在半导体处理中用于板状衬底的可适应于衬底的不同尺寸的样品固持器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种在半导体处理中用于板状衬底的样品固持器，所述样品固持器适应于所述衬底的不同尺寸。所述样品固持器包括：矩形框架，所述矩形框架具有彼此成角度布置的两个止动器和固持框架元件；以及第一固持系统和第二固持系统。所述第一固持系统包括第一导引件和布置在所述第一导引件上的第一固持元件。所述第二固持系统包括第二导引件和布置在所述第二导引件上的第二固持元件。所述固持框架元件以及所述第一固持元件和所述第二固持元件适于将所述衬底固持在衬底平面中。所述第一固持系统和所述第二固持系统彼此独立地可移动和可固定，且所述第一导引件和所述第二导引件分别布置在彼此平行地并与所述衬底平面平行地定向的两个平面中。

Sample holders adapted to different sizes of substrates for plate substrates in semiconductor processing

【技术实现步骤摘要】
在半导体处理中用于板状衬底的可适应于衬底的不同尺寸的样品固持器
本技术涉及一种可适应于衬底或工件的不同尺寸的样品固持器，其中所述样品固持器适于固定板状衬底，尤其是玻璃板或半导体衬底，以供处理。
技术介绍
板状衬底是具有彼此平行的两个大面积侧表面和将两个大面积侧表面彼此连接的若干窄侧表面的固体或主体。在半导体处理中用于固定板状衬底的样品固持器，在不同的设计中已知。JPH11274276A公开了一种适于将不同尺寸的衬底定位和固持在共同参考位置上的样品固持器。参考元件设置在样品固持器的拐角中，样品固持器的矩形孔的相邻侧边缘在该拐角处相交。抽吸构件布置在矩形孔的外围部分处以用于固持具有第一尺寸的衬底，其中所述第一尺寸对应于该孔的尺寸。衬底由辊压在该参考元件上，所述辊布置在钢板弹簧的顶端处并作用于所述衬底的侧表面。为了固持较小衬底，将辅助框架部分安装在矩形孔中，其中所述辅助框架部分的尺寸对应于所述较小衬底的尺寸。该辅助框架部分还包括抽吸构件。每个钢板弹簧布置在沿着衬底一侧可移动的固持器主体上。因此，小型衬底也可被压在参考元件上。结果，对于尺寸小于第一尺寸的每个单独的衬底，必须安装单独的辅助框架部分，从而造成安装十分费力。根据US3775644A，获知了可调整的样品固持器，所述样品固持器包括用于固持至少一个微带衬底以供测试的矩形框架。轨道沿着框架的外边缘连接到框架，其中衬底夹具和电气连接器支架可滑动地安装在所述轨道上。因此，不同衬底可以安全方式与电气连接器接触，所述不同衬底在其上的不同位置处具有电气触点以供测试且所述不同衬底的尺寸也可沿着第一方向不同。然而，衬底的尺寸至少在第二方向上是预先确定的，这是因为框架是刚性的且衬底夹具无法移动到第二方向上。US6765734B1描述了一种用于光学装置中的光学元件或样品的样品固持器。所述样品固持器具有带顶点的开口，即具有锐角的边缘。将衬底定位在所述开口中，使得所述衬底通过具有锐角的边缘中的开口的侧壁被夹持住。在相对侧上，衬底由布置在夹持单元上的支撑壁架固持。所述夹持单元可在导槽中沿着朝向具有锐角的边缘或远离所述边缘的方向移动。因此，所述样品固持器可适应于所述衬底的尺寸。
技术实现思路
本技术的目标是提供一种用于半导体处理的样品固持器，所述样品固持器允许以快速方式固定具有不同尺寸的大板状衬底或工件。可以在安装不费力的情况下以简单和快速方式适应于所述衬底的相应尺寸。此外，所述衬底的两个表面都可以处理。本技术涉及一种用于板状衬底、尤其是玻璃板和半导体衬底的供半导体处理中使用的样品固持器，其中所述样品固持器可适应于所述衬底的不同尺寸。独立权利要求的特征解决了本技术的目标。从属权利要求中给出了本技术的有利实施例。根据本技术，所述样品固持器包括：矩形框架，所述矩形框架具有彼此成角度布置的两个止动器和固持框架元件，以及第一固持系统和第二固持系统。所述框架是沿着第一方向和与所述第一方向垂直地延伸的第二方向完全包围矩形孔或矩形贯穿部的主体。相对于所述框架围绕所述孔的轮廓和/或相对于所述框架的厚度方向，所述框架可一体地形成或可由若干部分件构成。所述厚度方向的延伸方向垂直于由所述第一方向和所述第二方向跨越的轮廓平面。所述固持框架元件在所述框架的一个边上连接到所述框架，所述止动器中的一个止动器也布置在所述一个边上。所述固持框架元件用于固持所述衬底的一个边的至少一部分，所述边面向所述框架，其中所述第一固持系统和所述第二固持系统用于在所述衬底的两个其它边上固持所述衬底。在此程度上，所述固持框架元件可由若干部件或部分元件组成，所述若干部件或部分元件被布置成在彼此之间具有空间或与不同止动器连接。所述第一固持系统包括第一导引件和布置在所述第一导引件上的至少一个第一固持元件。所述第一导引件沿着所述第一方向延伸，并以沿着所述第二方向相对于所述框架可移动的方式附接到所述框架。所述第一导引件适于由第一固定装置固定在所述框架上的对应于所述衬底的位置处。所述第二固持系统是以类似方式形成，并包括第二导引件和布置在所述第二导引件上的至少一个第二固持元件。所述第二导引件沿着所述第二方向延伸，并以沿着所述第一方向相对于所述框架可移动的方式附接到所述框架。所述第二导引件适于由第二固定装置固定在所述框架上的对应于所述衬底的位置处。所述固持框架元件以及所述至少一个第一固持元件和所述至少一个第二固持元件适于将所述衬底固持在所述框架中的孔内的衬底平面中。因此，所述衬底可有利地在其两个板状表面上被处理，而不需要翻转所述衬底。所述第一固持系统和所述第二固持系统彼此独立地可移动和可固定。所述第一导引件和所述第二导引件分别布置在彼此平行地并与所述衬底平面平行地定向的两个平面中。相应地，彼此垂直地布置的所述固持系统可移动，其中所述固持系统与其相应的导引件一起可固定在所述框架处的对应于衬底尺寸和衬底形式的任意位置处。由于两个固持系统的导引件在彼此垂直的两个方向上的可移动性，所述导引件彼此交叉。因此，所述第一导引件和所述第二导引件布置在彼此平行的不同平面中。所述固持元件被形成使得其沿着与所述第一方向和所述第二方向垂直地延伸的第三方向补偿所述第一导引件与所述第二导引件之间的高度差。优选地，所述第一固持元件和第二固持元件被形成使得其不在所述衬底的相应边的整个长度上固持所述衬底，而仅在所述衬底的相应边的小区域中固持所述衬底。在所述板状衬底的平面，即，所述衬底平面中，所述样品固持器相对于所述衬底在第一方向上的延伸以及在相对于所述第一方向垂直地延伸的第二方向上的延伸是可适应的。特别优选的是，所述样品固持器在至少所述第一方向或所述第二方向上连续地可适应于不同衬底尺寸。在实施例中，所述框架包括至少两个部分框架，其中每个部分框架在关于所述衬底平面的平面视图中具有与整个所述框架相同的形状。所述部分框架彼此刚性地固定并布置在与所述衬底平面平行的不同平面中。换句话说：所述框架是由布置在不同平面中的不同部件形成，其中每个部件与其它部件可叠加地形成和布置。所述第一导引件固定到第一部分框架且所述第二导引件固定到第二部分框架。优选地，所述第一部分框架包括第一长孔，所述第一长孔在所述第一部分框架的两个区域中沿着所述第二方向延伸，其中所述两个区域彼此相对。所述第一长孔完全穿透所述第一部分框架的所述两个区域。所述第一固定装置包括两个第一螺钉，其中每个第一螺钉在所述第一螺钉的一个末端处连接到所述第一导引件，通过所述第一长孔中的一个第一长孔突出，并在所述第一螺钉的另一末端处连接到固定构件。所述第一螺钉的所述末端中的一个末端固定到相应分配元件，即，与所述第一导引件一起固定或与所述固定构件一起固定，而所述第一螺钉的所述末端中的另一末端与相应分配元件中的内螺纹接合。所述第一长孔允许使所述第一导引件在所述第一部分框架上移位，而使用所述固定构件拧紧所述第一螺钉会允许将所述第一导引件固定在所述第一部分框架上沿着所述第二方向的限定位置处。所述第二部分框架和所述第二固定装置是以类似方式形成。也就是说，所述第二部分框架包括第二长孔，所述第二长孔在所述第二部分框架的两个区域中沿着所述第一方向延伸，其中所述两个区域彼此相对，且所述第二长孔完全穿透所述第二部分框架的所述两个区本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种在半导体处理中用于板状衬底(200)的样品固持器(100、101)，其中所述样品固持器(100、101)适应于所述衬底(200)的不同尺寸并包括：矩形框架(10)，所述矩形框架(10)具有彼此成角度布置的两个止动器(20a、20b)和用于固持所述衬底(200)的一个边的至少一部分的固持框架元件(16)，第一固持系统(30)，所述第一固持系统(30)包括第一导引件(31)和布置在所述第一导引件(31)上的至少一个第一固持元件(32)，其中所述第一导引件(31)沿着第一方向延伸，以沿着第二方向相对于所述框架(10)可移动的方式附接到所述框架(10)，并适于由第一固定装置(33a、33b)固定在所述框架(10)上的对应于所述衬底(200)的位置处，其中所述第二方向与所述第一方向正交地延伸，以及第二固持系统(40)，所述第二固持系统(40)包括第二导引件(41)和布置在所述第二导引件(41)上的至少一个第二固持元件(42)，其中所述第二导引件(41)沿着所述第二方向延伸，以沿着所述第一方向相对于所述框架(10)可移动的方式附接到所述框架(10)，并适于由第二固定装置(43a、43b)固定在所述框架(10)上的对应于所述衬底(200)的位置处，其中所述固持框架元件(16)以及所述至少一个第一固持元件(32)和所述至少一个第二固持元件(42)适于将所述衬底(200)固持在衬底平面中，且所述第一固持系统(30)和所述第二固持系统(40)彼此独立地可移动和可固定，且所述第一导引件(31)和所述第二导引件(41)分别布置在彼此平行地并与所述衬底平面平行地定向的两个平面中。...

【技术特征摘要】
1.一种在半导体处理中用于板状衬底(200)的样品固持器(100、101)，其中所述样品固持器(100、101)适应于所述衬底(200)的不同尺寸并包括：矩形框架(10)，所述矩形框架(10)具有彼此成角度布置的两个止动器(20a、20b)和用于固持所述衬底(200)的一个边的至少一部分的固持框架元件(16)，第一固持系统(30)，所述第一固持系统(30)包括第一导引件(31)和布置在所述第一导引件(31)上的至少一个第一固持元件(32)，其中所述第一导引件(31)沿着第一方向延伸，以沿着第二方向相对于所述框架(10)可移动的方式附接到所述框架(10)，并适于由第一固定装置(33a、33b)固定在所述框架(10)上的对应于所述衬底(200)的位置处，其中所述第二方向与所述第一方向正交地延伸，以及第二固持系统(40)，所述第二固持系统(40)包括第二导引件(41)和布置在所述第二导引件(41)上的至少一个第二固持元件(42)，其中所述第二导引件(41)沿着所述第二方向延伸，以沿着所述第一方向相对于所述框架(10)可移动的方式附接到所述框架(10)，并适于由第二固定装置(43a、43b)固定在所述框架(10)上的对应于所述衬底(200)的位置处，其中所述固持框架元件(16)以及所述至少一个第一固持元件(32)和所述至少一个第二固持元件(42)适于将所述衬底(200)固持在衬底平面中，且所述第一固持系统(30)和所述第二固持系统(40)彼此独立地可移动和可固定，且所述第一导引件(31)和所述第二导引件(41)分别布置在彼此平行地并与所述衬底平面平行地定向的两个平面中。2.根据权利要求1所述的样品固持器(100、101)，其特征在于，所述框架(10)包括至少两个部分框架(11、12)，其中每个部分框架(11、12)在所述衬底平面的平面视图中具有与整个所述框架相同的形状，所述部分框架(11、12)彼此刚性地固定并布置在与所述衬底平面平行的不同平面中，其中所述第一导引件(31)固定到第一部分框架(11)且所述第二导引件(41)固定到第二部分框架(12)。3.根据权利要求2所述的样品固持器(100、101)，其特征在于，所述第一部分框架(11)包括第一长孔(17)，所述第一长孔(17)在所述第一部分框架(11)的两个区域中沿着所述第二方向延伸，其中所述两个区域彼此相对，且所述第一固定装置(33a、33b)包括两个第一螺钉，其中每个所述第一螺钉在所述第一螺钉的一端连接到所述第一导引件(31)，通过所述第一长孔(17)中的一个第一长孔突出，并在所述第一螺钉的另一端连接到固定构件，所述固定构件适于将所述第一导引件(31)固定在所述第一部分框架(11)上沿着所述第二方向的限定位置处，且所述第二部分框架(12)包括第二长孔，所述第二长孔在所述第二部分框架(12)的两个区域中沿着所述第一方向延伸，其中所述两个区域彼此相对，且所述第二固定装置(43a、43b)包括两个第二螺钉，其中每个第二螺钉在所述第二螺钉的一端连接到所述第二导引件(41)，通过所述第二长孔中的一个第二长孔突出，并在所述第二螺钉的另一端连接到固定构件，所述固定构件适于将所述第二导引件(41)固定在所述第二部分框架(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭寿，丹尼尔·梅诺斯，巴斯蒂安·希普欣，迈克尔·哈尔，付干华，殷新建，
申请(专利权)人：中国建材国际工程集团有限公司，CTF太阳能有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31