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弹性波装置制造方法及图纸
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文档序号:22472466
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提供一种即使在IDT电极的厚度大的情况下也能够充分降低边缘区域的声速的弹性波装置。在弹性波装置1中,在倒速度面为椭圆形的压电性基板2上设置IDT电极3,并设置电介质膜13以使得覆盖IDT电极3,在将IDT电极3中的电极密度(%)设为y(%)...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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