【技术实现步骤摘要】
光致抗蚀剂剥离剂相关申请的交叉引用本申请根据35U.S.C.§119(e)要求2018年3月7日提交的美国临时专利申请No.62/639,962的优先权,其全部内容通过引用并入本文。
本专利技术一般地涉及具有从衬底上有效除去光致抗蚀剂的能力的组合物,以及使用这样的组合物的方法。所公开的组合物是用于除去光致抗蚀剂的剥离剂溶液,其具有在低于正常室温的温度和在运输和仓储中经常遇到的温度下保持液态的能力,具有远高于正常加工温度的闪点,并且另外具有与聚合物介电材料的相容性。
技术实现思路
在本专利技术的一个方面,提供了用于从衬底有效除去或剥离正或负性光致抗蚀剂,蚀刻工艺后的光致抗蚀剂,或蚀刻残留物的光致抗蚀剂的剥离剂溶液(也称为组合物)。本专利技术的剥离剂溶液对于抗蚀剂材料具有特别高的负载能力,和在经历运输、仓储和一些生产设施的使用中经常遇到的低于正常室温的温度时保持液态的能力。组合物具有高于95℃的闪点。更优选的制剂具有大于或等于99℃的闪点。组合物具有充分低于0℃的凝固点,以最小化运输和仓储期间的固化。更优选的制剂具有低于约-10℃的凝固点。根据本专利技术的组合物通常含 ...
【技术保护点】
1.一种用于从衬底除去光致抗蚀剂的剥离剂溶液,所述溶液包含:约30重量%至约97重量%的二乙二醇丁醚;约1重量%至约7重量%的季铵氢氧化物;约1重量%至约75重量%的烷醇胺或者第二溶剂或者烷醇胺和第二溶剂;约0.001重量%至约7重量%的腐蚀抑制剂;和约0.1重量%至约20重量%的水;并且其中所述溶液基本上不含DMSO。
【技术特征摘要】
2018.03.07 US 62/639,962;2019.02.27 US 16/286,8081.一种用于从衬底除去光致抗蚀剂的剥离剂溶液,所述溶液包含:约30重量%至约97重量%的二乙二醇丁醚;约1重量%至约7重量%的季铵氢氧化物;约1重量%至约75重量%的烷醇胺或者第二溶剂或者烷醇胺和第二溶剂;约0.001重量%至约7重量%的腐蚀抑制剂;和约0.1重量%至约20重量%的水;并且其中所述溶液基本上不含DMSO。2.根据权利要求1所述的溶液,其中所述季铵氢氧化物具有取代基,所述取代基是(C1-C8)烷基、芳烷基、苄基、(C1-C5)醇及其组合。3.根据权利要求1或2所述的溶液,其中所述季铵氢氧化物包括四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、乙基三甲基氢氧化铵、二甲基二丙基氢氧化铵或氢氧化胆碱中的至少一种。4.根据权利要求1-3中任一项所述的溶液,其中所述烷醇胺以约3重量%至约50重量%的量存在。5.根据权利要求1-4中任一项所述的溶液,其中所述烷醇胺包括单乙醇胺或(2-(2-氨基乙氧基)乙醇)。6.根据权利要求1-5中任一项所述的溶液,其中所述第二溶剂以约5重量%至约30重量%的量存在。7.根据权利要求1-6中任一项所述的溶液,其中所述第二溶剂包括3-甲氧基-3-甲基-1-丁醇或丙二醇。8.根据权利要求1-7中任一项所述的溶液,其中所述二乙二醇丁醚以约50重量%至约97重量%的量存在;其中所述季铵氢氧化物以约1重量%至约6重量%的量存在;其中所述烷醇胺以约3重量%至约40重量%的量存在;其中所述水以约0.1重量%至约7重量%的量存...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹远美,M·费尼斯,R·D·彼得斯,
申请(专利权)人:弗萨姆材料美国有限责任公司,
类型:发明
国别省市:美国,US
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