一种用于半导体的不锈钢零部件的V型槽的加工方法技术

本发明专利技术公开了一种用于半导体的不锈钢零部件的V型槽的加工方法，属于零件加工领域。本发明专利技术通过改变传统加工方法，将刀具刀片型号换成V槽型刀片，并固定与盘铣刀上；采用V型槽对不锈钢钢板加工，本发明专利技术还通过改变加工工艺，加工V型槽时零件的位置与刀具的侧刃成90°方向的夹角，切削时通过刀具旋转时的侧刃将零件槽型加工出。避免了传统立铣刀或键槽铣刀加工槽型，易产生切削热、加工时间长、损耗刀具的缺点。

A processing method of V-groove of stainless steel parts for semiconductor

The invention discloses a processing method of V-groove for stainless steel parts of semiconductor, belonging to the field of parts processing. By changing the traditional processing method, the invention changes the model of tool blade into V-groove blade, which is fixed on the disc milling cutter; by using V-groove to process stainless steel plate, the invention also changes the processing technology, when processing the V-groove, the position of the part and the side edge of the tool form an angle of 90 \u00b0 direction, and when cutting, the part groove is processed by the side edge when the tool rotates. It avoids the disadvantages of traditional end milling cutter or keyway milling cutter, such as cutting heat, long processing time and tool loss.

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体的不锈钢零部件的V型槽的加工方法
本专利技术涉及一种零件加工方法，具体涉及一种用于半导体的不锈钢零部件的V型槽的加工方法。
技术介绍
MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。现有技术中，MOCVD设备不仅是GaN外延片生长的核心设备，而且也是生长GaAs和InP(无线通信电子器件和电路制造所用的半导体材料)的核心设备。随着市场对光电器件、微波器件和微波功率器件的需求不断增长。企业和研究机构对生产型和研究型MOCVD系统的需求也越来越多。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种用于MOCVD系统的不锈钢零部件的V型槽的加工方法。本专利技术的技术方案是：一种用于半导体的不锈钢零部件的V型槽的加工方法，包括如下步骤：(1)前期准备：铣床加工处理不锈钢钢板，不锈钢钢板的上表面与下表面的平面度、平行度要求在0.1mm内；(2)侧面钻孔：侧面钻孔：用深孔钻床在不锈钢钢板的上下两侧侧面加工若干深钻孔；(3)粗加工V型槽：如图1-2，先将不锈钢钢板竖直固定在L板工装上，再固定到机床工装台上；旋转工作台90°，使V型槽刀具的侧刃与不锈钢钢板待加工表面垂直；旋转刀具做上下直线运动进行切削加工V型槽，将V型槽的加工完成后；旋转工作台270°，按重复上述的步骤，执行程序切削相反方向的V型槽；(4)固溶时效处理：将不锈钢钢板放置在在真空炉中，加热使其将温度升至1020℃±15℃，冷却后，将其放置在回火炉中，加热使其温度升至760℃±10℃，保持90min；在1h内将不锈钢钢板冷却到15℃，保持30min，再将其加热到565℃±10℃后，空气冷却90min；(5)精加工V型槽：将步骤(3)中刀刃换为度48°的成型刀，重复步骤(3)，精加工V型槽。(6)加工水域恒温孔槽：调整相应电参数脉宽大于20μs，脉冲间隙大于6倍脉宽切割零件，留余量0.02mm，分两次精修余修，慢走丝线割水域恒温孔槽；(7)修正校平不锈钢钢板：在50T的压力机上，将加热温度加热到HV320-HV350之间，装入不锈钢钢板下压，在此温度下保压60秒至80秒；控制校正后不锈钢钢板平行度在0.1mm以内；(8)检测不锈钢钢板尺寸：用仿形规检测不锈钢V型槽大小，三次元检测零件平行度、孔位及孔的大小为Φ5±0.1、形位公差0.2以内。进一步的技术方案，在不锈钢钢板一侧侧面钻孔时，先钻孔30mm；再用内冷喷射钻头零速度移动，将喷射钻头埋入已加工的引孔25mm左右时，打开深孔钻床的主轴转速开关、机床内冷开关，抽吸切屑杂质排出；且钻孔时需逐递加长钻头长度，直到超过不锈钢钢板中心厚度的一半以上；在另一侧相对位置按上述步骤加工，直到不锈钢钢板完全贯通。本专利技术的有益效果：本专利技术不同于传统加工方法，开槽选取的立铣刀或键槽铣刀加工槽型，这种加工方法对于槽较长较深的零件时，易产生切削热；不仅加工时间长而且易损耗刀具，对于不锈钢这种塑性高，韧性好的材料尤为明显。本专利技术采用V型槽加工粗加工，将刀具刀片型号换成V槽型刀片，并固定与盘铣刀上；本专利技术还通过改变加工工艺，加工V型槽时零件的位置与刀具的侧刃成90°方向的夹角，切削时通过刀具旋转时的侧刃将零件槽型加工出。附图说明图1为本专利技术中步骤(2)中工作台旋转90°的加工示意图，图2为本专利技术中步骤(2)中工作台旋转270°的加工示意图，图3为经本专利技术加工后的不锈钢钢板，图4为经本专利技术加工后的不锈钢钢板截面示意图，其中，1、不锈钢钢板，11、水域恒温孔槽，12、深钻孔，13、V型槽，2、机床工装台，3、L板工装板，4、刀具。具体实施方式下面通过非限制性实施例，进一步阐述本专利技术，理解本专利技术。本专利技术为一种用于半导体的不锈钢零部件的V型槽的加工方法，包括如下步骤：(1)前期准备：铣床加工处理不锈钢钢板，不锈钢钢板的上表面与下表面的平面度、平行度要求在0.1mm内；(2)侧面钻孔：用深孔钻床在不锈钢钢板的两侧侧面加工若干深钻孔13，加工时，在不锈钢钢板一侧侧面钻孔时，先钻孔30mm；再用内冷喷射钻头零速度移动，将喷射钻头埋入已加工的引孔25mm左右时，打开深孔钻床的主轴转速开关、机床内冷开关，由于此时大部分切削液从内管的间隙中进入切削区，在增压系统的作用下产生喷射效应，形成低压区，帮助抽吸切屑杂质排出；且钻孔时需逐递加长钻头长度，直到超过不锈钢钢板中心厚度的一半以上；在另一侧相对位置按上述步骤加工，直到不锈钢钢板完全贯通；(3)粗加工V型槽：如图1-2，先将不锈钢钢板1竖直固定在L板工装3上，再固定到机床工装台2上；旋转工作台90°，使V型槽刀具4的侧刃与不锈钢钢板1待加工表面垂直；旋转刀具4做上下直线运动进行切削加工V型槽13，将V型槽13的加工完成后；旋转工作台270°，按重复上述的步骤，执行程序切削相反方向的V型槽13的；每个V型槽13的周围有两个深钻孔13，用于改善温度的均衡性；(4)固溶时效处理：将不锈钢钢板放置在在真空炉中，加热使其将温度升至1020℃±15℃，冷却后，将其放置在回火炉中，加热使其温度升至760℃±10℃，保持90min；在1h内将不锈钢钢板冷却到15℃，保持30min，再将其加热到565℃±10℃后，空气冷却90min；(5)精加工V型槽：将步骤(3)中刀刃换为度48°的成型刀，重复步骤(3)，精加工V型槽。(6)加工水域恒温孔槽：调整相应电参数脉宽大于20μs，脉冲间隙大于6倍脉宽切割零件，留余量0.02mm，分两次精修余修，慢走丝线割水域恒温孔槽；(7)修正校平不锈钢钢板：在50T的压力机上，将加热温度加热到HV320-HV350之间，装入不锈钢钢板下压，在此温度下保压60秒至80秒；控制校正后不锈钢钢板平行度在0.1mm以内；(8)检测不锈钢钢板尺寸：用仿形规检测不锈钢V型槽大小，三次元检测零件平行度、孔位及孔的大小为Φ5±0.1、形位公差0.2以内。如图3-4，加工后的V型槽12作为MOCVD生长设备的气流气压的转换控制结合部分，不仅保证了衬底上的材料可大面积、均匀的生长；且任何一种气流的切换均不会影响总体气流的均衡流动没有湍流、涡流等造成的不良影响。水域恒温孔槽11处为能实现温度控制的水域恒温孔槽，不仅控制了温度的均匀性，而且改善了反应剂浓度分布均匀性，有助于获得均匀的外延层和较高的生长速度。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于半导体的不锈钢零部件的V型槽的加工方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)前期准备：铣床加工处理不锈钢钢板，不锈钢钢板的上表面与下表面的平面度、平行度要求在0.1mm内；(2)侧面钻孔：用深孔钻床在不锈钢钢板的上表面与下表面之间的两侧侧面加工若干深钻孔；(3)粗加工V型槽：先将不锈钢钢板竖直固定在L板工装上，再固定到机床工装台上；旋转工作台90°，使V型槽刀具的侧刃与不锈钢钢板待加工表面垂直；旋转刀具做上下直线运动进行切削加工V型槽，将V型槽的加工完成后；旋转工作台270°，按重复上述的步骤，执行程序切削相反方向的V型槽的；(4)固溶时效处理：将不锈钢钢板放置在在真空炉中，加热使其将温度升至1020℃±15℃，冷却后，将其放置在回火炉中，加热使其温度升至760℃±10℃，保持90min；在1h内将不锈钢钢板冷却到15℃，保持30min，再将其加热到565℃±10℃后，空气冷却90min；(5)精加工V型槽：将步骤(3)中V型槽刀具换为刀刃为48°的成型刀，重复步骤(3)，精加工V型槽。(6)加工水域恒温孔槽：调整相应电参数脉宽大于20μs，脉冲间隙大于6倍脉宽切割零件，留余量0.02mm，分两次精修余修，慢走丝线割水域恒温孔槽；(7)修正校平不锈钢钢板：在50T的压力机上，将加热温度加热到HV320‑HV350之间，装入不锈钢钢板下压，在此温度下保压60秒至80秒；控制校正后不锈钢钢板平行度在0.1mm以内；(8)检测不锈钢钢板尺寸：用仿形规检测不锈钢V型槽大小，三次元检测零件平行度、孔位及孔的大小为Φ5±0.1、形位公差0.2以内。...

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体的不锈钢零部件的V型槽的加工方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)前期准备：铣床加工处理不锈钢钢板，不锈钢钢板的上表面与下表面的平面度、平行度要求在0.1mm内；(2)侧面钻孔：用深孔钻床在不锈钢钢板的上表面与下表面之间的两侧侧面加工若干深钻孔；(3)粗加工V型槽：先将不锈钢钢板竖直固定在L板工装上，再固定到机床工装台上；旋转工作台90°，使V型槽刀具的侧刃与不锈钢钢板待加工表面垂直；旋转刀具做上下直线运动进行切削加工V型槽，将V型槽的加工完成后；旋转工作台270°，按重复上述的步骤，执行程序切削相反方向的V型槽的；(4)固溶时效处理：将不锈钢钢板放置在在真空炉中，加热使其将温度升至1020℃±15℃，冷却后，将其放置在回火炉中，加热使其温度升至760℃±10℃，保持90min；在1h内将不锈钢钢板冷却到15℃，保持30min，再将其加热到565℃±10℃后，空气冷却90min；(5)精加工V型槽：将步骤(3)中V型槽刀具换为刀刃为48°的成...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙彬，邵佳，张伟，黄国峰，康乐乐，邵莎莎，
申请(专利权)人：靖江佳仁半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32