用于激光雷达的激光发射模组制造技术

本发明专利技术公开了一种用于激光雷达的激光发射模组，所述模组中的半导体激光芯片为水平腔面发射激光器(HCSEL)芯片，因HCSEL芯片发出的激光至少在一个方向上准直，这样简化了光学系统；通过光栅锁模，使激光发射模组无需加入任何光学器件就可具备中心波长范围小、谱宽窄、波长温漂小等特征，并且HCSEL可以同时拥有大的出光面积和高质量的光束，达到大功率、高亮度、光束均匀的激光特征，非常适于长距离，高精度激光雷达应用；另外由于大的出光面积，出光面功率密度变低，器件的寿命也会相应变长；HCSEL的激光芯片结构及出光方式还可以降低芯片成本，方便和模组内其它光学器件集成。

Laser Emission Module for Lidar

【技术实现步骤摘要】
用于激光雷达的激光发射模组
本专利技术涉及激光器件
，特别涉及一种用于激光雷达的激光发射模组。
技术介绍
激光雷达(LiDAR)主要是通过利用近红外波段的半导体激光器发射激光脉冲，然后将接收到的从目标反射回来的信号(目标回波)与发射信号进行比较，作适当处理后就可获得目标的有关信息，如目标距离、方位、高度、速度、姿态、甚至形状等参数，从而对物体如汽车、飞机、导弹等目标进行探测、跟踪和识别。它由激光发射机、光学接收机、转台(用于扫描式雷达)和信息处理系统等组成，激光器将电脉冲变成光脉冲发射出去，光接收机再把从目标反射回来的光脉冲还原成电脉冲，送到显示器。目前的激光雷达通常采用端发射芯片或垂直腔面发射激光器(VCSEL)芯片作为激光芯片，发射出的半导体激光都具有发射角度大的缺点，导致需对两个方向的激光光束都要进行准直整形，使激光发射模组系统复杂，不易于集成，并且成本较高。图1是根据一示例性实施例示出的基于目前MEMS(MicroElectromechanicalSystem)技术(也可以是其它扫描式激光雷达系统，例如机械式扫描)的扫描式激光雷达系统的光路示意图。在该MEMS激光雷达中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于激光雷达的激光发射模组，其特征在于，所述激光发射模组的半导体激光芯片为水平腔面发射激光器(HCSEL)芯片。

【技术特征摘要】
1.一种用于激光雷达的激光发射模组，其特征在于，所述激光发射模组的半导体激光芯片为水平腔面发射激光器(HCSEL)芯片。2.根据权利要求1所述的激光发射模组，其特征在于，所述HCSEL芯片包括高阶光栅，通过所述高阶光栅耦合输出激光。3.根据权利要求2所述的激光发射模组，其特征在于，所述高阶光栅位于所述HCSEL芯片的表面或内部。4.根据权利要求2所述的激光发射模组，其特征在于，所述高阶光栅是线性光栅、非线性光栅、二元光栅或非均匀光栅。5.根据权利要求1所述的激光发射模组，其特征在于，所述HCSEL芯片的出光方向垂直于所述HCSEL芯片中水平腔的上表面或者下表面，且为条形或方形出光方式。6.根据权利要求1所述的激光发...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖岩，勾志勇，周德来，
申请(专利权)人：深圳市柠檬光子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44