System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种基于图像处理的芯片智能拾取方法技术_技高网

一种基于图像处理的芯片智能拾取方法技术

技术编号:40221956 阅读:4 留言:0更新日期:2024-02-02 22:27
本发明专利技术提供了一种基于图像处理的芯片智能拾取方法,通过相机拍摄获得晶圆图像并获取晶圆上的若干芯片位置信息进而控制吸头拾取对应芯片,包括如下步骤S1、创建选择列表,S2、由所述相机的检测范围获得芯片图像,并将位置坐标添加至选择列表中;S3、在选择列表中通过优选规则选择出最优位置芯片的位置坐标,吸头完成该位置的芯片拾取;S4、根据新的阵列排布的芯片图像所获取的若干芯片位置信息更新选择列表;S5、当选择列表中无芯片位置信息更新时,停止拾取,通过检测范围内的芯片相对坐标进行最优选芯片的拾取位置选择,可以在吸头现位置处即可开始拾取,提升了芯片拾取的效率与对于不同晶圆的拓展性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体分立器件的封装工艺,尤其涉及一种基于图像处理的芯片智能拾取方法


技术介绍

1、在半导体分立器件封装过程中,对晶圆上芯片的拾取处理是较为关键的前道工序,也被称之为取晶工序。晶圆上按照阵列结构排布了大量的芯片,取晶工序是通过精密控制的机械手(也称吸头)将阵列的芯片由晶圆上拾取出来,放入到指定框架的pad点位处。

2、现有的芯片拾取方法通常是先进行晶圆整体预扫描,进行整体图像采集后通过采集的图像建立晶圆坐标系,并通过扫描得到的芯片图像确定好在晶圆坐标系中的具体位置,再通过控制吸头按照z形走位由头至尾按照既定路线遍历整个芯片阵列区域进行逐个拾取。然而,这种z形走位的方式需要依次逐个遍历所有芯片,包括合格的与不合格的,且这种现有的z形走位需要针对不同类型的晶圆设置不同的走位路径,在不同类型不同规格的芯片拾取过程中无法做到直接且快速的无差别调用,且在拾取开始需要对吸头进行复位与起始位寻位等准备工作,降低了芯片拾取效率。


技术实现思路

1、本专利技术要解决的技术问题是:现有技术中不同规格、类型芯片需要定制不同拾取路径,且拾取效率低下,本专利技术提供了一种基于图像处理的芯片智能拾取方法来解决上述问题。

2、本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种基于图像处理的芯片智能拾取方法,通过相机拍摄获得晶圆图像并获取晶圆上的若干芯片位置信息进而控制吸头拾取对应芯片,包括如下步骤

3、s1、创建选择列表,

4、s2、控制相机对已定位的晶圆进行拍摄获得芯片图像,由所述相机的检测范围获得覆盖三行和三列阵列排布的芯片图像,并将检测范围内按矩阵排列的芯片各位置坐标分别添加至选择列表中;

5、s3、在选择列表中通过优选规则选择出最优位置芯片的位置坐标,并将该位置坐标传送给吸头,吸头完成该位置的芯片拾取;

6、s4、相机以s3步骤中拾取位置为中心进行拍摄获得新的阵列排布的芯片图像,根据新的阵列排布的芯片图像所获取的若干芯片位置信息更新选择列表;

7、s5、当选择列表中无芯片位置信息更新时,停止拾取;

8、所述优选规则具体为:

9、先对检测范围中阵列排布的芯片所代表的位置坐标信息以行为优先级进行排序,其优先级次序依次为第一行x、第二行y、第三行z;

10、再对每行排列的芯片所代表的位置坐标信息以列为优先级进行排序,其优先级次序依次为第二列b、第一列a、第三列c。

11、进一步地:在检测范围中呈阵列排布芯片图像中,阵列点对应芯片或者空点位,其中阵列点对应的芯片为合格芯片或墨点芯片,当s3步骤中最优位置芯片为空点位或者墨点芯片时,所述优选规则为跳过该空点位或者墨点芯片,选择下一个最优位置芯片,当所选择为合格芯片或全部阵列点均选择完成时,结束优选规则选择。

12、进一步地:当所述检测范围中阵列点上不存在合格芯片时,所述相机进行扩检操作,所述扩检重复n次,每次扩检操作具体为所述相机检测范围向右平移一个芯片间距的距离后进行拍摄,并重复s2至s5步骤。

13、进一步地:所述扩检操作的次数n为2次。

14、本专利技术的有益效果是,本专利技术一种基于图像处理的芯片智能拾取方法不需要针对晶圆整体预先设定晶圆坐标系,通过检测范围内的芯片相对坐标进行最优选芯片的拾取位置选择,从任一位置开始拾取均可完成整个晶圆区域的芯片拾取,且该方法不受具体晶圆规格、类型的限制,摒弃了拾取前冗长的预扫描、图像信息的扫描获取准备工作,可以在吸头现位置处即可开始拾取,提升了芯片拾取的效率与对于不同晶圆的拓展性。

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【技术保护点】

1.一种基于图像处理的芯片智能拾取方法,通过相机拍摄获得晶圆图像并获取晶圆上的若干芯片位置信息进而控制吸头拾取对应芯片,其特征在于:包括如下步骤

2.如权利要求1所述的一种基于图像处理的芯片智能拾取方法,其特征在于:在检测范围中呈阵列排布芯片图像中,阵列点对应芯片或者空点位,其中阵列点对应的芯片为合格芯片或墨点芯片,当S3步骤中最优位置芯片为空点位或者墨点芯片时,所述优选规则为跳过该空点位或者墨点芯片,选择下一个最优位置芯片,当所选择为合格芯片或全部阵列点均选择完成时,结束优选规则选择。

3.如权利要求2所述的一种基于图像处理的芯片智能拾取方法,其特征在于:当所述检测范围中阵列点上不存在合格芯片时,所述相机进行扩检操作,所述扩检重复N次,每次扩检操作具体为所述相机检测范围向右平移一个芯片间距的距离后进行拍摄,并重复S2至S5步骤。

4.如权利要求3所述的一种基于图像处理的芯片智能拾取方法,其特征在于:所述扩检操作的次数N为2次。

【技术特征摘要】

1.一种基于图像处理的芯片智能拾取方法,通过相机拍摄获得晶圆图像并获取晶圆上的若干芯片位置信息进而控制吸头拾取对应芯片,其特征在于:包括如下步骤

2.如权利要求1所述的一种基于图像处理的芯片智能拾取方法,其特征在于:在检测范围中呈阵列排布芯片图像中,阵列点对应芯片或者空点位,其中阵列点对应的芯片为合格芯片或墨点芯片,当s3步骤中最优位置芯片为空点位或者墨点芯片时,所述优选规则为跳过该空点位或者墨点芯片,选择下一个最优位置芯...

【专利技术属性】
技术研发人员:向军
申请(专利权)人:江苏新智达新能源设备有限公司
类型:发明
国别省市:

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