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本文提供了用于从衬底除去光致抗蚀剂的改善的剥离剂溶液，其通常具有高于约95℃的闪点和高负载容量。所述剥离剂溶液包含二乙二醇丁醚，季铵氢氧化物，和具有至少两个碳原子、至少一个氨基取代基和至少一个羟基取代基的烷醇胺，所述氨基和羟基取代基与两个不...
该专利属于弗萨姆材料美国有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过弗萨姆材料美国有限责任公司授权不得商用。

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