一种硅晶圆检测用夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅晶圆检测用夹具，包括底座，所述底座上端固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆上端固定连接有固定板，所述固定板内设有腔室，所述腔室顶面设有开口，所述腔室内设有移动件，所述移动件贯穿开口设置，所述移动件位于腔室外的一端上设有夹持件。本实用新型专利技术通过设置的弹簧伸缩杆和夹持块，能够有效的对硅晶圆本体进行夹持固定，同时能够对硅晶圆本体提供一定的缓冲保护，通过转动旋钮带动两块活动块相对移动，并带动夹持件对不同尺寸的硅晶圆本体进行夹持固定，操作方便且实用。

A fixture for testing silicon wafer

【技术实现步骤摘要】
一种硅晶圆检测用夹具
本技术涉及检测夹具
，尤其涉及一种硅晶圆检测用夹具。
技术介绍
硅晶圆是硅元素加以纯化，并将这些纯硅制成长硅晶棒，成为制造积体电路的石英半导体的材料，经过照相制版，研磨，抛光，切片等程序，将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圆，我们会听到几寸的晶圆厂，如果硅晶圆的直径越大，代表著这座晶圆厂有较好的技术，另外还有可以将电晶体与导线的尺寸缩小的技术，这两种方式都可以在一片晶圆上，制作出更多的硅晶粒，提高品质与降低成本，尺寸越高的晶圆，其产能越高，当然生产晶圆的过程当中，良品率是很重要的条件。现有的硅晶圆在生产过后都需要进行质量检测，检测过程中需要对硅晶圆进行夹持固定，而现有的检测夹具，只能够单一对一种尺寸的硅晶圆进行夹持固定，不能够根据实际需要进行调节，现提出一种硅晶圆检测用夹具来解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅晶圆检测用夹具。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种硅晶圆检测用夹具，包括底座，所述底座上端固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆上端固定连接有固定板，所述固定板内设有腔室，所述腔室顶面设有开口，所述腔室内设有移动件，所述移动件贯穿开口设置，所述移动件位于腔室外的一端上设有夹持件。优选地，所述伸缩杆为液压缸。优选地，所述固定板位于中心位置的上端固定连接有两块支撑块，两块所述支撑块分别靠近开口的前后两侧设置，两块所述支撑块的上端放置有同一块硅晶圆本体。优选地，所述移动件包括转动连接于腔室左侧内壁上的双向螺纹杆，所述双向螺纹杆的右端贯穿腔室的右侧内壁设置，所述双向螺纹杆的右端固定连接有旋钮，所述双向螺纹杆上螺纹套接有两块活动块，两块所述活动块均与腔室的底部滑动连接，两块所述活动块的上端均贯穿开口设置，所述夹持件设置于两块活动块位于腔室外的相对侧壁上。优选地，所述腔室的底部上设有滑槽，所述滑槽内滑动连接有两块与之相匹配的滑块，两块所述滑块的上端分别与两块活动块的下端固定连接。优选地，所述夹持件包括分别设置于两块活动块位于腔室外相对侧壁上的凹槽，两个所述凹槽的内壁上均固定连接有弹簧伸缩杆，两根所述弹簧伸缩杆远离凹槽内壁的一端上均固定连接有夹持块，两块所述夹持块的相对侧壁上均设有卡槽。本技术与现有技术相比，其有益效果为：1、通过设置的弹簧伸缩杆和夹持块，能够有效的对硅晶圆本体进行夹持固定，同时能够对硅晶圆本体提供一定的缓冲保护。2、通过转动旋钮带动两块活动块相对移动，并带动夹持件对不同尺寸的硅晶圆本体进行夹持固定，操作方便且实用。附图说明图1为本技术提出的一种硅晶圆检测用夹具的透视示意图；图2为图1中A处的局部放大图；图3为图1中B处的局部放大图；图4为本技术提出的一种硅晶圆检测用夹具的俯视示意图。图中：1底座、2伸缩杆、3固定板、4腔室、5开口、6移动件、7夹持件、8支撑块、9硅晶圆本体、10双向螺纹杆、11活动块、12滑槽、13滑块、14凹槽、15弹簧伸缩杆、16夹持块、17卡槽。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参照图1-4，一种硅晶圆检测用夹具，包括底座1，底座1上端固定连接有伸缩杆2，伸缩杆2为液压缸，液压缸的型号为：HOB4050，伸缩杆2上端固定连接有固定板3，固定板3位于中心位置的上端固定连接有两块支撑块8，两块支撑块8分别靠近开口5的前后两侧设置，两块支撑块8的上端放置有同一块硅晶圆本体9，硅晶圆本体9为现有技术，在此不做赘述。固定板3内设有腔室4，腔室4顶面设有开口5，腔室4内设有移动件6，移动件6贯穿开口5设置，移动件6包括转动连接于腔室4左侧内壁上的双向螺纹杆10，双向螺纹杆10的右端贯穿腔室4的右侧内壁设置，双向螺纹杆10的右端固定连接有旋钮，旋钮便于转动双向螺纹杆10，双向螺纹杆10上螺纹套接有两块活动块11，两块活动块11均与腔室4的底部滑动连接，两块活动块11的上端均贯穿开口5设置，夹持件7设置于两块活动块11位于腔室4外的相对侧壁上。腔室4的底部上设有滑槽12，滑槽12内滑动连接有两块与之相匹配的滑块13，滑块13在滑槽12内移动时，便于活动块11的移动，同时使得活动块11只能够随着双向螺纹杆10的转动而左右移动，对活动块11的移动范围进行限位，两块滑块13的上端分别与两块活动块11的下端固定连接，移动件6位于腔室4外的一端上设有夹持件7，夹持件7包括分别设置于两块活动块11位于腔室4外相对侧壁上的凹槽14，两个凹槽14的内壁上均固定连接有弹簧伸缩杆15，弹簧伸缩杆15包括固定连接于凹槽14内壁上的伸缩杆和弹簧，弹簧固定套接于伸缩杆上，伸缩杆和弹簧远离凹槽14内壁的一端与夹持块16固定连接，弹簧的弹性性能使得弹簧伸缩杆15能够对插设于卡槽17内的硅晶圆本体9进行压紧固定，同时能够提供一定的缓冲保护，两根弹簧伸缩杆15远离凹槽14内壁的一端上均固定连接有夹持块16，两块夹持块16的相对侧壁上均设有卡槽17。本技术在使用时，手动将需要进行检测的硅晶圆本体9手动放置于两块支撑块8上，转动旋钮带动双向螺纹杆10转动，使得螺纹套接于双向螺纹杆10上的两块活动块11在滑槽12和滑块13的限位作用下，带动凹槽14内的弹簧伸缩杆15和夹持块16相对移动，当两块活动块11移动至卡槽17与硅晶圆本体9相抵接触时，缓慢将硅晶圆本体9插设于卡槽17时，此时弹簧伸缩杆15能够有效的对卡接于卡槽17内的硅晶圆本体9进行卡紧固定，从而对硅晶圆本体9进行有效的夹持，同时能够在一定程度上对硅晶圆本体9起到缓冲保护的作用，当需要更换不同尺寸的硅晶圆本体9进行检测时，只需手动转动旋钮，使得硅晶圆本体9与卡槽17分离，替换两块支撑块8上的硅晶圆本体9，并重复上述操作即可，便于对不同尺寸的硅晶圆本体9进行夹持固定，操作方便且实用。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅晶圆检测用夹具，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)上端固定连接有伸缩杆(2)，所述伸缩杆(2)上端固定连接有固定板(3)，所述固定板(3)内设有腔室(4)，所述腔室(4)顶面设有开口(5)，所述腔室(4)内设有移动件(6)，所述移动件(6)贯穿开口(5)设置，所述移动件(6)位于腔室(4)外的一端上设有夹持件(7)。

【技术特征摘要】
1.一种硅晶圆检测用夹具，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)上端固定连接有伸缩杆(2)，所述伸缩杆(2)上端固定连接有固定板(3)，所述固定板(3)内设有腔室(4)，所述腔室(4)顶面设有开口(5)，所述腔室(4)内设有移动件(6)，所述移动件(6)贯穿开口(5)设置，所述移动件(6)位于腔室(4)外的一端上设有夹持件(7)。2.根据权利要求1所述的一种硅晶圆检测用夹具，其特征在于，所述伸缩杆(2)为液压缸。3.根据权利要求1所述的一种硅晶圆检测用夹具，其特征在于，所述固定板(3)位于中心位置的上端固定连接有两块支撑块(8)，两块所述支撑块(8)分别靠近开口(5)的前后两侧设置，两块所述支撑块(8)的上端放置有同一块硅晶圆本体(9)。4.根据权利要求1所述的一种硅晶圆检测用夹具，其特征在于，所述移动件(6)包括转动连接于腔室(4)左侧内壁上的双向螺纹杆(10)，所述双向螺纹杆(10)的右端贯穿腔室(4)的右侧内壁设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宜，
申请(专利权)人：江苏斯米克电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32