基于PL干涉现象的激光改性测量薄膜折射率和厚度的方法技术

本发明专利技术涉及一种基于PL干涉现象的激光改性测量薄膜折射率和厚度的方法，属于激光改性及测量领域。该方法基于飞秒激光微纳加工系统，包括以下步骤：通过将购买的GaN基LED外延片样品放到已有的六自由度平移台上，激光通过平凸聚焦在样品表面。激光的能量可以通过衰减片调节，重复频率，扫描速度，扫描间隔可以通过已有的程序进行调节。测量加工后样品的PL谱线，对谱线进行后续分析计算，可以得出样品的折射率和厚度。对比现有技术，本发明专利技术提供的方法通过测量飞秒激光改性后样品的光致发光谱线，分析得到的谱线进而可以计算样品折射率和厚度。

Method of Measuring Refractive Index and Thickness of Thin Films by Laser Modification Based on PL Interference Phenomenon

【技术实现步骤摘要】
基于PL干涉现象的激光改性测量薄膜折射率和厚度的方法
本专利技术涉及一种基于PL干涉现象的激光改性测量薄膜折射率和厚度的方法，属于激光改性及测量领域。
技术介绍
太阳能电池和LED等光电器件与我们的生活密切相关，其构成薄膜材料的光学性质(折射率、厚度等)对器件的性能起着至关重要的作用。然而，由于各种方法原理或者实验方法的局限性，同时测量折射率和厚度仍然是一个难题。现在测试折射率通用的方法有透射谱线法，椭圆偏振法，干涉法等。透射谱线法是利用样品的透射率谱线测量薄膜光学性质的方法。透射谱线法的实验过程比较简单，后续处理过程也比较容易，但是对样品的质量要求比较高，要求样品表面的薄膜必须均匀并且与表面平行，但其仅能测试样品的折射率，无法实现厚度和折射率的同时测量。干涉法是利用相干光干涉形成干涉条纹确定其折射率。但其测试过程比较复杂，容易磨损薄膜表面。折射率和膜厚的同时测量，存在操作困难，不易实现等问题。椭圆偏振法(椭偏法)是利用入射和反射光的偏振状态不同，获得薄膜厚度及其折射率的方法。但是椭圆偏振法测量膜厚随着入射光角度和波长的不同，测量得出的值也会变化。并且椭圆偏振法测量膜厚对于某一个特定本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.基于PL干涉现象的激光改性测量薄膜折射率和厚度的方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤一、采用飞秒激光对清洗干净的薄膜材料进行表面改性；所述激光能量为40‑80mJ/cm

【技术特征摘要】
1.基于PL干涉现象的激光改性测量薄膜折射率和厚度的方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤一、采用飞秒激光对清洗干净的薄膜材料进行表面改性；所述激光能量为40-80mJ/cm2；清洗干净后得到样品；步骤二、将步骤一得到的样品放入光致发光光谱系统中，测量所述样品表面的PL谱线；步骤三、通过下述公式对步骤二测量过程中产生的干涉现象进行计算分析，能够同时得出所加工...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜澜，孙靖雅，谢钰铎，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：发明
国别省市：北京,11