一种浓度计探头的流通池制造技术

本实用新型专利技术公开了一种浓度计探头的流通池，包括流通池罐体、流通池上盖、浓度计探头、O‑ring密封圈、外六角螺栓和入珠接头，流通池罐体上方舍友流通池上盖，流通池中间设有浓度计探头，流通池罐体与上盖之间设有O‑ring密封圈，流通池罐体上设有两个入珠接头，外六角螺栓位于所述流通池上盖上方。本实用新型专利技术所提供的流通池，选用PTFE棒材，通过数控加工中心加工成型，PTFE材料可以满足高纯需求，且价格便宜，易切削加工，可满足大多数强酸强碱的耐腐蚀的需求，根据选用不同规格的PTFE棒材，可以满足不同品牌浓度计对安装方式及空间的要求，上盖和罐体通过锥螺纹孔加生料带密封，密封可靠，流通池底部有螺纹孔，与支架安装固定方便快捷，且后期维护极为方便。

A Flow Pool of Concentrator Probe

【技术实现步骤摘要】
一种浓度计探头的流通池
本技术涉及半导体领域，尤其涉及一种浓度计探头的流通池。
技术介绍
随着半导体行业的高速发展，半导体设备位于半导体产业的上游，随着下游集成电路设计、制造和封装测试的飙升，晶圆制造厂、封测厂赚取大量利润并纷纷增加资本开支，购买半导体设备、扩充产能、研发新工艺，半导体设备行业顺势而起。半导体CDM设备，能够安全的将强酸强碱溶液输送至半导体制造生产线，其中酸碱混配柜为典型代表，能够满足半导体生产工艺中对不同浓度酸碱的要求，极大的降低成本。酸碱混配柜中测量浓度用的浓度计，浓度计探头的安装流通池一直以来是结构设计中的难点。传统流通池为碳钢或者不锈钢材质，难以满足介质为强酸强碱的苛刻条件，设备内部均为PFA高纯管路，流通池材质必须能满足高纯要求。新型的流通池通过选用世面现有的PVDF管件或者PFA管件焊接成型，市面上成品的三通管件规格有限，选型灵活性极差，PVDF和PFA的成品件价格昂贵，虽说能满足高纯需求，但难以满足不同品牌的浓度计探头的安装方式及空间的要求，会造成浓度计测量不准的情况。因此，现有技术还有待发展。
技术实现思路
鉴于上述现有技术的不足之处，本技术的目的在于提供一种浓度计探头的流通池，旨在解决现有的浓度计探头的流通池难以满足强酸强碱的苛刻条件且管件规格有限、选型灵活性差容易造成浓度计测量不准的问题。为了达到上述目的，本技术采取了以下技术方案：一种浓度计探头的流通池，包括流通池罐体、流通池上盖、浓度计探头、O-ring密封圈、外六角螺栓和入珠接头，所述流通池罐体为一端开口的中空罐体，所述中空罐体的开口端设有流通池上盖，所述流通池上盖中间设有放置浓度计探头的通孔，所流通池罐体与所述流通池上盖之间设有可以实现封闭作用的O-ring密封圈，所述流通池罐体一侧上端设有用于连接入珠接头的通孔，所述流通池罐体下方也设有用于连接入珠接头的通孔，所述外六角螺栓位于所述流通池上盖上方。进一步的，所述流通池罐体通过R/Rc锥螺纹与两个入珠接头密封。进一步的，所述O-ring密封圈采用FKM材质。进一步的，所述O-ring密封圈内直径为3.55mm，所述O-ring密封圈外直径为80mm。进一步的，所述浓度计探头通过锥螺纹与流通池上盖密封连接。进一步的，所述外六角螺栓的材质为PA材质。本技术与现有技术相比的有益效果：本技术所提供的流通池，选用PTFE棒材，通过数控加工中心加工成型，PTFE材料可以满足高纯需求，且价格便宜，易切削加工，另将流通池分上下两部分，上盖用来安装浓度计探头，下部分罐体为储液室，中间通过O-ring密封，可满足大多数强酸强碱的耐腐蚀的需求，根据选用不同规格的PTFE棒材，可以满足不同品牌浓度计对安装方式及空间的要求，上盖和罐体通过锥螺纹孔加生料带密封，密封可靠，流通池底部有螺纹孔，与支架安装固定方便快捷，安装快捷，且后期维护极为方便。附图说明图1为本技术实施例提供的浓度计探头的流通池的结构示意图。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。还需要说明的是，本技术实施例中的左、右、上、下等方位用语，仅是互为相对概念或是以产品的正常使用状态为参考的，而不应该认为是具有限制性的。如图1所示，为本技术具体实施例的一种浓度计探头的流通池，包括流通池罐体1、流通池上盖2、浓度计探头3、O-ring密封圈5、外六角螺栓4和入珠接头6，所述流通池罐体1为一端开口的中空罐体，所述中空罐体的开口端设有流通池上盖2，所述。流通池上盖2中间设有放置浓度计探头3的通孔，所流通池罐体1与所述流通池上盖2之间设有可以实现封闭作用的O-ring密封圈5，所述流通池罐体1一侧上端设有用于连接入珠接头6的通孔，所述流通池罐体1下方也设有用于连接入珠接头6的通孔，所述外六角螺栓4位于所述流通池上盖2上方。具体的，所述流通池罐体1通过R/Rc锥螺纹与两个入珠接头6密封。具体的，所述O-ring密封圈5采用FKM材质。具体的，所述O-ring密封圈5内直径为3.55mm，所述O-ring密封圈5外直径为80mm。具体的，所述浓度计探头3通过锥螺纹与流通池上盖2密封连接。具体的，所述外六角螺栓4的材质为PA材质。本技术所提供的流通池，选用PTFE棒材，通过数控加工中心加工成型，PTFE材料可以满足高纯需求，且价格便宜，易切削加工，另将流通池分上下两部分，上盖用来安装浓度计探头，下部分罐体为储液室，中间通过O-ring密封，可满足大多数强酸强碱的耐腐蚀的需求，根据选用不同规格的PTFE棒材，可以满足不同品牌浓度计对安装方式及空间的要求，上盖和罐体通过锥螺纹孔加生料带密封，密封可靠，流通池底部有螺纹孔，与支架安装固定方便快捷，安装快捷，且后期维护极为方便。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种浓度计探头的流通池，包括流通池罐体、流通池上盖、浓度计探头、O‑ring密封圈、外六角螺栓和入珠接头，其特征在于：所述流通池罐体为一端开口的中空罐体，所述中空罐体的开口端设有流通池上盖，所述流通池上盖中间设有放置浓度计探头的通孔，所流通池罐体与所述流通池上盖之间设有可以实现封闭作用的O‑ring密封圈，所述流通池罐体一侧上端设有用于连接入珠接头的通孔，所述流通池罐体下方也设有用于连接入珠接头的通孔，所述外六角螺栓位于所述流通池上盖上方。

【技术特征摘要】
1.一种浓度计探头的流通池，包括流通池罐体、流通池上盖、浓度计探头、O-ring密封圈、外六角螺栓和入珠接头，其特征在于：所述流通池罐体为一端开口的中空罐体，所述中空罐体的开口端设有流通池上盖，所述流通池上盖中间设有放置浓度计探头的通孔，所流通池罐体与所述流通池上盖之间设有可以实现封闭作用的O-ring密封圈，所述流通池罐体一侧上端设有用于连接入珠接头的通孔，所述流通池罐体下方也设有用于连接入珠接头的通孔，所述外六角螺栓位于所述流通池上盖上方。2.根据权利要求1所述的浓度计探头的流通池...

【专利技术属性】
技术研发人员：施胜利，陈菊，徐力，
申请(专利权)人：至砾机电设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31