弹性波装置制造方法及图纸

提供一种即使在IDT电极的厚度大的情况下也能够充分降低边缘区域的声速的弹性波装置。在弹性波装置1中，在倒速度面为椭圆形的压电性基板2上设置IDT电极3，并设置电介质膜13以使得覆盖IDT电极3，在将IDT电极3中的电极密度(％)设为y(％)，将IDT电极3的波长标准化膜厚100h/λ(％)设为x(％)的情况下，根据IDT电极3的电极密度y，IDT电极3的波长标准化膜厚x被设为满足下述的式(1)的x以上，y＝0.3452x

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置
本专利技术涉及利用了瑞利波的弹性波装置。
技术介绍
以往，在利用了瑞利波的弹性波装置中，要求基于横模的纹波的抑制。例如，在下述的专利文献1记载的弹性波装置中，通过降低边缘区域的声速，从而可谋求横模纹波的抑制。更详细地，在第1、第2电极指在弹性波传播方向上相互重叠的区域内，在电极指的延伸方向两端设置有边缘区域。该边缘区域中的电介质膜的膜厚被设得比夹在边缘区域之间的中央区域上的电介质膜的膜厚还厚。由此，可降低边缘区域的声速。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2015-111923号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题以往，通过使层叠的电介质膜的厚度增加等，从而使施加于IDT电极的质量增加。由此，认为能够降低声速。然而，本申请的专利技术人们发现了如下内容，即，在IDT电极的厚度大的情况下，若增大边缘区域中的电介质膜的膜厚，则反之声速会变高。若边缘区域中的声速相对变高，则变得无法抑制横模。本专利技术正是为了解决由本申请的专利技术人们发现的上述新的课题而完成的。即，本专利技术的目的在于，提供一种即使在IDT电极的厚度大的情况下也能够充分地降低边缘区域中的声速的弹性波装置。用于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性波装置，利用了瑞利波，且具备：压电性基板，倒速度面为椭圆形；IDT电极，设置在所述压电性基板上；和电介质膜，设置在所述压电性基板上以使得覆盖所述IDT电极，所述IDT电极具有多根第1电极指和与所述多根第1电极指相互交替插入的多根第2电极指，与所述第1电极指以及第2电极指的延伸方向正交的方向为弹性波传播方向，将从弹性波传播方向观察所述第1电极指和所述第2电极指时相互重叠的区域设为交叉区域，将所述第1电极指、第2电极指的延伸方向设为交叉宽度方向，将所述IDT电极中的电极密度(％)设为y(％)，将所述IDT电极的波长标准化膜厚100h/λ(％)设为x(％)，h为厚度，λ为由IDT电极的电...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.03.23 JP 2017-0572751.一种弹性波装置，利用了瑞利波，且具备：压电性基板，倒速度面为椭圆形；IDT电极，设置在所述压电性基板上；和电介质膜，设置在所述压电性基板上以使得覆盖所述IDT电极，所述IDT电极具有多根第1电极指和与所述多根第1电极指相互交替插入的多根第2电极指，与所述第1电极指以及第2电极指的延伸方向正交的方向为弹性波传播方向，将从弹性波传播方向观察所述第1电极指和所述第2电极指时相互重叠的区域设为交叉区域，将所述第1电极指、第2电极指的延伸方向设为交叉宽度方向，将所述IDT电极中的电极密度(％)设为y(％)，将所述IDT电极的波长标准化膜厚100h/λ(％)设为x(％)，h为厚度，λ为由IDT电极的电极指间距规定的波长，在该情况下，根据所述IDT电极的电极密度y，所述IDT电极的波长标准化膜厚x被设为满足下述的式(1)的x以上，y＝0.3452x2-6.0964x+36.262...式(1)所述IDT电极的所述交叉区域具有所述交叉宽度方向中央的中央区域、和设置在所述中央区域的交叉宽度方向一方外侧以及另一方外侧的第1边缘区域、第2边缘区域，所述第1边缘区域、第2边缘区域上的所述电介质膜的膜厚被设得比所述中央区域中的所述电介质膜的膜厚薄。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述IDT电极由Pt、W、Mo、Ta、Au或Cu构成，所述IDT电极的波长标准化膜厚x(％)根据所述IDT电极的材料...

【专利技术属性】
技术研发人员：大门克也，谷口康政，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP