一种残余气体微型质谱分析系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种残余气体微型质谱分析系统，包括前级泵、分子泵、质谱仪，所述前级泵位于操作平台的一侧，前级泵和质谱仪前级出口连接，所述分子泵安装在操作平台上，所述质谱仪和分子泵连接并且位于分子泵上方。本实用新型专利技术结构简单、操作方便，用于气体分析。本实用新型专利技术实现了设备的一体化，使得气体分析更加方便；并且设备体积小、系统成套，无需组装其它辅助设备即可使用，让气体分析效率高、时间短。

【技术实现步骤摘要】
一种残余气体微型质谱分析系统
本技术属于气体应用领域，具体涉及一种残余气体微型质谱分析系统。
技术介绍
随着经济和科学技术的发展，气体应用的领域不断被开发，在国民经济中有着重要的作用，广泛地应用于化工、冶金、石油、石化、机械、电子、轻工等诸多
现有技术中，质谱分析系统为体积大、占地空间多、质量重的大型精密设备，不易搬运和安装；在进行气体分析前还需要自行组装辅助设备，如抽真空设备、气体分析系统、气体进样等。由于组装工作涉及到多种专业知识，如果无专业人员指导自行组装，会使得质谱分析结果不准确，所得数据误差大；而且操作过程繁琐，所要求的操作人员多。
技术实现思路
鉴于此，本技术为了解决上述存在之不足，提供一种残余气体微型质谱分析系统，本装置体积小，系统成套，无需组装，分析结果准确，误差小，并且操作简单，耗时短，效率高。本技术的专利技术人通过长期的探索尝试以及多次的实验和努力，不断改革与创新，为解决以上技术问题，所采用的具体技术方案是提供一种残余气体微型质谱分析系统，包括前级泵、分子泵、质谱仪，所述前级泵位于操作平台的一侧，前级泵和质谱仪前级出口连接，所述分子泵安装在操作平台上，所述质谱仪和本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种残余气体微型质谱分析系统，其特征在于：包括前级泵、分子泵、质谱仪，所述前级泵位于操作平台的一侧，前级泵和质谱仪前级出口连接，所述分子泵安装在操作平台上，所述质谱仪和分子泵连接并且位于分子泵上方。

【技术特征摘要】
1.一种残余气体微型质谱分析系统，其特征在于：包括前级泵、分子泵、质谱仪，所述前级泵位于操作平台的一侧，前级泵和质谱仪前级出口连接，所述分子泵安装在操作平台上，所述质谱仪和分子泵连接并且位于分子泵上方。2.根据权利要求1所述的残余气体微型质谱分析系统，其特征在于，所述前级泵为隔膜泵。3.根据权利要求1所述的残余气体微型质谱分析系统，其特征在于，所述前级泵和质谱仪前级出口通过波纹管连接。4.根据权利要求3所述的残余气体微型质谱分析系统，其特征在于，所述波纹管和质谱仪前级出口连接处设有气动波纹管阀。5.根据权利要求1所述的残余气体微型质谱分析系统，其特征在于，所述质谱仪和分子泵通过超高真空法兰...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾鹏，
申请(专利权)人：四川宏胜杰机电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51