一种铜镍合金旋转靶材及其生产方法技术

本发明专利技术提供了一种铜镍合金旋转靶材的生产方法，其对真空熔炼工艺和自由锻冲孔工艺进行了改善从而达到避免铜镍合金旋转靶材产生裂纹的技术目的：通过对熔铸温度和真空度进行控制，能够有效减少铸锭残余缩孔、夹有杂质等会引发锻造裂纹的缺陷，同时通过预先车孔进而减小冲孔时的阻力从而避免冲孔时产生裂纹。通过本方法所制备得到的铜镍合金旋转靶材，其具有组织成分均匀、致密性良好的优点，且晶粒度可达到100微米，能够避免锻造裂纹的产生，满足客户需求同时使用效果良好，适应目前市场前景。

A Copper-Nickel Alloy Rotary Target and Its Production Method

【技术实现步骤摘要】
一种铜镍合金旋转靶材及其生产方法
本专利技术涉及金属靶材生产
，具体涉及一种铜镍合金旋转靶材及其生产方法。
技术介绍
铜镍合金旋转靶材，主要用于电子线路部分，其对材料的纯度、致密性和晶粒度等要求非常严格。在纯铜材料中加入镍能够显著提高强度、耐蚀性、硬度、电阻和热电性，并降低电阻率温度系数，随着镍含量比例的增加，热塑性显著降低，强度和硬度大幅提升。对于铜镍合金旋转靶材的制备，目前的制备工艺为先将金属原料熔炼成合金铸锭，然后通过成型工艺使得铸锭经过塑性成形，达到所需的形状与尺寸要求；锻压成型工艺作为金属塑性成型工艺的重要内容之一，其主要包括有自由锻和模膛锻；自由锻成型所需工具简单，锻件质量范围广，力学性能好，精度高，加工余量大，劳动强度大，被广泛使用。现有技术中通常采用通过自由锻冲孔对铜镍合金铸锭进行开孔，随后再经过扩孔、拉拔和滚圆，最终满足铜镍合金旋转靶材的尺寸要求。但是，通过此方法制备得到的铜镍合金靶材十分容易产生裂纹，影响产品质量。裂纹是当前影响锻造生产发展和锻件质量的突出问题之一，合金材料在锻造过程中形成裂纹的原因有多种，主要可分为原材料缺陷引起的锻造裂纹和锻造本身引起裂纹本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种铜镍合金旋转靶材的生产方法，其特征在于，具体包括以下步骤：1)真空熔炼：对原料真空熔炼得到铜镍合金铸锭；2)预车孔：在步骤1)所得的铜镍合金铸锭中部用车床预车一通孔；3)冲孔：使用冲头对步骤2)所得铸锭的通孔进行冲孔，得靶材粗坯；4)修整：对步骤3)所得的靶材粗坯进行冲孔扩孔、拉拔、滚圆达到所需尺寸的铜镍合金旋转靶材。

【技术特征摘要】
1.一种铜镍合金旋转靶材的生产方法，其特征在于，具体包括以下步骤：1)真空熔炼：对原料真空熔炼得到铜镍合金铸锭；2)预车孔：在步骤1)所得的铜镍合金铸锭中部用车床预车一通孔；3)冲孔：使用冲头对步骤2)所得铸锭的通孔进行冲孔，得靶材粗坯；4)修整：对步骤3)所得的靶材粗坯进行冲孔扩孔、拉拔、滚圆达到所需尺寸的铜镍合金旋转靶材。2.根据权利要求1所述的铜镍合金旋转靶材的生产方法，其特征在于：所述步骤1)中真空熔炼时浇铸温度为1250℃，真空度为10-2Pa。3.根据权利要求1所述的铜镍合金旋转靶材的生产方法，其特征在于：所述步骤3)中冲孔温度设置为870-890℃。4.根据权利要求3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴本明，文宏福，
申请(专利权)人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44