一种尾气缸自动除垢装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体技术领域，公开一种尾气缸自动除垢装置，尾气缸内设有中空腔室，缸壁上设有与中空腔室连通的尾气进口和排出口，缸壁上还设有与中空腔室连通的进入口，还包括：刮盘，位于中空腔室内，且刮盘周向外壁抵接于中空腔室内壁；驱动单元，能够驱动刮盘沿中空腔室轴向往复移动；冲洗单元，与进入口连通，用于向尾气缸内喷水；吹扫单元，与进入口连通，用于向尾气缸内吹送气体；控制器，电连接于冲洗单元、吹扫单元及驱动单元。本实用新型专利技术通过刮盘除垢、气体吹扫及水的冲刷，对尾气缸进行除垢，如此三重保护可有效防止尾气缸内壁结垢带来的危害，提高了除垢效率，节约了人力资源并节省了除垢成本。

An automatic descaling device for tail cylinder

【技术实现步骤摘要】
一种尾气缸自动除垢装置
本技术涉及半导体
，尤其涉及一种尾气缸自动除垢装置。
技术介绍
通常在半导体及泛半导体行业，会使用到各种特种气体。特种气体的排放需要经过尾气缸处理达标后才能排放，通常湿式尾气缸长时间使用会在尾气缸内壁结垢，随着结垢厚度不停地增加会使尾气缸内径尺寸变小影响气体进入的流量和流速，严重的会使尾气缸堵死导致事故发生，因此需要经常清理尾气缸内部的污垢。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种尾气缸自动除垢装置，能有效清除尾气缸内部的污垢，解决因长时间使用而造成尾气缸内径尺寸变小的问题。为达上述目的，本技术采用以下技术方案：提供一种尾气缸自动除垢装置，所述尾气缸内设有中空腔室，缸壁上设有与所述中空腔室连通的尾气进口和排出口，缸壁上还设有与所述中空腔室连通的进入口，还包括：刮盘，位于所述中空腔室内，且所述刮盘周向外壁抵接于所述中空腔室内壁；驱动单元，能够驱动所述刮盘沿所述中空腔室轴向往复移动；冲洗单元，与所述进入口连通，用于向所述尾气缸内喷水；吹扫单元，与所述进入口连通，用于向所述尾气缸内吹送气体；控制器，电连接于所述冲洗单元、所述吹扫单元及所述驱动单元。作为一种尾气缸自动除本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种尾气缸自动除垢装置，所述尾气缸(1)内设有中空腔室，缸壁上设有与所述中空腔室连通的尾气进口(12)和排出口，其特征在于，缸壁上还设有与所述中空腔室连通的进入口(11)，还包括：刮盘(10)，位于所述中空腔室内，且所述刮盘(10)周向外壁抵接于所述中空腔室内壁；驱动单元，能够驱动所述刮盘(10)沿所述中空腔室轴向往复移动；冲洗单元，与所述进入口(11)连通，用于向所述尾气缸(1)内喷水；吹扫单元，与所述进入口(11)连通，用于向所述尾气缸(1)内吹送气体；控制器，电连接于所述冲洗单元、所述吹扫单元及所述驱动单元。

【技术特征摘要】
1.一种尾气缸自动除垢装置，所述尾气缸(1)内设有中空腔室，缸壁上设有与所述中空腔室连通的尾气进口(12)和排出口，其特征在于，缸壁上还设有与所述中空腔室连通的进入口(11)，还包括：刮盘(10)，位于所述中空腔室内，且所述刮盘(10)周向外壁抵接于所述中空腔室内壁；驱动单元，能够驱动所述刮盘(10)沿所述中空腔室轴向往复移动；冲洗单元，与所述进入口(11)连通，用于向所述尾气缸(1)内喷水；吹扫单元，与所述进入口(11)连通，用于向所述尾气缸(1)内吹送气体；控制器，电连接于所述冲洗单元、所述吹扫单元及所述驱动单元。2.根据权利要求1所述的尾气缸自动除垢装置，其特征在于，所述进入口(11)设有一个，所述进入口(11)设有电连接于所述控制器的换向阀，所述换向阀包括两个进口，两个所述进口分别连接于所述冲洗单元和所述吹扫单元。3.根据权利要求1所述的尾气缸自动除垢装置，其特征在于，所述进入口(11)设有两个，两个所述进入口(11)分别连接于所述冲洗单元和所述吹扫单元。4.根据权利要求1所述的尾气...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨帆，
申请(专利权)人：上海正帆半导体设备有限公司，上海正帆科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31