晶圆摆臂旋转机构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种晶圆摆臂旋转机构，包括；旋转座，所述旋转座转动连接在基座上，所述基座的下端设有支座，摆臂，所述摆臂通过连接座能上下移动的连接在所述旋转座上；其中，所述支座上连接有能上下移动的半圆形上下转环，所述半圆形上下转环环绕在所述旋转座外侧，所述半圆形上下转环具有半圆形滑道；所述连接座上连接有支撑块，所述支撑块上转动连接有滚轮，所述滚轮转动连接在半圆形滑道内。通过滚轮在半圆形滑道内转动，为摆臂转动时提供一个支撑点，从而保证摆臂在转动时不会出现偏移的效果。

Wafer Swing Arm Rotating Mechanism

【技术实现步骤摘要】
晶圆摆臂旋转机构
本技术涉及一种晶圆摆臂旋转机构。
技术介绍
晶圆一般都是储存在扩晶环上，将扩晶环上的晶圆拾取到石墨盘上，目前是通过摆臂的形式自动抓取，通过摆臂的转动从而将扩晶环上的晶圆拾取到石墨盘上，但是在摆臂转动时由于没有支撑点，导致摆臂在转动时会出现偏移的问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种晶圆摆臂旋转机构，以解决摆臂在转动时会产生偏移的问题。本技术的上述目的可采用下列技术方案来实现：本技术提供一种晶圆摆臂旋转机构，包括；旋转座，所述旋转座转动连接在固定的基座上，所述基座的下端设有支座；摆臂，所述摆臂通过连接座上下滑动设置在所述旋转座上，所述旋转座带动摆臂转动；其中，所述支座上连接有能上下移动的半圆形上下转环，所述半圆形上下转环环绕在所述旋转座外侧，所述半圆形上下转环具有半圆形滑道；所述连接座上设置有滚轮，所述滚轮在所述半圆形滑道内滚动。进一步的，所述半圆形滑道内设有两个半圆形耐磨板，两个所述半圆形耐磨板上下设置形成所述半圆形滑道，所述滚轮滚动设置在两个所述半圆形耐磨板之间。进一步的，所述旋转座的侧面连接有沿竖直方向设置的第一导轨，所述第一导轨上滑动连接有第一滑块，所述第一滑块连接在所述连接座上。进一步的，所述旋转座上连接有两条平行设置的所述第一导轨。进一步的，所述支座上设置有直线电机，所述直线电机的固定端连接在所述支座上，所述直线电机的运动端通过滑座连接在所述半圆形上下转环上。进一步的，所述支座上连接有沿竖直方向设置的两个第二导轨，所述直线电机位于两个所述第二导轨之间；所述第二导轨上滑动连接有第二滑块，所述第二滑块连接在所述滑座上。进一步的，所述基座上安装有驱动电机，所述驱动电机的转轴竖直向下设置，所述旋转座固定设置在所述驱动电机的转轴上。进一步的，所述连接座上连接有支撑块，所述滚轮转动连接在所述支撑块上。本技术的晶圆摆臂旋转机构的特点及优点是：通过滚轮在半圆形滑道内转动，为摆臂转动时提供一个支撑点，从而保证摆臂在转动时不会出现偏移的效果。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术的晶圆摆臂旋转机构的示意图；图2为本技术的晶圆摆臂旋转机构的示意图；图3为本技术的晶圆摆臂旋转机构中连接座与半圆形上下转环的示意图；图4为本技术的晶圆摆臂旋转机构中半圆形上下转环的示意图；图5为本技术的晶圆摆臂旋转机构中支撑块的示意图；附图标号说明：1、旋转座；11、第一导轨；2、基座；21、支座；211、直线电机；212、第二导轨；213、感应限位器；214、读数头；3、摆臂；31、夹口；4、连接座；41、第一滑块；42、支撑块；421、滚轮；5、半圆形上下转环；51、半圆形滑道；52、滑座；521、第二滑块；522、限位光电片；53、半圆形耐磨板；6、镜头筒；61、环形灯；7、驱动电机。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例一；如图1至图5所示，本技术提供了一种晶圆摆臂旋转机构，包括；旋转座1，所述旋转座1转动连接在固定的基座2上，所述基座2的下端设有支座21；摆臂3，所述摆臂3通过连接座4上下滑动设置在所述旋转座1上，所述旋转座1带动摆臂3转动；其中，所述支座21上连接有能上下移动的半圆形上下转环5，所述半圆形上下转环5环绕在所述旋转座1外侧，所述半圆形上下转环5具有半圆形滑道51；所述连接座4上设置有滚轮421，所述滚轮421在所述半圆形滑道51内滚动。本技术的晶圆安装机构，通过滚轮421在半圆形滑道51内转动，为摆臂3转动时提供一个支撑点，从而保证摆臂3在转动时不会出现偏移的效果。在本实施例中，所述连接座4上连接有支撑块42，所述滚轮421转动连接在所述支撑块42上。具体的，在本实施例中，所述半圆形滑道51内设有两个半圆形耐磨板53，两个所述半圆形耐磨板53上下设置形成所述半圆形滑道51，所述滚轮421滚动设置在两个所述半圆形耐磨板53之间。在本实施例中，所述旋转座1的侧面连接有沿竖直方向设置的第一导轨11，所述第一导轨11上滑动连接有第一滑块41，所述第一滑块41连接在所述连接座4上。在本实施例中，所述旋转座1上连接有两条平行设置的所述第一导轨11。在本实施例中，所述支座21上设置有直线电机211，所述直线电机211的固定端连接在所述支座21上，所述直线电机211的运动端通过滑座52连接在所述半圆形上下转环5上。在本实施例中，所述支座21上连接有沿竖直方向设置的两个第二导轨212，所述直线电机211位于两个所述第二导轨212之间；所述第二导轨212上滑动连接有第二滑块521，所述第二滑块521连接在所述滑座52上。在本实施例中，所述基座2上安装有驱动电机7，所述驱动电机7的转轴竖直向下设置，所述旋转座1固定设置在所述驱动电机7的转轴上。实施例二；如图1至图5所示，本技术提供了一种晶圆摆臂旋转机构，包括；旋转座1，所述旋转座1转动连接在基座2上；两个摆臂3，两个所述摆臂3对称设置在所述旋转座1的左右两侧，且两个所述摆臂3位于同一条水平方向的直线上，所述旋转座1能带动两个所述摆臂3左右转动；且两个所述摆臂3能分别上下移动的连接在所述旋转座1上，两个所述摆臂3的自由端均具有用于抓取晶圆的夹口31。本技术的晶圆安装机构，通过旋转座1带动两个摆臂3转动，并且两个摆臂3能相对于旋转座1上下移动，以使一个摆臂3可以抓取晶圆，另一个摆臂3同时将其上的晶圆安装到石墨盘上，从而提高通过摆臂3拾取晶圆的效率。具体的，在本技术中，两个所述摆臂3分别连接在两个连接座4上，所述旋转座1的两个侧面均连接有一对沿竖直方向设置的第一导轨11，两个所述连接座4上均连接有一对沿竖直方向设置的第一滑块41，两个所述第一导轨11位于两个所述第一滑块41之间，两个所述第一滑块41能分别滑动连接在两个相对应的所述第一导轨11上。在本实施例中，所述基座2的下端连接有两个支座21，所述旋转座1位于两个所述支座21之间；两个所述支座21上分别连接有能上下移动的半圆形上下转环5，两个所述半圆形上下转环5分别环绕在所述旋转座1的左右两侧，各所述半圆形上下转环5均具有半圆形滑道51；两个所述连接座4上均连接有支撑块42，两个所述支撑块42上均转动连接有滚轮421，两个所述滚轮421分别转动连接在所述半圆形滑道51内。在本实施例中，两个所述支座21上均连接有直线电机211，两个所述半圆形上下转环5分别连接在两个滑座52上，两个所述滑座52能分别通过两个所述直线电机211上下滑动的连接在两个所述支座21上。在本实施例中，所述支座21上连接有沿竖直方向设置的两个第二导轨212，所述直线电机211位于两个所述第二导轨本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆摆臂旋转机构，其特征在于，包括；旋转座，所述旋转座转动连接在固定的基座上，所述基座的下端设有支座；摆臂，所述摆臂通过连接座上下滑动设置在所述旋转座上，所述旋转座带动摆臂转动；其中，所述支座上连接有能上下移动的半圆形上下转环，所述半圆形上下转环环绕在所述旋转座外侧，所述半圆形上下转环具有半圆形滑道；所述连接座上设置有滚轮，所述滚轮在所述半圆形滑道内滚动。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆摆臂旋转机构，其特征在于，包括；旋转座，所述旋转座转动连接在固定的基座上，所述基座的下端设有支座；摆臂，所述摆臂通过连接座上下滑动设置在所述旋转座上，所述旋转座带动摆臂转动；其中，所述支座上连接有能上下移动的半圆形上下转环，所述半圆形上下转环环绕在所述旋转座外侧，所述半圆形上下转环具有半圆形滑道；所述连接座上设置有滚轮，所述滚轮在所述半圆形滑道内滚动。2.根据权利要求1所述的晶圆摆臂旋转机构，其特征在于，所述半圆形滑道内设有两个半圆形耐磨板，两个所述半圆形耐磨板上下设置形成所述半圆形滑道，所述滚轮滚动设置在两个所述半圆形耐磨板之间。3.根据权利要求1所述的晶圆摆臂旋转机构，其特征在于，所述旋转座的侧面连接有沿竖直方向设置的第一导轨，所述第一导轨上滑动连接有第一滑块，所述第一滑块连接在所述连接座上。4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：向军，冯霞霞，封浩，
申请(专利权)人：江苏新智达新能源设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32