微致动器及其制造方法，以及微驱动阀技术

本发明专利技术公开了一种微致动器及其制造方法，以及一种微驱动阀。该微驱动阀包括：在其中部具有一个流体入口的第一阀套；与第一阀套装配在一起以在其中形成一个空间部分并具有一个与第一阀套的流体入口相连通的流体出口的第二阀套；一个安装在该空间部分并在其一侧具有一个微通道用于与流体出口相连通的薄板；多个微驱动构件靠近薄板安装，用于通过有选择的开启和关闭薄板的微通道将从第一阀套的流体入口引入的流体排放到第二阀套的流体出口；一个安装在薄板上用于支撑微动件的微动件悬架；一个安装在微动件上的线圈；一个距线圈一定间隙安装的磁铁；及一个形成于薄板上用于为线圈提供电源的电极部分。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微致动器，包括：在其一侧具有一个微通道的第一薄板；固定到第一薄板上并在其一侧有一个与第一薄板上的微通道相连通的微通道的第二薄板；及一个微驱动装置，该微驱动装置包括：一个安装在第二薄板的上表面可相对于第一薄 板的微通道弯曲的微动件；一个形成于微动件两侧用于为微动件提供电源的电极部分；一个形成于微动件末端用于开启和关闭第二薄板上的微通道的塞子；及一个用于弹性支撑塞子的塞子悬架。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：李泳柱，池昌炫，崔正薰，
申请(专利权)人：LG电子有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]