回吸阀制造技术

一种回吸阀包括：双位阀机构（２６），该双位阀机构在导入第一圆柱腔（６０）内的压力流体作用下，借助于阀件（５０）和第一活塞（４８）一起产生位移，来打开／关闭流体通路（３４）；回吸机构（２８），具有可在流量腔（９６）内变形的吸入件（９２），该回吸机构在导入到第二圆柱腔（８０）内的上述压力流体作用下，凭借上述吸入件（９２）和第二活塞（７４）一起产生位移，用于回吸保持在流体通路（３４）中的压力流体，上述双位阀机构（２６）和上述回吸机构（２８）同轴地整体组装在一起。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种回吸阀，借助于可回吸流经流体通路内的定量压力流体，能够防止从压力流体供应端口有液体滴落。相关技术描述迄今为止，回吸阀用于生产半导体晶片等的工艺步骤中。回吸阀的功能是用以当停止向半导体晶片供应涂覆液体时，避免微量涂覆液体中的所谓液滴，从供应端口滴落到半导体晶片上。现在，图5中示出了这样的传统回吸阀(例如，参考日本专利公开平6-47092)。回吸阀1包括形成有流量腔4的主体5，和与该主体5上部相连的阀盖6。上述流量腔在流入口2和流出口3之间联通。上述流入口2经和回吸阀1分开设置的双位阀(ON/OFF valve)18，同排液供给源19相连。另一方面，流出口3连接到朝向半导体晶片滴落上述涂覆液体的喷嘴19a。在流量腔4的大致中间部形成有垂直向上的开口7。在该开口7之上设置有可弹性伸缩的第一膜片8，该膜片以气密方式闭合上述流量腔4的上表面。在一形成于第一膜片8之上的容纳腔9内，设置有一垂直可动件10，该可动件的下端可邻接贴在上述第一膜片8上。而在该垂直可动件10的上部，设置有一介于主体5和阀盖6之间的第二膜片11。上述第二膜片11借助于突出部12和上述垂直可动件10一起移动，上述突出部被固定到第二膜片11上，用以防止上述垂直可动件10的端部泄漏。在第一膜片8和第二膜片11之间还安装有向上推压第二膜片11的螺旋弹簧13。而在第二膜片11和阀盖6之间形成压力腔15，先导气体经导气端口14供给到上述压力腔。在上述阀盖6上还设置有检测单元17，该检测单元具有一检测杆16，该检测杆和垂直可动件10的突出部12相邻接。下面简要说明这种回吸阀1的操作。当分开设置的双位阀18处于ON(打开)状态时，从排液供给源19供应液体，随后作用上述供应液体，使其从一未示出的电动气压比例阀流到上述导气端口14内，因而压力腔15处于高压状态。第二膜片11就定位在由图5所示双点划线所指示的下端位置上，同时并弹性压缩上述螺旋弹簧13。而和上述垂直可动件10整体操作的第一膜片8也处于下端位置上，因此上述流量腔4的容积很小。从上述的状态开始，当上述双位阀18被切换到OFF(关闭)状态以停止液体供给时，源于导气端口14的先导压力减小，随后压力腔15内的压力也降低。因此第一膜片8就和第二膜片11一起垂直向上移动，垂直可动件10回到图5中实线所示的状态。结果，第一膜片8产生变形，上述流量腔4的容积增大。所以含在喷嘴19a内的液体就被吸回。但是，就上述传统回吸阀1而言，和回吸阀1分开设置的双位阀18是用以使流体流经流量腔4和/或停止上述流体流动。出于这个原因，安装空间要很大且需进行将上述双位阀18和回吸阀1相连接的管路操作，而这种操作也很复杂。专利技术简述本专利技术的主要目的就是提供一种回吸阀，通过小尺寸而又轻重量的设计，能够减少安装空间，且不需要任何和双位阀相连的管路操作。根据本专利技术，构成双位阀机构的第一活塞和阀件可在压力流体导入第一圆柱腔以关闭流体通路的作用下，一起产生位移。构成回吸机构的第二活塞和吸入件可在导入到第二圆柱腔内的压力流体作用下，一起产生位移。该回吸机构和上述双位阀机构同轴地整体组装。和第二活塞一起位移的吸入件产生变形，从而使流量腔的容积增大。因此就产生回吸作用，从而防止液体滴落。因此，借助于同轴地设置第一活塞和第二活塞，双位阀机构和回吸机构就被同轴地整体组装。所以就实现了小尺寸而又轻重量的专利技术目的，并有可能减小安装空间。而且由于没有必要进行和传统技术中双位阀18连接的管路操作。所以装置的安装十分简便。根据下列借助于示意性实例示出的本专利技术优选实施例而进行的说明并结合附图，本专利技术的上述和其他目的、特点和优势将更加显而易见。附图简述附图说明图1示出了说明本专利技术实施例中回吸阀的纵向剖面图；图2示出了双位阀机构处于打开状态而第一活塞和第二活塞一起上移时的部分省略的放大纵向剖面图；图3示出了当双位阀机构处于关闭状态，而回吸机构处于打开状态时吸入件上移的部分省略的放大纵向剖面图；图4示出了用以说明具有图1所示回吸阀的回吸系统的回路图；图5示出了用以说明传统回吸阀的纵向剖面图。优选实施例详述参考图1，参考标记20表示一根据本专利技术实施例的回吸阀。该回吸阀20包括接头部24，和在该接头部24上形成的阀驱动部30。一对管22a、22b以预定的间隔距离彼此隔开，这对管可拆卸地分别和上述接头部相连。上述阀驱动部由整体地将双位阀机构26和回吸机构28组装在一起而得以设置。上述接头部24包括设置有流体通路34的接头体36，内部件38和锁紧螺母40。上述接头体具有形成在一端的第一端口32a，和形成在另一端的第二端口32b。上述流体通路联通于第一端口32a和第二端口32b之间。上述内部件分别和上述第一端口32a和第二端口32b相配合，并插入到上述管22a、22b的开口内。上述锁紧螺母借助于螺旋进接头体36端部设置的螺纹刻槽内而保持上述管22a、22b的连接部体的防漏液性质或者气密性。上述阀驱动部30包括每一都由树脂块构成的阀盖44，第一体42a和第二体42b。该第一体42a，第二体42b和阀盖44，借助于未示出的轴整体地连接到接头体36上。在第一体42a上设置有第一腔46。在该第一腔46内设置有用以构造上述双位阀机构26的阀件50和第一活塞48，以便于可以一起产生位移。阀盖44，第一体42a，第二体42b和接头体36整体组装在一起，功能类似于阀的主体部。如图2所示，第一活塞48包括在上侧设置的径向延伸部48a，在下侧设置的圆柱部48b，以及设置在径向延伸部48a和圆柱部48b之间的环形台阶部48c。在径向延伸部48a外周面的环槽内安装有一截面为U形的第一活塞填圈52a。在环形台阶部48c外周面的环槽内分别安装有截面为U形的防磨环56a和填圈54a。第一活塞48上形成有沿轴向方向延伸的通孔58。而且，开闭流体通路34的阀件50被螺纹紧固到第一活塞48轴向的一端(在下侧)上。在第一活塞48的径向延伸部48a下侧，形成有第一圆柱腔60。该第一圆柱腔60经一通路和第一先导端口62相联通。在第一体42a朝向第一圆柱腔60的内壁面上设置有第一环形阻尼件64，该阻尼件可防止第一活塞48的径向延伸部48a和第一体42a相接触，并吸收向下运动过程中的震动。上述阀件50包括圆柱件50a，相邻部50b，薄壁部50c和厚壁插入部50d。上述圆柱件在内壁面上形成有阴螺纹，和第一活塞48外周部上形成的阳螺纹相配合。上述相邻部设置在圆柱件50a的底面部，借助于座靠在形成于接头体36的底座部66上，隔开第一端口32a和第二端口32b之间的联通。上述薄壁部从圆柱件50a的底面部径向向外伸出，并可弯曲。上述厚壁插入部形成于薄壁部50c的周缘部，并插入在接头体36和第一体42a之间。在这种设置中，可优选的是构成上述阀件50的圆柱件50a，相邻部50b，薄壁部50c和厚壁插入部50d都可由类似于聚四氟乙烯(PTFE)的树脂材料整体成形。上述第一活塞48上还设置有第二腔68。在第二腔68内安装有第一螺旋弹簧70。该第一螺旋弹簧70的一端被固定到第一活塞48的凹槽72内，而另一端被固定到第二体42b的环槽内。第一活塞48凭借第一螺旋弹簧70的弹力作用总是被向下推压。由于第一活塞48受本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种回吸（ｓｕｃｋ　ｂａｃｋ）阀包括：主体部，形成有在设置于一端的第一端口（３２ａ）和设置于另一端的第二端口（３２ｂ）之间联通的流体通路（３４）；通／断阀机构（２６），该通／断阀机构在经第一先导端口（６２）导入第一圆柱腔（６ ０）内的压力流体作用下，借助于阀件（５０）和第一活塞（４８）一起产生位移，来打开／关闭上述流体通路；以及　回吸机构（２８），具有可变形的吸入件（９２），以及形成在该处的流动腔（９６），以使在经第二先导端口（８２）导入到第二圆柱腔（８ ０）内的压力流体作用下，凭借上述吸入件（９２）和第二活塞（７４）一起产生位移，而回吸保持在上述流体通路内的压力流体，其特征在于，上述通／断阀机构（２６）和上述回吸机构（２８）同轴地整体组装在一起。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：深野喜弘，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]