光学发射光谱仪的校准器制造技术

提供了一种光学发射光谱仪(OES)的校准器。该OES的校准器可以包括盖、参考光源和控制器。盖可以与等离子体处理设备的等离子体腔室的顶板可拆卸地结合。参考光源可以安装在盖处，以通过等离子体腔室的内部空间向OES照射参考光。控制器可以将入射到OES的参考光的光谱与在等离子体腔室中的等离子体处理期间输入到OES的实际光的光谱进行比较以校准OES。因此，可以在不从等离子体室拆卸OES的情况下校准OES，以减少用于校准OES的时间。

Calibrator of Optical Emission Spectrometer

【技术实现步骤摘要】
光学发射光谱仪的校准器本申请要求于2018年3月28日在韩国知识产权局(KIPO)提交的第10-2018-0035700号韩国专利申请的优先权，该韩国专利申请的内容通过引用而全部包含于此。
示例实施例涉及一种光学发射光谱仪的校准器。更具体地，示例实施例涉及一种用于校准光学发射光谱仪的校准器，该校准器可以诊断等离子体腔室中的等离子体状态。
技术介绍
通常，使用等离子体处理设备的等离子体腔室中的等离子体，可以在半导体基底上形成层，和/或可以蚀刻或清洁/灰化半导体基底上的层。可以根据等离子体状态确定用于形成和/或蚀刻和/或清洁层的条件。因此，为了提高半导体装置的生产率，可以使用光学发射光谱仪(opticalemissionspectroscopy，OES)来诊断等离子体状态。然而，OES中的误差会导致等离子体状态的不准确诊断。因此，会需要校准OES。在从等离子体腔室拆卸OES之后，可以将参考光照射到OES。可以将参考光的光谱与在等离子体处理中输入到OES中的实际光的光谱进行比较，以校准OES。通过从等离子体腔室拆卸OES，并通过将拆卸的OES转移到包括参考光源的校准设备，OES的这种校准可以是可能的。此外，在校准OES之后，可以用等离子体腔室重新组装OES。结果，用于校准OES的时间会很长。此外，在校准期间，OES会在OES的转移期间被污染。
技术实现思路
示例实施例提供了一种光学发射光谱仪(OES)的校准器，所述校准器可以能够在等离子体处理设备中校准OES。根据一些示例实施例，可以提供一种OES的校准器。校准器可以包括：盖，被配置为与等离子体腔室的顶板可拆卸地结合；参考光源，位于盖处，参考光源被配置为通过等离子体腔室向OES照射参考光；以及控制器，被配置为通过将入射到OES的参考光的光谱与在等离子体腔室中执行的等离子体处理期间入射到OES的实际光的光谱进行比较来校准光学发射光谱仪。根据一些示例实施例，可以提供一种OES的校准器。校准器可以包括：盖，被配置为与等离子体腔室的顶板附接和拆卸；参考光源，位于盖处，参考光源被配置为通过等离子体腔室向OES照射参考光；镜子，位于盖下方，镜子相对于竖直方向倾斜，镜子被配置为将在竖直方向上入射到等离子体腔室的参考光朝向视口反射，视口位于等离子体腔室的侧壁处；漫射器，被配置为使从镜子反射的参考光漫射；准直器，被配置为沿水平方向引导由漫射器漫射的参考光；以及控制器，被配置为通过将穿过准直器入射到OES的参考光的光谱与在等离子体腔室中执行的等离子体处理期间入射到OES的实际光的光谱进行比较来校准光学发射光谱仪。根据一些示例实施例，可以提供一种OES的校准器。校准器可以包括：盖，被配置为与等离子体腔室的顶板拆卸和附接；参考光源，位于盖处，参考光源被配置为通过等离子体腔室向OES照射参考光；镜子，位于盖下方，镜子相对于竖直方向倾斜，镜子被配置为将在竖直方向上入射到等离子体腔室的参考光朝向位于等离子体腔室的侧壁处的视口反射；漫射器，被配置为使从镜子反射的参考光朝向视口漫射；透镜，被配置为聚集由漫射器漫射的参考光；以及控制器，被配置为通过将穿过透镜入射到OES的参考光的光谱与在等离子体腔室中执行的等离子体处理期间入射到OES的实际光的光谱进行比较来校准OES。根据一些示例实施例，在等离子体处理之后，具有参考光源的盖可以与等离子体腔室的顶板组装。参考光源可以通过视口将参考光照射到OES。控制器可以将输入到OES中的参考光的光谱与在等离子体处理中输入到OES中的实际光的光谱进行比较，以校准OES。因此，可以在不从等离子体腔室拆卸OES的情况下校准OES，以减少用于校准OES的时间。此外，因为可以不需要转移OES，所以OES不会被污染。附图说明通过下面结合附图进行的详细描述，将更清楚地理解示例实施例。图1至图8表示如这里所述的非限制性示例实施例。图1是示出根据一些示例实施例的OES的校准器的分解透视图。图2是示出图1中的校准器与等离子体处理设备的等离子体腔室组装的剖视图。图3是示出图2中的校准器的镜子的放大的剖视图。图4是示出根据一些示例实施例的OES的校准器的剖视图。图5是示出根据一些示例实施例的OES的校准器的分解透视图。图6是示出图5中的校准器与等离子体处理设备的等离子体腔室组装的剖视图。图7是示出根据一些示例实施例的OES的校准器的分解透视图。图8是示出图7中的校准器与等离子体处理设备的等离子体腔室组装的剖视图。具体实施方式在下文中，将参照附图详细地解释示例实施例。图1是示出根据一些示例实施例的OES的校准器的分解透视图，图2是示出图1中的校准器与等离子体处理设备的等离子体腔室组装的剖视图，以及图3是示出图2中的校准器的镜子的放大的剖视图。参照图1至图3，根据一些示例实施例的光学发射光谱仪(OES)的校准器可以包括盖110、参考光源120、盖支架130、光源支架140、镜子150、漫射器160和控制器170。OESS可以接收可在等离子体腔室C中产生的光，例如，从等离子体发射的实际光。OESS可以通过光纤F接收光。实际光可以通过安装在等离子体腔室C的侧壁处的视口P传输到OESS。光纤F可以连接在视口P和OESS之间。盖110可以与等离子体腔室C的顶板可拆卸地结合。盖子(未示出)可以在等离子体处理期间覆盖等离子体腔室C的顶板。在执行等离子体处理之前和/或之后(例如，在多次执行等离子体处理之后)，可以从等离子体腔室C拆卸盖子。代替盖子的盖110可以与等离子体腔室C的顶板结合。因此，盖110可以具有用于完全覆盖等离子体腔室C的顶板的尺寸。附加地和/或可选地，为了减少噪声影响，盖110可以具有用于在等离子体腔室C中形成暗室的黑色。在一些示例实施例中，盖110可以具有与盖子的圆板形状基本相同的圆板形状。盖110可以具有至少两个第一销孔114。可形成在等离子体腔室C的上端处的至少两个销可以分别插入到第一销孔114中。例如，通过将销插入到第一销孔114中，可以将盖110与等离子体腔室C的顶板组装。此外，可以通过从第一销孔114拉出销来将盖110从等离子体室C的顶板拆卸下来。因此，校准器可以具有容易适用于可执行校准操作的各种等离子体腔室C的便携式结构。各种等离子体腔室C可以对应于来自各种供应商的各种模型；本专利技术构思可以不限于具体供应商和/或等离子体腔室C的具体模型。在一些示例实施例中，第一销孔114可以定位在盖110的直径线上。例如，第一销孔114可以布置为相对于盖110的中心点以相同间隙彼此间隔开。可选地，第一销孔114可以包括以相同间隙彼此间隔开的至少三个孔。可选地或附加地，盖110还可以包括至少两个第二销孔118。由于等离子体腔室C可以具有不同的尺寸，所以第二销孔118可以用于使盖110与具有不同尺寸的等离子体腔室C可拆卸地结合。第二销孔118可以定位在盖110的直径线上位于第一销孔114的内侧。可以将尺寸小于等离子体腔室C的尺寸的另一等离子体腔室的销插入到第二销孔118中。此外，盖110还可以包括在第二销孔118内的至少两个第三销孔。盖110可以具有光学孔112，从参考光源120产生的参考光可以穿过光学孔112。在一些示例实施例中，光学孔112可以具有矩形形状；然而，专利技术构思可以不本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学发射光谱仪的校准器，所述校准器包括：盖，被配置为与等离子体腔室的顶板可拆卸地结合；参考光源，位于盖处，参考光源被配置为通过等离子体腔室向光学发射光谱仪照射参考光；以及控制器，被配置为通过将入射到光学发射光谱仪的参考光的光谱与在等离子体腔室中执行的等离子体处理期间入射到光学发射光谱仪的实际光的光谱进行比较，来校准光学发射光谱仪。

【技术特征摘要】
2018.03.28 KR 10-2018-00357001.一种光学发射光谱仪的校准器，所述校准器包括：盖，被配置为与等离子体腔室的顶板可拆卸地结合；参考光源，位于盖处，参考光源被配置为通过等离子体腔室向光学发射光谱仪照射参考光；以及控制器，被配置为通过将入射到光学发射光谱仪的参考光的光谱与在等离子体腔室中执行的等离子体处理期间入射到光学发射光谱仪的实际光的光谱进行比较，来校准光学发射光谱仪。2.根据权利要求1所述的校准器，其中，参考光源位于盖的外表面上以定位在等离子体腔室的外部。3.根据权利要求2所述的校准器，所述校准器还包括：镜子，位于盖下方，镜子相对于竖直方向倾斜，镜子被配置为将在竖直方向上入射到等离子体腔室的参考光朝向等离子体腔室的侧壁处的视口反射。4.根据权利要求3所述的校准器，其中，镜子包括：上端，高于等离子体腔室中的静电卡盘定位；以及下端，低于静电卡盘定位。5.根据权利要求3所述的校准器，所述校准器还包括：漫射器，被配置为使已经反射的参考光漫射。6.根据权利要求5所述的校准器，所述校准器还包括：准直器，被配置为沿水平方向引导由漫射器漫射的参考光。7.根据权利要求5所述的校准器，所述校准器还包括：透镜，被配置为聚集由漫射器漫射的参考光。8.根据权利要求1所述的校准器，其中，盖包括至少两个第一销孔，所述至少两个第一销孔被配置为容纳安装在等离子体腔室的上端处的至少两个销。9.根据权利要求1所述的校准器，其中，所述至少两个第一销孔共线并且位于盖的直径上。10.根据权利要求9所述的校准器，其中，盖还包括位于所述至少两个第一销孔内侧的至少两个第二销孔，所述至少两个第二销孔共线并且位于盖的直径上。11.根据权利要求1所述的校准器，其中，盖的面上的颜色是黑色的，盖被配置为在等离子体腔室中形成暗室。12.根据权利要求1所述的校准器，其中，参考光源位于盖的内表面上，以定位在等离子体腔室的内部。13.一种光学发射光谱仪的校准器，所述校准器包括：盖，被配置为与等离子体腔室的顶板附接和拆卸；参考光源，位于盖...

【专利技术属性】
技术研发人员：文丁一，李衡周，宣钟宇，具滋明，黄载雄，安宗焕，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR