传送杆及扫描电镜制造技术

本发明专利技术涉及一种传送杆及扫描电镜，该传送杆包括：载体；夹取装置，设置在所述载体上；第一驱动装置，设置在所述载体上，用于驱动所述夹取装置动作，以便使所述夹取装置夹紧或松开样品台；第二驱动装置，与所述载体相接，用于驱动所述载体在第一方向和第二方向上运动，以便带动所述夹取装置在所述第一方向和所述第二方向上运动，使得所述夹取装置可以伸入或退出扫描电镜的真空仓，其中所述第一方向和所述第二方向相反。本发明专利技术提供的传送杆在进行送样和取样时，可以通过控制第一驱动装置来使夹取装置夹紧或松开样品台，通过控制第二驱动装置来驱动载体伸入或退出扫描电镜的真空仓，整个过程无需经过繁琐的操作、简单方便。

Conveyor Rod and Scanning Electron Microscope

【技术实现步骤摘要】
传送杆及扫描电镜
本专利技术涉及扫描电镜
，特别是涉及一种传送杆及扫描电镜。
技术介绍
扫描电镜是一种电子光学显像仪器，采用极细的电子束在样品表面扫描，高能电子射束与物质之交互作用，产生了各种讯号，这些讯号，经由适当之检测器(Detector)接收后，经放大器(Amplifier)放大，然后送到显像管(BraunTube)上成像。使用扫描电镜时需要先将样品放置在样品台上，然后将传送杆与样品台连接，并利用传送杆将放置有样品的样品台送入真空仓内，随后再将传送杆与样品台分开取出传送杆，使样品台保留在真空仓内，进行扫描。扫描完成后，先将传送杆伸入真空仓内与样品台连接，然后利用真空杆将样品台从真空仓移出，随后再将传送杆与样品台分开，从而完成样品的一次送样取样操作。然而，利用现有的传送杆对样品进行送样和取样操作时，各步骤均是通过手动完成、操作繁琐。
技术实现思路
本专利技术提供一种传送杆及扫描电镜，旨在使样品的送样和取样操作更加简单方便。一种传送杆，包括：载体；夹取装置，设置在所述载体上；第一驱动装置，设置在所述载体上，用于驱动所述夹取装置动作，以便使所述夹取装置夹紧或松开样品台；第二驱动装置，与所述载体相接，用于驱动所述载体在第一方向和第二方向上运动，以便带动所述夹取装置在所述第一方向和所述第二方向上运动，使得所述夹取装置可以伸入或退出扫描电镜的真空仓，其中所述第一方向和所述第二方向相反。进一步的，所述载体包括第一管体，所述夹取装置设置在所述第一管体的第一端，所述第一驱动装置设置在所述第一管体内，所述第二驱动装置与所述第一管体的第二端相接。进一步的，所述夹取装置包括：固定部，与所述第一管体的第一端固定连接；活动部，与所述第一管体的第一端转动连接，所述第一驱动装置用于驱动所述活动部相对所述第一管体转动，从而使所述活动部靠近所述固定部或远离所述固定部，进而实现对样品台的夹紧或松开。进一步的，所述夹取装置还包括推杆，所述推杆穿设在所述第一管体内，并与所述活动部转动连接，其中，所述推杆相对所述活动部转动的轴线与所述活动部相对所述第一管体转动的轴线之间不同轴；所述推杆用于接收所述第一驱动装置的施力，以便推动所述活动部相对于所述第一管体转动。进一步的，所述第一驱动装置包括电磁铁，所述电磁铁设置在所述第一管体内，所述电磁铁通电后能够驱动所述推杆在所述第一方向上运动，进而使所述活动部相对于所述第一管体转动；及/或所述载体还包括第一支撑环，所述第一支撑环的外壁与所述第一管体的内壁紧配合，所述推杆穿设在所述第一支撑环内，并可在所述第一方向和所述第二方向上相对所在第一支撑环运动。进一步的，所述第一驱动装置还包括弹性件，所述推杆在所述第一方向上运动时会对所述弹性件施力，使所述弹性件产生形变，以便在所述电磁铁断电时通过所述弹性件的弹力使所述推杆复位。进一步的，所述第二驱动装置包括：支撑件，所述第一管体设置在所述支撑件上，并可以在所述第一方向和所述第二方向上相对所述支撑件运动；电机，所述电机的机体固定在所述支撑件上；齿轮齿条传动机构，其中，所述齿轮齿条传动机构的齿轮与所述电机的主轴相接，所述齿轮齿条传动机构的齿条与所述第一管体的第二端相接。进一步的，所述支撑件包括：第二管体和第二支撑环，所述电机固定在所述第二管体上，所述第二支撑环的外壁与所述第二管体的内壁紧配合，所述第一管体穿设在所述第二支撑环内，并可在第一方向和第二方向上相对所述第二支撑环运动；及/或所述第二驱动装置还包括：两个导电滑轨和两个电刷，两个所述导电滑轨分别设置在所述齿条的两侧，两个所述导电滑轨分别与电磁铁的接线端电性连接；两个所述电刷分别与两个所述导电滑轨电性接触，两个所述电刷分别与电源的两个电极相接；其中，所述导电滑轨可以在所述第一方向和所述第二方向上相对所述电刷滑动，且所述导电滑轨相对所述电刷滑动时，二者保持电性接触。一种扫描电镜，包括：真空仓；样品台，用于支撑放置样品；传送杆，用于将所述样品台放置在所述真空仓内，或者用于将所述样品台从所述真空仓内取出，其中所述传送杆如上任意一项所述。进一步的，所述样品台上设有连接孔和卡口；所述传送杆的固定部可以伸入所述连接孔内，所述传送杆的活动部上设有与所述卡口匹配的卡块；其中，所述活动部朝向所述固定部转动时，所述卡块可以卡在所述卡口内，所述活动部远离所述固定部转动时，所述卡块可以从所述卡口内退出。本专利技术提供的传送杆在进行送样和取样时，可以通过控制第一驱动装置来使夹取装置夹紧或松开样品图，通过控制第二驱动装置来驱动载体伸入或退出扫描电镜的真空仓，整个过程无需经过繁琐的操作、简单方便。附图说明图1为本专利技术提供的传送杆与真空仓配合使用的示意图；图2为本专利技术提供的传送杆的局部剖面示意图；图3为本专利技术提供的样品台的结构示意图；图4为本专利技术提供的样品台的俯视图；图5为本专利技术提供的图2中C-C向的剖面示意图；图6为本专利技术提供的传送杆的侧面投影视图。具体实施方式为了便于理解本专利技术，下面将参照相关附图对本专利技术进行更全面的描述。附图中给出了本专利技术的较佳实施方式。但是，本發明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本专利技术的公开内容理解的更加透彻全面。需要说明的是，当元件被称为“固定于、安装于，或者设于”另一个元件等类似语言时，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接或相接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本专利技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。如图1所示，本专利技术提供了一种扫描电镜，该扫描电镜包括样品台100、传送杆200以及真空仓300。样品台100用于支撑放置样品400，传送杆200用于与样品台100连接，以将样品台100放入真空仓300内的支撑台301上，以便对样品台100上的样品400进行扫描检测，其中，样品台100放入真空仓300后，传送杆200与样品台100脱离连接，并退出真空仓300。当对样品400扫描检测完毕以后，将传送杆200伸入真空仓300内，使传送杆200与样品台100连接在一起，以便将样品台100取出，样品台100从真空仓取出后，传送杆200与样品台100脱离连接。如图2所示，在本实施例中，传送杆200主要包括夹取装置10、第一驱动装置20、载体30，以及第二驱动装置40。其中夹取装置10和第一驱动装置20均设置在载体30上，第一驱动装置20用于驱动夹取装置10动作，以便夹紧或松开样品台100。第二驱动装置40与载体30相接，用于驱动载体30在第一方向A和第二方向B上运动，以便带动夹取装置10在第一方向A和第二方向B上运动，使得所述夹取装置10可以伸入或退出扫描电镜的真空仓，其中第一方向A和第二方向B相反。其中，在本实施例中，载体30在第一方向A上运动时，可以带动夹取装置10伸入扫描电镜的真空仓，载体30在第二方向B上运动时，可以带动夹取装置10退出扫描电镜的真空仓300。如图2所示，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种传送杆，其特征在于，包括：载体；夹取装置，设置在所述载体上；第一驱动装置，设置在所述载体上，用于驱动所述夹取装置动作，以便使所述夹取装置夹紧或松开样品台；第二驱动装置，与所述载体相接，用于驱动所述载体在第一方向和第二方向上运动，以便带动所述夹取装置在所述第一方向和所述第二方向上运动，使得所述夹取装置可以伸入或退出扫描电镜的真空仓，其中所述第一方向和所述第二方向相反。

【技术特征摘要】
1.一种传送杆，其特征在于，包括：载体；夹取装置，设置在所述载体上；第一驱动装置，设置在所述载体上，用于驱动所述夹取装置动作，以便使所述夹取装置夹紧或松开样品台；第二驱动装置，与所述载体相接，用于驱动所述载体在第一方向和第二方向上运动，以便带动所述夹取装置在所述第一方向和所述第二方向上运动，使得所述夹取装置可以伸入或退出扫描电镜的真空仓，其中所述第一方向和所述第二方向相反。2.根据权利要求1所述的传送杆，其特征在于，所述载体包括第一管体，所述夹取装置设置在所述第一管体的第一端，所述第一驱动装置设置在所述第一管体内，所述第二驱动装置与所述第一管体的第二端相接。3.根据权利要求2所述的传送杆，其特征在于，所述夹取装置包括：固定部，与所述第一管体的第一端固定连接；活动部，与所述第一管体的第一端转动连接，所述第一驱动装置用于驱动所述活动部相对所述第一管体转动，从而使所述活动部靠近所述固定部或远离所述固定部，进而实现对样品台的夹紧或松开。4.根据权利要求3所述的传送杆，其特征在于，所述夹取装置还包括推杆，所述推杆穿设在所述第一管体内，并与所述活动部转动连接，其中，所述推杆相对所述活动部转动的轴线与所述活动部相对所述第一管体转动的轴线之间不同轴；所述推杆用于接收所述第一驱动装置的施力，以便推动所述活动部相对于所述第一管体转动。5.根据权利要求4所述的传送杆，其特征在于，所述第一驱动装置包括电磁铁，所述电磁铁设置在所述第一管体内，所述电磁铁通电后能够驱动所述推杆在所述第一方向上运动，进而使所述活动部相对于所述第一管体转动；及/或所述载体还包括第一支撑环，所述第一支撑环的外壁与所述第一管体的内壁紧配合，所述推杆穿设在所述第一支撑环内，并可在所述第一方向和所述第二方向上相对所在第一支撑环运动。6.根据权利要求5所述的传送杆，其特征在于，所述第一驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：张洪彬，杨瑞伟，王伯彦，
申请(专利权)人：业成科技成都有限公司，业成光电深圳有限公司，英特盛科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51