CdTe solar cells

The utility model discloses a large-scale cadmium telluride solar cell coating device, which comprises an evaporation chamber, a evaporation source, a evaporation source baffle, a substrate heater, a substrate support frame, a vacuum pump and a mechanical arm. The utility model places the evaporation source on the top of the glass substrate, so that the temperature of the upper surface of the glass substrate is higher than the lower surface, and the deformation and gravity caused by the surface thermal expansion and contraction The deformation cancellation can effectively solve the deformation problem of large area glass at high temperature.

【技术实现步骤摘要】
一种大尺寸碲化镉太阳能电池镀膜装置
本技术涉及一种镀膜装置，具体涉及一种大尺寸碲化镉太阳能电池镀膜装置。
技术介绍
碲化镉(CdTe)薄膜太阳电池是以CdTe为吸收层的一种化合物半导体薄膜太阳电池，具有很高的光吸收系数，因其转化效率高、成本低廉的特点，受到很多研究构和公司的关注。目前市场上的提供的碲化镉(CdTe)薄膜太阳电池主要尺寸为0.6m*1.2m的太阳能电池，随着1500V光伏系统的普及以及光伏建筑一体化市场的繁荣，更大尺寸的碲化镉太阳能电池组件成为了未来的发展趋势。目前碲化镉太阳能电池的光吸收层制备技术主要采用蒸发镀膜的技术，其工作原理是：将填装碲化镉原料的坩埚放置在玻璃衬底下方，通过对坩埚进行加热，坩埚中的碲化镉进行升华，碲化镉蒸汽遇到温度相对低的玻璃衬底，生长成碲化镉薄膜。该方法适合具有饱和蒸汽压低、容易升华的物质沉积成膜，但是该方法在制备大尺寸产品时也有一些缺陷：1、玻璃变形量大。玻璃在高温情况下，受重力影响较大，玻璃尺寸越大形变越严重，且由于坩埚温度较高，对衬底的温度的影响较大，容易形成玻璃表面上冷下热，玻璃变形加剧；本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种大尺寸碲化镉太阳能电池镀膜装置，其特征在于，包括：/n蒸发腔体；/n蒸发源，设置于所述蒸发腔体顶部；/n蒸发源挡板，设置于所述蒸发源下侧，所述蒸发源挡板与蒸发源之间为铰链连接，镀膜装置不工作时，蒸发源挡板置于蒸发源正下方，镀膜装置工作时，蒸发源与移动至蒸发源侧部；/n衬底加热器，设置于所述蒸发腔体底部；/n衬底支撑架，设置于所述衬底加热器外侧，可以围绕衬底加热器进行圆周旋转；/n真空泵，设置于所述蒸发腔体侧部；/n机械臂，设置于所述蒸发腔体侧部，所述机械臂为伸缩结构，可用于将玻璃衬底送至衬底支撑架上。/n

【技术特征摘要】
1.一种大尺寸碲化镉太阳能电池镀膜装置，其特征在于，包括：
蒸发腔体；
蒸发源，设置于所述蒸发腔体顶部；
蒸发源挡板，设置于所述蒸发源下侧，所述蒸发源挡板与蒸发源之间为铰链连接，镀膜装置不工作时，蒸发源挡板置于蒸发源正下方，镀膜装置工作时，蒸发源与移动至蒸发源侧部；
衬底加热器，设置于所述蒸发腔体底部；
衬底支撑架，设置于所述衬底加热器外侧，可以围绕衬底加热器进行圆周旋转；
真空泵，设置于所述蒸发腔体侧部；
机械...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭寿，马立云，潘锦功，殷新建，蒋猛，
申请(专利权)人：成都中建材光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51