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本发明公开了一种坩埚托杆,包括用以支撑连接坩埚托盘的上托杆;可拆卸地与所述上托杆底部连接的下托杆;其中,所述下托杆由碳/碳复合材料制成。上述坩埚托杆的强度高,不易损坏,而且外露于炉腔的部分导热率系数低,解决了单晶炉内热量流失较多的问题。本发...该专利属于晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种坩埚托杆,包括用以支撑连接坩埚托盘的上托杆;可拆卸地与所述上托杆底部连接的下托杆;其中,所述下托杆由碳/碳复合材料制成。上述坩埚托杆的强度高,不易损坏,而且外露于炉腔的部分导热率系数低,解决了单晶炉内热量流失较多的问题。本发...