一种激光直接成像曝光机及其成像方法技术

本发明专利技术公开了一种激光直接成像曝光机及其成像方法，包括曝光机构、成像平台、支撑平台和底座，底座底部固定安装有支撑腿，支撑平台设置在底座正上方，支撑平台和底座之间安装有多组升降气缸，底座上安装有与升降气缸连接的气缸控制器，支撑平台上端面安装有成像平台，成像平台表面安装有基板传输机构，曝光机构设置在成像平台正上方，曝光机构对下方的基板进行直接成像曝光，本发明专利技术结构设计新颖，操作方便，能够实现对基板的快速曝光，自动化程度高，稳定性好，提高了成像质量。

A laser direct imaging exposure machine and its imaging method

【技术实现步骤摘要】
一种激光直接成像曝光机及其成像方法
本专利技术涉及成像曝光
，具体为一种激光直接成像曝光机及其成像方法。
技术介绍
曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线，将胶片或其他透体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备；广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域。现有的激光成像曝光机稳定性差，导致成像精度低，成像质量差，因此，有必要进行改进。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种激光直接成像曝光机及其成像方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种激光直接成像曝光机，包括曝光机构、成像平台、支撑平台和底座，所述底座底部固定安装有支撑腿，所述支撑平台设置在底座正上方，所述支撑平台和底座之间安装有多组升降气缸，所述底座上安装有与升降气缸连接的气缸控制器，所述支撑平台上端面安装有成像平台，所述成像平台表面安装有基板传输机构，所述曝光机构设置在成像平台正上方，所述曝光机构对下方的基板进行直接成像曝光。优选的，所述基板传输机构包括安装支架和输送辊，所述安装支架安装在成像平台两侧，所述输送辊安装在安装支架之间，所述输送辊上输送待曝光基板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光直接成像曝光机，包括曝光机构（1）、成像平台（2）、支撑平台（3）和底座（4），其特征在于：所述底座（4）底部固定安装有支撑腿（5），所述支撑平台（3）设置在底座（4）正上方，所述支撑平台（3）和底座（4）之间安装有多组升降气缸（6），所述底座（4）上安装有与升降气缸（6）连接的气缸控制器（7），所述支撑平台（3）上端面安装有成像平台（2），所述成像平台（2）表面安装有基板传输机构（8），所述曝光机构（8）设置在成像平台（2）正上方，所述曝光机构（1）对下方的基板（9）进行直接成像曝光。

【技术特征摘要】
1.一种激光直接成像曝光机，包括曝光机构（1）、成像平台（2）、支撑平台（3）和底座（4），其特征在于：所述底座（4）底部固定安装有支撑腿（5），所述支撑平台（3）设置在底座（4）正上方，所述支撑平台（3）和底座（4）之间安装有多组升降气缸（6），所述底座（4）上安装有与升降气缸（6）连接的气缸控制器（7），所述支撑平台（3）上端面安装有成像平台（2），所述成像平台（2）表面安装有基板传输机构（8），所述曝光机构（8）设置在成像平台（2）正上方，所述曝光机构（1）对下方的基板（9）进行直接成像曝光。2.根据权利要求1所述的一种激光直接成像曝光机，其特征在于：所述基板传输机构（8）包括安装支架（10）和输送辊（11），所述安装支架（10）安装在成像平台（2）两侧，所述输送辊（11）安装在安装支架（10）之间，所述输送辊（11）上输送待曝光基板（9），所述安装支架（10）一侧设有与输送辊（11）连接的驱动装置（12）。3.根据权利要求1所述的一种激光直接成像曝光机，其特征在于：所述曝光机构（1）包括曝光单元（13）、激光器（14）...

【专利技术属性】
技术研发人员：梅力，胡朗，
申请(专利权)人：江苏盟星智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32