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本发明涉及一种基于PL干涉现象的激光改性测量薄膜折射率和厚度的方法，属于激光改性及测量领域。该方法基于飞秒激光微纳加工系统，包括以下步骤：通过将购买的GaN基LED外延片样品放到已有的六自由度平移台上，激光通过平凸聚焦在样品表面。激光的能量...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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