一种单晶降温装置制造方法及图纸

技术编号:22345212 阅读:23 留言:0更新日期:2019-10-19 16:42
一种单晶降温装置,包括降温室和运输装置,降温室为密闭空间,降温室两侧分别设有进料口和出料口,进料口与出料口之间设有传动装置,传动装置包括传送滚筒,传送滚筒为多个,传送滚筒通过传动机构连接且平行分布,传动机构连接驱动机构,传动装置置于降温室内部,降温室内部置有制冷剂,运输装置包括两个,运输装置分别置于进料口处和出料口处,运输装置上设有单晶支架,单晶支架的高度与传动装置的高度一致。本实用新型专利技术的有益效果是:结构简单、操作方便,通过传动装置联通两侧的单晶运输车,使得单晶在进入降温室、降温过程中及运出降温室的时候,均避免了手动接触单晶,降低了人体冻伤的风险,自动化程度高,生产成本低。

A single crystal cooling device

【技术实现步骤摘要】
一种单晶降温装置
本技术属于机械结构
,尤其是涉及一种单晶降温装置。
技术介绍
单晶,即结晶体内部的微粒在三维空间呈有规律地、周期性地排列,或者说晶体的整体在三维方向上由同一空间格子构成,整个晶体中质点在空间的排列为长程有序。单晶整个晶格是连续的,具有重要的工业应用。单晶生长制备方法大致可以分为气相生长、溶液生长、水热生长、熔盐法、熔体法。最常见的技术有提拉法、坩埚下降法、区熔法、定向凝固法等。在单晶制备完成后,降温冷却处理是得到品质完好的单晶的关键因素。现有的单晶降温装置大多是将单晶与干冰一起放入密闭空间,冷却一段时间后,取出单晶。此方法易于操作,简单有效。但干冰的熔点为-78.5℃,人体直接取出,会有冻伤风险。使用大型机械设备或机械手取出,结构复杂,占地面积大,应用范围小,生产成本高。升华后的二氧化碳气体直接排放到空气当中,浪费的同时对环境造成了污染。
技术实现思路
本技术要解决的问题是提供一种降温装置;尤其是结构简单、晶体运输方便,自动化程度高且生产成本低,节能环保的一种单晶降温装置。为解决上述技术问题,本技术采用的技术方案是:一种单晶降温装置,包括降温室和运输装置,所述降温室为密闭空间,所述降温室两侧分别设有进料口和出料口,所述进料口和所述出料口处设有密封门,所述进料口与所述出料口之间设有传动装置,所述传动装置包括传送滚筒,所述传送滚筒为多个,所述传送滚筒通过传动机构连接且平行分布,所述传动机构连接驱动机构,所述传动装置置于所述降温室内部,所述降温室内部置有制冷剂,所述制冷剂置于所述传动装置下部,所述运输装置包括两个,所述运输装置分别置于所述进料口处和所述出料口处,所述运输装置上设有单晶支架,所述单晶支架的高度与所述传动装置的高度一致。进一步的,所述传送滚筒包括滚筒轴和筒体,所述筒体置于所述滚筒轴外表面中心处,所述滚筒轴与所述筒体同轴心,所述滚筒轴两端长于所述筒体。进一步的,所述传动机构为密封圈,所述传送滚筒包括动力滚筒和无动力滚筒,所述动力滚筒置于中间部位,所述无动力滚筒置于所述动力滚筒两侧平行分布,所述筒体端部外表面设有凹槽,相邻两根所述传送滚筒通过所述密封圈连接,所述密封圈置于所述凹槽内,所述动力滚筒连接所述驱动机构。进一步的,所述传动装置包括运输轨道,所述运输轨道包括第一基板和第二基板,所述第一基板与所述第二基板平行,所述筒体置于所述第一基板与所述第二基板之间,所述滚筒轴两端分别铰接在所述第一基板与所述第二基板上,所述传动机构为传动齿轮,所述传动齿轮套于所述滚筒轴两端端部,相邻的所述传动齿轮相互啮合,所述传动齿轮连接所述驱动机构。进一步的,所述传动机构为传动飞轮和传动链条,所述传动飞轮套于所述滚筒轴两端端部,所述传动链条与所述传动飞轮上的键相互啮合,所述传动飞轮连接所述驱动机构。进一步的,所述运输装置为单晶运输车,所述单晶运输车底部设有万向轮,所述单晶支架底部设有升降装置。进一步的,所述制冷剂为干冰,所述降温室连接二氧化碳回收装置。进一步的,所述二氧化碳回收装置包括过冷器和二氧化碳储存罐,所述过冷器一端通过管路连接所述降温室,所述过冷器另一端通过管路连接所述二氧化碳储存罐。进一步的,所述驱动机构为动力电机。进一步的,所述筒体外表面设有防滑装置。本技术具有的优点和积极效果是:1、本技术在降温室内设置传动装置,在降温室两侧设有进料口和出料口,在进料口和出料口处放置单晶运输车,通过传动装置联通两侧的单晶运输车,使得单晶在进入降温室、降温过程中及运出降温室的时候,均避免了手动接触单晶,降低了人体冻伤的风险,自动化程度高。2、本技术结构简单、操作方便,根据干冰熔点为﹣78.5℃的特性,用作制冷剂,对单晶进行降温,降温室的温度过低会导致单晶炸裂,降温室的温度过高会导致降温不彻底。本技术占地面积小,应用范围广,生产成本低。3、本技术设有二氧化碳回收装置,通过二氧化碳回收装置将干冰气化后的二氧化碳气体收集起来,便于重复利用,节能环保,通过在传送滚筒外表面设有防滑装置,可有效增加单晶运输过程中的稳定性,避免单晶磕碰。附图说明图1是本技术实施例的整体结构示意图图2是本技术实施例的传动装置结构示意图图3是本技术实施例的传送滚筒与密封圈配合示意图图4是本技术实施例的传动齿轮工作原理图图中:1、运输装置2、进料口3、降温室4、出料口5、单晶支架6、升降装置7、万向轮8、制冷剂9、传动装置10、二氧化碳回收装置11、过冷器12、二氧化碳储存罐13、基板14、滚筒轴15、筒体16、传动机构17、驱动机构18、动力滚筒19、无动力滚筒20、凹槽21、密封圈22、传动齿轮具体实施方式下面结合附图对本技术实施例做进一步描述:如图1所示,一种单晶降温装置,包括降温室3和运输装置1,降温室3为密闭空间。降温室3两侧分别设有进料口2和出料口4,进料口2和出料口4处设有密封门,进料口2与出料口4之间设有传动装置9。传动装置9置于降温室3内部,降温室3内部置有制冷剂8,制冷剂8置于传动装置9下部。运输装置1包括两个,运输装置1分别置于进料口2处和出料口4处。运输装置1为单晶运输车,单晶运输车底部设有万向轮7,单晶支架5底部设有升降装置6,升降装置6可调节单晶支架5,使得单晶支架5的高度与传动装置9的高度一致。制冷剂8为干冰,根据干冰熔点为﹣78.5℃的特性,制作本实施例,降温室3的温度过低,会导致单晶炸裂,降温室3的温度过高,会导致降温不彻底。单晶降温后,可直接测量单晶电阻,有利于控制单晶电阻。单晶通过在传动过程中降温,加快了降温速度和流转速度。降温室3连接二氧化碳回收装置10。二氧化碳回收装置10包括过冷器11和二氧化碳储存罐12,过冷器11一端通过管路连接降温室3,过冷器11另一端通过管路连接二氧化碳储存罐12。通过二氧化碳回收装置10将干冰气化后的二氧化碳气体收集起来,便于重复利用,节能环保。如图2所示,传动装置9包括传送滚筒和运输轨道,传送滚筒为多个,运输轨道包括两条平行的基板13。传送滚筒通过传动机构16连接且平行分布。传动机构16连接驱动机构17。传送滚筒包括滚筒轴14和筒体15,筒体15置于滚筒轴14外表面中心处,滚筒轴14与筒体15同轴心,滚筒轴14两端长于筒体15,筒体15置于两条基板13之间,滚筒轴14两端分别铰接在两条基板13上。筒体15外表面设有防滑装置,可有效增加单晶运输过程中的稳定性,避免单晶磕碰。如图3所示,传送滚筒包括动力滚筒18和无动力滚筒19,动力滚筒18置于中间部位,无动力滚筒19置于动力滚筒18两侧平行分布。传送滚筒筒体15边缘设有凹槽20,相邻两根传送滚筒通过密封圈21连接,密封圈21置于凹槽20内。动力滚筒18连接驱动机构17,此处的驱动机构17为微型电机,动力滚筒18内部设有微型电机,微型电机工作带动动力滚筒18运动,动力滚筒18通过密封圈21带动同组的无动力滚筒19运动。如图4所示,传动机构16为传动齿轮22,传动齿轮22套于滚筒轴14两端端部,相邻的传动齿轮22相互啮合,传动齿轮22连接驱动机构17。此处的驱动机构17为动力电机。传动机构16还可以为传动飞轮和传动链条,传动飞轮套于滚筒轴14两端端部,传动链条与本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶降温装置,包括降温室和运输装置,其特征在于:所述降温室为密闭空间,所述降温室两侧分别设有进料口和出料口,所述进料口和所述出料口处设有密封门,所述进料口与所述出料口之间设有传动装置,所述传动装置包括传送滚筒,所述传送滚筒为多个,所述传送滚筒通过传动机构连接且平行分布,所述传动机构连接驱动机构,所述传动装置置于所述降温室内部,所述降温室内部置有制冷剂,所述制冷剂置于所述传动装置下部,所述运输装置包括两个,所述运输装置分别置于所述进料口处和所述出料口处,所述运输装置上设有单晶支架,所述单晶支架的高度与所述传动装置的高度一致。

【技术特征摘要】
1.一种单晶降温装置,包括降温室和运输装置,其特征在于:所述降温室为密闭空间,所述降温室两侧分别设有进料口和出料口,所述进料口和所述出料口处设有密封门,所述进料口与所述出料口之间设有传动装置,所述传动装置包括传送滚筒,所述传送滚筒为多个,所述传送滚筒通过传动机构连接且平行分布,所述传动机构连接驱动机构,所述传动装置置于所述降温室内部,所述降温室内部置有制冷剂,所述制冷剂置于所述传动装置下部,所述运输装置包括两个,所述运输装置分别置于所述进料口处和所述出料口处,所述运输装置上设有单晶支架,所述单晶支架的高度与所述传动装置的高度一致。2.根据权利要求1所述的一种单晶降温装置,其特征在于:所述传送滚筒包括滚筒轴和筒体,所述筒体置于所述滚筒轴外表面中心处,所述滚筒轴与所述筒体同轴心,所述滚筒轴两端长于所述筒体。3.根据权利要求2所述的一种单晶降温装置,其特征在于:所述传动机构为密封圈,所述传送滚筒包括动力滚筒和无动力滚筒,所述动力滚筒置于中间部位,所述无动力滚筒置于所述动力滚筒两侧平行分布,所述筒体端部外表面设有凹槽,相邻两根所述传送滚筒通过所述密封圈连接,所述密封圈置于所述凹槽内,所述动力滚筒连接所述驱动机构。4.根据权利要求2所述的一种单晶降温装置,其特征在于:所述传动装置包括运输轨道,所...

【专利技术属性】
技术研发人员:王立刚
申请(专利权)人:内蒙古中环领先半导体材料有限公司
类型:新型
国别省市:内蒙古,15

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