OLED面板的制造方法和OLED面板的制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术的OLED面板的制造方法包括：在支承基板(50)的上侧，将树脂层(12)、平均应力(Px)为零或为拉伸应力的无机层(3)、TFT层(4)、OLED元件层(5)和密封层(6)依次层叠而形成层叠体(7)的工序；和将支承基板(50)从层叠体(7)分离的工序。

Manufacturing Method of OLED Panel and Manufacturing Device of OLED Panel

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】OLED面板的制造方法和OLED面板的制造装置
本专利技术涉及OLED面板的制造方法。
技术介绍
在柔性的OLED(有机发光二极管)面板的制造工序中，例如，在玻璃基板等支承基板的上侧形成由塑料层、底涂层、TFT层、发光元件层、密封层、覆盖基板等构成的层叠体，然后从玻璃基板的下表面侧向上述层叠体照射激光等，将支承基板剥离(参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2015-194642号公报(2015年11月5日公开)
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题通常，在底涂层和TFT层会产生压缩应力，因此，存在如下问题：当将支承基板剥离(即，释放压缩应力)时，这些层会伸长而导致层叠体产生翘曲(卷曲)或褶皱，对其后的工序带来不良影响。用于解决技术问题的手段进行：在支承基板的上侧，将树脂层、平均应力为零或为拉伸应力的无机层、TFT层、OLED元件层和密封层依次层叠而形成层叠体的工序；和将上述支承基板从上述层叠体分离的工序。专利技术效果通过形成平均应力为零或为拉伸应力的无机层，能够使上述层叠体的平均应力接近零，能够抑制将层叠体从支承基板分离时产生的翘曲和褶皱。附图说明图1是本实施方式本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种OLED面板的制造方法，其特征在于，包括：在支承基板的上侧，将树脂层、平均应力为零或为拉伸应力的无机层、TFT层、OLED元件层和密封层依次层叠而形成层叠体的工序；和将所述支承基板从所述层叠体分离的工序。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种OLED面板的制造方法，其特征在于，包括：在支承基板的上侧，将树脂层、平均应力为零或为拉伸应力的无机层、TFT层、OLED元件层和密封层依次层叠而形成层叠体的工序；和将所述支承基板从所述层叠体分离的工序。2.如权利要求1所述的OLED面板的制造方法，其特征在于：所述无机层包括：具有拉伸应力的第一无机膜；和具有压缩应力的第二无机膜。3.如权利要求1或2所述的OLED面板的制造方法，其特征在于：在所述密封层上粘接挠性的上表面膜后，将所述支承基板剥离。4.如权利要求1至3中任一项所述的OLED面板的制造方法，其特征在于：以与所述树脂层接触的方式形成所述无机层。5.如权利要求1至4中任一项所述的OLED面板的制造方法，其特征在于：将所述支承基板分离后，在树脂层的下侧粘接挠性的下表面膜。6.如权利要求2所述的OLED面板的制造方法，其特征在于：在所述第一无机膜的上侧形成所述第二无机膜。7.如权利要求2所述的OLED面板的制造方法，其特征在于：将所述第一无机膜形成得比所述第二无机膜厚。8.如权利要求2所述的OLED面板的制造方法，其特征在于：利用CVD法分别形成所述第一无机膜和第二无机膜。9.如权利要求2所述的OLED面板的制造方法，其特征在于：由不同的无机化合物构成所述第一无机膜和第二无机膜。10.如权利要求2所述的OLED面板的制造方法，其特征在于：由氧氮化硅构成所述第一无机膜。11.如权利要求2所述的OLED面板的制造方法，其特征在于：由氮化硅或氧化硅构成所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中哲宪，冈崎庄治，安田有希，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP