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本实用新型公开了一种大尺寸碲化镉太阳能电池镀膜装置，包括：蒸发腔体，蒸发源，蒸发源挡板，衬底加热器，衬底支撑架，真空泵，机械臂，本实用新型将蒸发源置于玻璃衬底上方，使玻璃衬底的上表面温度高于下表面，由表面热胀冷缩所产生的形变与重力所产生的形...
该专利属于成都中建材光电材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都中建材光电材料有限公司授权不得商用。

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