单晶硅切割硅片收集装置制造方法及图纸

技术编号:22188923 阅读:18 留言:0更新日期:2019-09-25 04:26
本实用新型专利技术公开了单晶硅切割硅片收集装置,它包括工作台(1)和设置于工作台(1)左侧的升降机构,工作台(1)的顶表面上且位于其前后侧均固设有直板(2),直板(2)水平设置,两个直板(2)之间的间距大于单晶硅片的直径,两个直板(2)的右端部均固设有斜板(3),工作台(1)的顶表面上还固定安装有气缸(4),气缸(4)水平设置,气缸(4)的活塞杆上固设有能够穿过两个直板(2)所围区域的推板(5),升降机构包括支架、旋转安装支架上的丝杆(7)和固定安装于支架上的电机(8)。本实用新型专利技术的有益效果是:结构紧凑、有效避免单晶硅片表面受损、减轻工人劳动强度、操作简单。

Gathering Device for Single Crystal Silicon Cutting Silicon Wafer

【技术实现步骤摘要】
单晶硅切割硅片收集装置
本技术涉及收集单晶硅片的
,特别是单晶硅切割硅片收集装置。
技术介绍
在硅片加工过程中,通常采用线切割装置对单晶硅棒进行切割,切割后成为较薄的单晶硅片,切割后掉落的单晶硅片,在重力下落于位于切割工位下方的收集盒内收集。在实际收集过程中,单晶硅片一个接一个落于收集盒内后,后续的单晶硅片撞击收集盒内的单晶硅片,造成相互挤压重叠,进一步造成单晶硅片表面划伤,降低了单晶硅片的表面质量。近年来出现了收集装置,该收集装置包括收集槽,其中收集槽上设置有出风装置,出风装置的出风口朝上设置,当单晶硅片下落时,出风装置吹出高压气体,高压气体对单晶硅片进行缓冲,落下后虽然能够降低对收集盒内的单晶硅片进行冲击,但是仍然发现有冲击痕迹。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的缺点,提供一种结构紧凑、有效避免单晶硅片表面受损、减轻工人劳动强度、操作简单的单晶硅切割硅片收集装置。本技术的目的通过以下技术方案来实现:单晶硅切割硅片收集装置,它包括工作台和设置于工作台左侧的升降机构,所述工作台的顶表面上且位于其前后侧均固设有直板,直板水平设置,两个直板之间的间距大于单晶硅片的直径,两个直板的右端部均固设有斜板,斜板与其相连的直板呈钝角设置,所述工作台的顶表面上还固定安装有气缸,气缸水平设置,气缸的活塞杆上固设有能够穿过两个直板所围区域的推板,所述升降机构包括支架、旋转安装支架上的丝杆和固定安装于支架上的电机,丝杆垂向设置,电机的输出轴与丝杆的一端经联轴器连接,丝杆上螺纹连接有螺母,螺母上固设有L板,L板的垂直板固设设于螺母上,L板的水平板上放置有收集盒,收集盒的开口与两个直板所围区域相对立设置。所述斜板固设于工作台上。所述直板和斜板均垂直于工作台设置。所述工作台的底部固设有多个支撑腿。所述支架包括立板、分别固设于立板上下端部的上安装板和下安装板,所述电机固定安装于下安装板的顶部,所述丝杆的上端部旋转安装于上安装板上,丝杆的下端部与电机的输出轴连接。本技术具有以下优点:1、本技术避免了落下的单晶硅片相互撞击而损坏,防止了单晶硅片出现表面刮伤的现象,极大的保护了单晶硅片的表面质量。2、本技术无需工人将单晶硅片堆叠在一起,极大减轻了工人的劳动强度,提高了工作效率。附图说明图1为本技术的结构示意图;图2为图1的A-A剖视图;图中,1-工作台,2-直板,3-斜板,4-气缸,5-推板,7-丝杆,8-电机,9-螺母,10-L板,11-收集盒,12-立板,13-上安装板,14-下安装板,15-单晶硅片。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的描述,本技术的保护范围不局限于以下所述:如图1~2所示,单晶硅切割硅片收集装置,它包括工作台1和设置于工作台1左侧的升降机构,工作台1的底部固设有多个支撑腿,所述工作台1的顶表面上且位于其前后侧均固设有直板2,直板2水平设置,两个直板2之间的间距大于单晶硅片的直径,两个直板2的右端部均固设有斜板3,斜板3固设于工作台1上,斜板3与其相连的直板2呈钝角设置,所述工作台1的顶表面上还固定安装有气缸4,气缸4水平设置,气缸4的活塞杆上固设有能够穿过两个直板2所围区域的推板5,所述升降机构包括支架、旋转安装支架上的丝杆7和固定安装于支架上的电机8,丝杆7垂向设置,电机8的输出轴与丝杆7的一端经联轴器连接,丝杆7上螺纹连接有螺母9,螺母9上固设有L板10,L板10的垂直板固设设于螺母9上,L板10的水平板上放置有收集盒11,收集盒11的开口与两个直板2所围区域相对立设置。如图2所示,所述直板2和斜板3均垂直于工作台1设置。所述支架包括立板12、分别固设于立板12上下端部的上安装板13和下安装板14,所述电机8固定安装于下安装板14的顶部,所述丝杆7的上端部旋转安装于上安装板13上,丝杆7的下端部与电机8的输出轴连接。本技术的工作过程如下:将工作台1安放到单晶硅棒线切割机切割工位的下方,单晶硅棒线切割机开始切割单晶硅棒,切割下来的单晶硅片15掉落于工作台1顶表面上且位于两个斜板3之间,此时工人向气缸4的无杆腔中通入高压气体,活塞杆向左伸出,带动推板5将该单晶硅片15向左推动,在推力下单晶硅片15穿过两个直板2所形成区域后进入到收集盒11内,实现第一片单晶硅片的收集;随后向气缸4的有杆腔中通入高压气体,活塞杆带动推板5向右运动,直到推板5复位,而后继续切割单晶硅棒,第二片单晶硅片落到工作台后,继续使气缸4活塞杆伸出,从而实现第二片单晶硅片收集,第二片单晶硅片叠在第一片单晶硅片顶表面上;在收集过程中,打开电机8,电机8带动丝杆7旋转,螺母9沿着丝杆7向下运动,L板10上的收集盒11也相应下降,这样能够确保单晶硅片15能够顺利进入到其内,当收集盒11内装满单晶硅片15后,直接将收集盒11取下并放上空的收集盒,为后续收集做准备。因此该装置实现了每落下一个单晶硅片,就通过气缸4将其推入到收集盒11内,从而避免了落下的单晶硅片相互撞击而损坏,防止了单晶硅片出现表面刮伤的现象,极大的保护了单晶硅片的表面质量。此外,无需工人将单晶硅片堆叠在一起,极大减轻了工人的劳动强度,提高了工作效率。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.单晶硅切割硅片收集装置,其特征在于:它包括工作台(1)和设置于工作台(1)左侧的升降机构,所述工作台(1)的顶表面上且位于其前后侧均固设有直板(2),直板(2)水平设置,两个直板(2)之间的间距大于单晶硅片的直径,两个直板(2)的右端部均固设有斜板(3),斜板(3)与其相连的直板(2)呈钝角设置,所述工作台(1)的顶表面上还固定安装有气缸(4),气缸(4)水平设置,气缸(4)的活塞杆上固设有能够穿过两个直板(2)所围区域的推板(5),所述升降机构包括支架、旋转安装支架上的丝杆(7)和固定安装于支架上的电机(8),丝杆(7)垂向设置,电机(8)的输出轴与丝杆(7)的一端经联轴器连接,丝杆(7)上螺纹连接有螺母(9),螺母(9)上固设有L板(10),L板(10)的垂直板固设设于螺母(9)上,L板(10)的水平板上放置有收集盒(11),收集盒(11)的开口与两个直板(2)所围区域相对立设置。

【技术特征摘要】
1.单晶硅切割硅片收集装置,其特征在于:它包括工作台(1)和设置于工作台(1)左侧的升降机构,所述工作台(1)的顶表面上且位于其前后侧均固设有直板(2),直板(2)水平设置,两个直板(2)之间的间距大于单晶硅片的直径,两个直板(2)的右端部均固设有斜板(3),斜板(3)与其相连的直板(2)呈钝角设置,所述工作台(1)的顶表面上还固定安装有气缸(4),气缸(4)水平设置,气缸(4)的活塞杆上固设有能够穿过两个直板(2)所围区域的推板(5),所述升降机构包括支架、旋转安装支架上的丝杆(7)和固定安装于支架上的电机(8),丝杆(7)垂向设置,电机(8)的输出轴与丝杆(7)的一端经联轴器连接,丝杆(7)上螺纹连接有螺母(9),螺母(9)上固设有L板(10),L板(10)的垂直板固设设于螺母(9)上,L...

【专利技术属性】
技术研发人员:马成宝苏鑫宋生宏陈云韩生才刁宁宁
申请(专利权)人:阳光能源青海有限公司
类型:新型
国别省市:青海,63

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1