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本发明公开了一种微致动器及其制造方法，以及一种微驱动阀。该微驱动阀包括：在其中部具有一个流体入口的第一阀套；与第一阀套装配在一起以在其中形成一个空间部分并具有一个与第一阀套的流体入口相连通的流体出口的第二阀套；一个安装在该空间部分并在其一侧...
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