一种单晶炉及其坩埚托杆制造技术

本发明专利技术公开了一种坩埚托杆，包括用以支撑连接坩埚托盘的上托杆；可拆卸地与所述上托杆底部连接的下托杆；其中，所述下托杆由碳/碳复合材料制成。上述坩埚托杆的强度高，不易损坏，而且外露于炉腔的部分导热率系数低，解决了单晶炉内热量流失较多的问题。本发明专利技术还公开了一种包括上述坩埚托杆的单晶炉。

A Single Crystal Furnace and Its Crucible Bracket

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉及其坩埚托杆
本专利技术涉及单晶硅制造
，特别是涉及一种坩埚托杆。此外，本专利技术还涉及一种包括上述坩埚托杆的单晶炉。
技术介绍
单晶炉是一种能够在惰性气体环境中将多晶硅材料融化并用直拉法生长单晶硅的设备。单晶炉主要包括炉腔、石英坩埚、坩埚托盘、坩埚托杆以及驱动装置，其中，石英坩埚设在炉腔内并用于加热多晶硅材料，坩埚托盘设于炉腔内并用于支撑石英坩埚，坩埚托杆的顶端设在炉腔内并与坩埚托盘相连，坩埚托杆的底部贯穿炉腔的底部并与炉腔底部的驱动装置相连，驱动装置通过坩埚托杆实现在炉腔之外驱动石英坩埚旋转和上下移动。如图1所示，目前现有技术中的坩埚托杆01均一体成型并采用等静压石墨材料制成，由于单晶炉内一次性投料量能够重达300kg，而且未来还有逐渐增大的趋势，因此坩埚托杆01很容易损坏；此外，单晶炉内的炉温需稳定保持在1400℃，由于等静压石墨材料的导热效果好，因此坩埚托杆01外露于炉腔的部分很容易向外界散热，进而需要提高单晶炉的功率来弥补炉腔内的热量损失。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种坩埚托杆，该坩埚托杆的强度高，不易损坏，而且外露于炉腔的部分导热率系数低，解决了单本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种坩埚托杆，其特征在于，包括：用以支撑连接坩埚托盘的上托杆(1)；可拆卸地与所述上托杆(1)底部连接的下托杆(2)；其中，所述下托杆(2)由碳/碳复合材料制成。

【技术特征摘要】
1.一种坩埚托杆，其特征在于，包括：用以支撑连接坩埚托盘的上托杆(1)；可拆卸地与所述上托杆(1)底部连接的下托杆(2)；其中，所述下托杆(2)由碳/碳复合材料制成。2.根据权利要求1所述的坩埚托杆，其特征在于，所述上托杆(1)的底部设有内螺纹孔(11)，所述下托杆(2)的顶部设有外螺纹(21)，以供所述上托杆(1)与所述下托杆(2)可拆卸连接。3.根据权利要求2所述的坩埚托杆，其特征在于，所述上托杆(1)的高度为650-850mm；所述下托杆(2)的外露部分的高度为200-300mm。4.根据权利要求2所述的坩埚托杆，其特征在于，所述下托杆(2)底部的侧表面为锥形面。5.根据权利要求1所述的坩埚托杆，其特征在于，所述上托杆(1)由等静压石墨材料制成。6.根据权利要求5所述的坩埚托杆，其特征在于，所述上托杆(1)的顶部具有用以与坩埚托盘相连的连接盘(12)；其中，所述连接盘(12)的顶部设...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨俊，张涛，邓清香，汪沛渊，金浩，
申请(专利权)人：晶科能源有限公司，浙江晶科能源有限公司，
类型：发明
国别省市：江西,36