【技术实现步骤摘要】
用于衬底涂覆的气垫设备和技术优先权要求本专利申请要求以下各项中的每一项的优先权的权益:(1)2014年4月30日提交的标题为“SystemsandMethodsfortheFabricationofInkjetprintedEncapsulationLayers”的美国临时专利申请序列号61/986,868;以及(2)2014年5月23日提交的标题为“DISPLAYDEVICEFABRICATIONSYSTEMSANDTECHNIQUESUSINGINERTENVIRONMENT”的美国临时专利申请序列号62/002,384,其中的每一项的全部内容特此通过引用并入本文。
技术介绍
能够在衬底上形成材料层,以便提供电子装置的一个或多个功能层或非功能层。在一种方法中,这种装置上的膜层能够部分地经由使用许多技术中的任一种将一系列薄膜真空沉积于衬底上来制造,所述技术包括(但不限于)化学气相沉积、等离子体增强化学气相沉积、溅射、电子束蒸发和热蒸发。然而,以此方式进行的真空加工相对:(1)复杂,通常涉及大真空室和泵送子系统以维持这种真空;(2)浪费所沉积的原材料,因为在这种系统中一大部分材料通常被沉积到沉积室内部的壁和夹具上,使得相比于沉积到衬底上的材料,通常更多的材料被浪费;以及(3)难以维持,诸如涉及频繁地停止真空沉积工具的操作以打开和从壁和夹具清洁去除累积的废料。在衬底的表面积大于通常可用的硅晶圆的表面积的情况下,这些问题提出了进一步挑战。在某些应用中,能够期望以指定图案沉积膜。在另一种方法中,能够将粘敷涂层(blanketcoating)沉积于衬底上,并且能够考虑光 ...
【技术保护点】
1.一种用于在衬底上形成材料层的系统,所述系统包括:多个涂覆系统,每个涂覆系统包括:打印区,所述打印区包括打印系统,以在打印区中将材料沉积在衬底的表面上;处理区,所述处理区包括处理系统,以处理沉积在衬底的表面上的材料,以从所述材料形成固体层;和衬底输送设备,以在打印区和处理区之间输送衬底;以及衬底操控器,以固持衬底,所述衬底操控器能选择性地定位以将衬底装载到每个涂覆系统中且将衬底从每个涂覆系统卸载。
【技术特征摘要】
2014.04.30 US 61/986868;2014.05.23 US 62/0023841.一种用于在衬底上形成材料层的系统,所述系统包括:多个涂覆系统,每个涂覆系统包括:打印区,所述打印区包括打印系统,以在打印区中将材料沉积在衬底的表面上;处理区,所述处理区包括处理系统,以处理沉积在衬底的表面上的材料,以从所述材料形成固体层;和衬底输送设备,以在打印区和处理区之间输送衬底;以及衬底操控器,以固持衬底,所述衬底操控器能选择性地定位以将衬底装载到每个涂覆系统中且将衬底从每个涂覆系统卸载。2.根据权利要求1所述的系统,其中,打印区还包括配置成建立气垫以悬浮衬底的衬底支撑设备。3.根据权利要求1所述的系统,其中,处理区还包括配置成建立气垫以悬浮衬底的衬底支撑设备。4.根据权利要求1所述的系统,其中,衬底输送设备配置成在打印区和处理区之间输送期间悬浮衬底。5.根据权利要求1所述的系统,还包括输送模块,所述输送模块容纳衬底操控器且联接到所述多个涂覆系统中的每个。6.根据权利要求5所述的系统,其中:所述多个涂覆系统中的每个容纳在封装件内,所述封装件配置成保持受控环境;以及所述输送模块连接到其中容纳所述多个涂覆系统中的每个的封装件中的每个。7.根据权利要求6所述的系统,其中,所述输送模块配置成保持受控环境,所述受控环境是所述多个涂覆系统中的每个的受控环境。8.根据权利要求6所述的系统,其中,所述输送模块配置成保持受控环境,所述受控环境独立于所述多个涂覆系统中的每个的受控环境。9.根据权利要求6所述的系统,还包括一个或多个闸式阀或气帘,定位在衬底操控器能定位以将衬底装载到每个涂覆系统中且将衬底从每个涂覆系统卸载的位置。10.根据权利要求6所述的系统,还包括一个或多个负载锁定模块,操作性地联接到输送模块,所述一个或多个负载锁定模块配置成将衬底装载到输送模块中和/或将衬底装载到输送模块之外。11.根据权利要求10所述的系统,其中,所述一个或多个负载锁定模块包括固持衬底并将衬底装载到输送模块中和/或从输送模块卸载衬底的另一衬底操控器。12.根据权利要求1所述的系统,其中,所述多个涂覆系统中的每个还包括固持区,所述固持区相对于打印区和处理区布置,使得衬底输送设备能够将衬底输送通过打印区、固持区和处理区中的每个。13.根据权利要求12所述的系统,其中,固持区包括配置成建立气垫以在固持区支撑衬底的衬底支撑设备。14.根据权利要求1所述的系统,还包括联接到所述多个涂覆系统的固持模块,所述固持模块接收要在所述多个涂覆系统中的一个或多个中处理的一个或多个衬底。15.根据权利要求14所述的系统,其中,所述固持模块包括处于堆叠布置的多个衬底固持区域。16.根据权利要求1所述的系统,其中,所述处理系统被配置成进行选自干燥、烘烤和化学反应中的至少一种的处理过程,以从沉积在衬底上的材料形成固体层。17.根据权利要求1所述的系统,其中,所述处理系统包括光源,所述光源被配置成引起热或化学反应中的一个,以处理沉积在衬底的表面上的材料,以从所述材料形成固体层。18.根据权利要求1所述的系统,其中,所述打印系统包括选自喷墨打印装置、喷嘴打印装置和丝网印刷装置的打印装置。19.根据权利要求1所述的系统,其中,所述打印系统配置成沉积有机发光材料。20.根据权利要求1所述的系统,其中,所述打印系统配置成沉积固化以在衬底上的有机发光装置上方形成封装层的材料。21.根据权利要求1所述的系统,其中,衬底操控器能以沿轨道平移的方式移动。22.根据权利要求1所述的系统,其中,衬底操控器是具有多个自由度的机器人组件。23.根据权利要求1所述的系统,其中,每个涂覆系统容纳在封装件中,所述封装件配置成保持处于或接近大气压力且处于或低于一种或多种反应性物种的指定水平的受控处理环境。24.根据权利要求23所述的系统,其中,所述一种或多种反应性物种选自颗粒物质、水蒸气、氧气和臭氧。25.一种用于在衬底上形成材料层的系统,所述系统包括:打印区,所述打印区包括打印系统,打印系统配置成将材料沉积在衬底的表面上,且经由气垫支撑衬底;处理区,所述处理区包括处理系统,处理系统配置成处理沉积在衬底的表面上的材料,且经由气垫支撑衬底,以在衬底上形成固体层;固持区,所述固持区操作性地联接到打印区和处理区,所述固持区配置成固持衬底且经由气垫支撑衬底。26.根据权利要求25所述的系统,还包括衬底操控器,所述衬底操控器能选择性地定位以将衬底装载到打印区、处理区和固持区中的一个或多个且将衬底从打印区、处理区和固持区中的一个或多个卸载。27.根据权利要求26所述的系统,其中,衬底操控器是具有多个自由度的机器人组件。28.根据权利要求26所述的系统,其中,衬底操控器能以沿轨道平移的方式移动。29.根据权利要求25所述的系统,还包括可旋转结构,所述可旋转结构定位成将衬底在打印区与固持区和处理区中的至少一个之间旋转地输送。30.根据权利要求29所述的系统,其中,所述可旋转结构配置成建立气垫以...
【专利技术属性】
技术研发人员:ASK高,J莫克,E弗伦斯基,CF马迪根,E拉比诺维奇,N哈吉,C布赫纳,G路易斯,
申请(专利权)人:科迪华公司,
类型:发明
国别省市:美国,US
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