【技术实现步骤摘要】
单晶硅切割硅片收集装置
本技术涉及收集单晶硅片的
,特别是单晶硅切割硅片收集装置。
技术介绍
在硅片加工过程中,通常采用线切割装置对单晶硅棒进行切割,切割后成为较薄的单晶硅片,切割后掉落的单晶硅片,在重力下落于位于切割工位下方的收集盒内收集。在实际收集过程中,单晶硅片一个接一个落于收集盒内后,后续的单晶硅片撞击收集盒内的单晶硅片,造成相互挤压重叠,进一步造成单晶硅片表面划伤,降低了单晶硅片的表面质量。近年来出现了收集装置,该收集装置包括收集槽,其中收集槽上设置有出风装置,出风装置的出风口朝上设置,当单晶硅片下落时,出风装置吹出高压气体,高压气体对单晶硅片进行缓冲,落下后虽然能够降低对收集盒内的单晶硅片进行冲击,但是仍然发现有冲击痕迹。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的缺点,提供一种结构紧凑、有效避免单晶硅片表面受损、减轻工人劳动强度、操作简单的单晶硅切割硅片收集装置。本技术的目的通过以下技术方案来实现:单晶硅切割硅片收集装置,它包括工作台和设置于工作台左侧的升降机构,所述工作台的顶表面上且位于其前后侧均固设有直板,直板水平设置,两个直板之间的间距大于单晶硅片的直径,两个直板的右端部均固设有斜板,斜板与其相连的直板呈钝角设置,所述工作台的顶表面上还固定安装有气缸,气缸水平设置,气缸的活塞杆上固设有能够穿过两个直板所围区域的推板,所述升降机构包括支架、旋转安装支架上的丝杆和固定安装于支架上的电机,丝杆垂向设置,电机的输出轴与丝杆的一端经联轴器连接,丝杆上螺纹连接有螺母,螺母上固设有L板,L板的垂直板固设设于螺母上,L板的水平板上放置有收集盒,收集盒的 ...
【技术保护点】
1.单晶硅切割硅片收集装置,其特征在于:它包括工作台(1)和设置于工作台(1)左侧的升降机构,所述工作台(1)的顶表面上且位于其前后侧均固设有直板(2),直板(2)水平设置,两个直板(2)之间的间距大于单晶硅片的直径,两个直板(2)的右端部均固设有斜板(3),斜板(3)与其相连的直板(2)呈钝角设置,所述工作台(1)的顶表面上还固定安装有气缸(4),气缸(4)水平设置,气缸(4)的活塞杆上固设有能够穿过两个直板(2)所围区域的推板(5),所述升降机构包括支架、旋转安装支架上的丝杆(7)和固定安装于支架上的电机(8),丝杆(7)垂向设置,电机(8)的输出轴与丝杆(7)的一端经联轴器连接,丝杆(7)上螺纹连接有螺母(9),螺母(9)上固设有L板(10),L板(10)的垂直板固设设于螺母(9)上,L板(10)的水平板上放置有收集盒(11),收集盒(11)的开口与两个直板(2)所围区域相对立设置。
【技术特征摘要】
1.单晶硅切割硅片收集装置,其特征在于:它包括工作台(1)和设置于工作台(1)左侧的升降机构,所述工作台(1)的顶表面上且位于其前后侧均固设有直板(2),直板(2)水平设置,两个直板(2)之间的间距大于单晶硅片的直径,两个直板(2)的右端部均固设有斜板(3),斜板(3)与其相连的直板(2)呈钝角设置,所述工作台(1)的顶表面上还固定安装有气缸(4),气缸(4)水平设置,气缸(4)的活塞杆上固设有能够穿过两个直板(2)所围区域的推板(5),所述升降机构包括支架、旋转安装支架上的丝杆(7)和固定安装于支架上的电机(8),丝杆(7)垂向设置,电机(8)的输出轴与丝杆(7)的一端经联轴器连接,丝杆(7)上螺纹连接有螺母(9),螺母(9)上固设有L板(10),L板(10)的垂直板固设设于螺母(9)上,L...
【专利技术属性】
技术研发人员:马成宝,苏鑫,宋生宏,陈云,韩生才,刁宁宁,
申请(专利权)人:阳光能源青海有限公司,
类型:新型
国别省市:青海,63
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