提供一种在通过利用马达的旋转驱动力使支承着被搬送体的支承部移动来搬送该被搬送体时能够可靠地检测搬送状态的异常的技术。搬送装置(F3)利用支承部(21)来支承并搬送被搬送体(W)，搬送装置(F3)构成为具备：驱动机构(3)，其包括马达(35)和直动体(30)，所述支承部(21)设置于该直动体(30)，并且该直动体(30)通过该马达(31)的旋转驱动力进行直线移动；以及异常检测部(6)，其在所述支承部(21)移动的期间获取关于所述马达(31)的转矩的时间序列数据，基于对该时间序列数据进行傅里叶变换所得到的频谱来检测搬送状态的异常。
Transportation device, method and storage medium
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】搬送装置、搬送方法和存储介质
本专利技术涉及一种利用支承部来支承并搬送被搬送体的搬送装置、搬送方法以及执行该搬送方法的存储介质。
技术介绍
在对半导体晶圆(以下记载为晶圆)等基板进行处理的基板处理装置中，设置有从保存基板的承载件向用于对基板进行处理的模块搬送该基板的搬送装置(搬送机构)。该搬送装置例如由支承基板的支承部和通过马达的驱动力使该支承部移动的驱动机构构成。当在上述的驱动机构中发生异常时，担心会发生以下不良状况：被支承部支承的晶圆、支承部自身与基板处理装置内的构造物等接触而使得晶圆被摩擦或开裂等不良状况；支承部弯折或模块破损等不良状况。因此，研究出例如通过使用上述的马达的转矩的值来检测驱动机构的异常。在专利文献1中，基于对获取到的转矩的值进行微分所得到的数据，来判定驱动机构有无异常，由此检测异常。但是，寻求一种用于在进行这样的搬送时更可靠地检测异常的技术。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2013-133192号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题本专利技术是鉴于这样的情况而完成的，其课题在于提供一种在通过利用马达的旋转驱动力使支承着被搬送体的支承部移动来搬送该被搬送体时能够可靠地检测搬送状态的异常的技术。用于解决问题的方案本专利技术的搬送装置利用支承部来支承并搬送被搬送体，所述搬送装置的特征在于，具备：驱动机构，其包括马达和直动体，所述支承部设置于该直动体，并且该直动体通过该马达的旋转驱动力进行直线移动；以及异常检测部，其在所述支承部移动的期间获取关于所述马达的转矩的时间序列数据，基于对该时间序列数据进行傅里叶变换所得到的频谱来检测搬送状态的异常。本专利技术是使用搬送装置的搬送方法，该搬送装置利用支承部来支承并搬送被搬送体，所述搬送方法的特征在于，包括以下工序：通过马达的旋转驱动力使设置有所述支承部的直动体进行直线移动；在所述支承部移动的期间获取关于所述马达的转矩的时间序列数据；以及基于对该时间序列数据进行傅里叶变换所得到的频谱，来检测搬送状态的异常。本专利技术的存储介质存储有在利用支承部来支承并搬送被搬送体的搬送装置中使用的计算机程序，所述存储介质的特征在于，所述计算机程序被编入有步骤组，以执行本专利技术的搬送方法。专利技术的效果在本专利技术中，获取关于使支承被搬送体的支承部移动所需的所述马达的转矩的时间序列数据，基于对该时间序列数据进行傅里叶变换所得到的频谱来检测搬送状态的异常。由此，能够高精度地进行异常的检测。附图说明图1是本专利技术的实施方式所涉及的涂布显影装置的单位块的立体图。图2是设置于所述单位块的搬送机构的俯视图。图3是构成所述搬送机构的马达的编码器的概要立体图。图4是用于检测所述搬送机构的传感器的侧视图。图5是表示通过所述单位块进行的处理的流程图。图6是设置于所述涂布显影装置的控制部的框图。图7是表示被用于所述搬送机构的异常检测的马达的转矩的时间序列数据的一例的曲线图。图8是表示校正后的所述转矩的时间序列数据的一例的曲线图。图9是表示对所述转矩的时间序列数据进行FFT所得到的频谱的一例的曲线图。图10是表示通过所述涂布显影装置进行的异常诊断动作的流程图。图11是用于表示基于所述异常诊断动作的结果进行的设定位置的校正的说明图。图12是用于表示基于所述异常诊断动作的结果进行的设定位置的校正的说明图。图13是用于表示基于所述异常诊断动作的结果进行的设定位置的校正的说明图。图14是表示故障部件与异常的诊断及监视的结果之间的对应的曲线图。图15是本专利技术的实施方式所涉及的涂布显影装置的俯视图。图16是所述涂布显影装置的侧视图。具体实施方式使用图1的立体图来说明构成作为基板处理装置的涂布显影装置1的单位块E3，本专利技术的搬送装置作为搬送机构被组入该涂布显影装置1。单位块E3具备作为基板的晶圆W的搬送区域11，该搬送区域11沿横向以直线状延伸。为了向单位块E3搬入晶圆W，在该搬送区域11的长度方向上的一端侧设置有用于载置该晶圆W的交接模块TRS3。将搬送区域11的长度方向设为前后方向，将设置交接模块TRS3的一端侧设为前方侧。在搬送区域11的左侧和右侧中的一侧沿前后方向配置有多个加热模块12(12A～12F)，各加热模块12A～12F层叠有两层。在搬送区域11的左侧和右侧的另一侧沿前后方向设置有抗蚀剂膜形成模块13(13A、13B)，各抗蚀剂膜形成模块13向晶圆W涂布作为药液的抗蚀剂来形成抗蚀剂膜。搬送区域11的后方侧与针对单位块E3划分出的接口块D3连接，为了将晶圆W从单位块E3搬出，在该接口块D3设置有用于载置该晶圆W的交接模块TRS31。在单位块E3设置有作为被搬送体的晶圆W的搬送机构F3。被搬送至交接模块TRS3的晶圆W被搬送机构F3搬送至抗蚀剂膜形成模块13来形成抗蚀剂膜，之后被搬送至加热模块12来接受加热处理，再被搬送至交接模块TRS31。更详细地说明搬送机构F3。搬送机构F3具备两个叉子21、基台22、升降台23、前后移动体24以及壳体25。这些叉子21、基台22、升降台23以及前后移动体24构成晶圆W的支承部。各叉子21以彼此上下重叠的方式设置在基台22上，分别在基台22上进退。该叉子21包围晶圆W的侧周并且支承晶圆W的背面，由此保持晶圆W。基台22设置在升降台23上，构成为在该升降台23上绕铅垂轴旋转自如。升降台23以被直立的框状的前后移动体24包围的方式设置，并且该升降台23进行升降。壳体25设置在加热模块12的下方，形成为扁平的且在前后方向上长的长方形。在壳体25内设置有用于使前后移动体24沿前后方向移动的驱动机构3。参照示出壳体25的横剖俯视图的图2来说明驱动机构3。驱动机构3具备直动体30、导轨31、驱动侧带轮32、从属侧带轮33、带34、马达35、减速机36以及联轴器37。驱动侧带轮32设置于壳体25内的前端部，从属侧带轮33设置于壳体25内的后端部，驱动侧带轮32和从属侧带轮33构成为绕彼此平行的水平轴旋转自如。环状的带34挂设于驱动侧带轮32和从属侧带轮33。直动体30与上述的带34及导轨31连接。直动体30从壳体25向搬送区域11突出并与前后移动体24连接。因而，移前后动体24被设置于直动体30。图中39是在壳体25内从直动体30突出的板状的突起部，被用于利用后述的传感器51、52对前后移动体24的位置进行的检测。马达35能够依次经由减速机36和联轴器37而与驱动侧带轮32连接，通过构成马达35的轴38(图2中未示出)的旋转来使带34移动，利用导轨31引导直动体30和前后移动体24沿前后方向进行直线移动。像这样，直动体30和前后移动体24通过马达35的旋转驱动力进行移动。马达35将转矩信号发送至后述的控制部6，控制部6能够根据该转矩信号来检测该马达35的转矩。另外，马达35具备增量型的编码器41。图3示出该编码器41的概要结构，编码器41具备旋转板42、遮罩43、发光元件44以及受光元件45。上述的马达35的轴38穿过旋转板42的中心，旋转板42随着轴38的旋转而一同旋转。在遮罩43、旋转板42设置有多个开口部46。此外，在旋转板42上沿着其旋转方向设置有多个开口部46，但为了方便图示，仅示出这些开口部中的一个开口部46。通过这样的结构，从受光元件45向后述的控制部6输出与旋转板本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种搬送装置，利用支承部来支承并搬送被搬送体，所述搬送装置的特征在于，具备：驱动机构，其包括马达和直动体，所述支承部设置于该直动体，并且该直动体通过该马达的旋转驱动力进行直线移动；以及异常检测部，其在所述支承部移动的期间获取关于所述马达的转矩的时间序列数据，基于对该时间序列数据进行傅里叶变换所得到的频谱来检测搬送状态的异常。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.02.13 JP 2017-0241971.一种搬送装置，利用支承部来支承并搬送被搬送体，所述搬送装置的特征在于，具备：驱动机构，其包括马达和直动体，所述支承部设置于该直动体，并且该直动体通过该马达的旋转驱动力进行直线移动；以及异常检测部，其在所述支承部移动的期间获取关于所述马达的转矩的时间序列数据，基于对该时间序列数据进行傅里叶变换所得到的频谱来检测搬送状态的异常。2.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述驱动机构具备驱动侧带轮、从属侧带轮以及带，该带挂设于该驱动侧带轮和从属侧带轮并且与所述直动体连接，所述驱动机构利用所述马达使所述驱动侧带轮旋转，由此使所述直动体移动。3.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，与所述被处理体的从所述搬送源的模块向搬送目的地的模块的搬送并行地进行所述时间序列数据的获取。4.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，在所述支承部或直动体通过所述驱动机构进行移动的移动区域设置有用于检测该支承部或直动体的位置的位置检测传感器，基于该位置检测传感器的检测结果和所述马达的轴的朝向，来检测所述搬送状态的异常。5.根据权利要求4所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：牧准之辅，森弘明，寺本聪宽，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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