【技术实现步骤摘要】
一种水氧颗粒自动分析系统及其分析方法
本专利技术涉及特气设备安全性检测
,尤其涉及一种水氧颗粒自动分析系统及其分析方法。
技术介绍
随着半导体集成电路、光伏等行业国内外市场需求的不断扩大,特气的用量也不断增大,因此对特气设备的需求量也越来越大,对特气设备的品质要求也越来越高。为了保证特气设备安全、稳定、可靠地贮存和输送特种气体,除了在特气输送系统设计时,全面考虑安全问题外,还需在特气设备生产过程中对设备进行安全性测试。目前特气设备的主要安全性测试项目有:保压测试、氦检测试、水分测试、氧分测试、颗粒测试。保压测试的目的是确保管路系统没有明显的泄漏,以便对管路系统进行氦测漏。测试工具:压力表。氦检测试的目的是利用氦质谱仪感测漏入系统中的微量氦气,并根据检测到的氦气的量来确定漏率的大小。水分检测的目的主要是为了避免管道内水含量过高时,会发生化学反应,对制程造成影响。测试仪器:水分仪。氧分检测的目的主要是为了避免管道内氧含量过高时,会发生化学反应,对制程造成影响。测试仪器:氧分仪颗粒检测主要是检测管道内微粒子的粒径大小和数量多少。如果管道内微粒子过多会对Wafer(晶片)良率影响很大。测试仪器:颗粒仪目前对特气设备进行安全性测试时,直接将吹扫气源连接到管路系统的进气端,所有阀门处于开启状态,连续吹扫2H后,将管路系统的出气端与三个测试仪器(水分仪、氧分析仪、颗粒仪)中的一个相连接,使气体通入测试仪器,10分钟后打开电源,设置测试仪器各项参数后开始测试,待测试数据达到标准要求后,记录测试数据,关闭进气端和出气端阀门,使管道内保持正压,然后将测试仪器断电,使测试 ...
【技术保护点】
1.一种水氧颗粒自动分析系统,其特征在于,包括分析检测柜;待测设备;以及用以放置待测设备的设备放置架;其中,所述分析检测柜包括柜体、测试盘面、纯化器、测试仪器、真空罐和控制器,所述测试盘面、纯化器、测试仪器、真空罐和控制器均设置在柜体内,所述测试盘面包括进气管路、保养管路、测试管路、吹扫管路和抽真空管路,进气管路的一个进气支路与气源相连、另一进气支路连接至纯化器的出气端,进气管路的出气端与待测设备的进气口相连,待测设备的出气口分别与吹扫管路、抽真空管路和测试管路相连,测试管路与测试仪器的进气端相连,测试仪器的出气端连接有排气管路;所述纯化器的进气端与气源相连接、出气端与保养管路的进气端相连,保养管路的出气端连接至测试仪器的进气端。
【技术特征摘要】
1.一种水氧颗粒自动分析系统,其特征在于,包括分析检测柜;待测设备;以及用以放置待测设备的设备放置架;其中,所述分析检测柜包括柜体、测试盘面、纯化器、测试仪器、真空罐和控制器,所述测试盘面、纯化器、测试仪器、真空罐和控制器均设置在柜体内,所述测试盘面包括进气管路、保养管路、测试管路、吹扫管路和抽真空管路,进气管路的一个进气支路与气源相连、另一进气支路连接至纯化器的出气端,进气管路的出气端与待测设备的进气口相连,待测设备的出气口分别与吹扫管路、抽真空管路和测试管路相连,测试管路与测试仪器的进气端相连,测试仪器的出气端连接有排气管路;所述纯化器的进气端与气源相连接、出气端与保养管路的进气端相连,保养管路的出气端连接至测试仪器的进气端。2.根据权利要求1所述的水氧颗粒自动分析系统,其特征在于,所述抽真空管路由真空主管、以及并联设置的真空主管上的多路真空支管构成,每路真空支管分别连接一个待测设备;每路真空支管上均设有第一压力控制阀,真空主管上依次设置有第二压力控制阀、真空罐、第三压力控制阀和真空泵,所述真空罐上安装有用于检测真空罐罐体内压力的第一压力传感器,所述第一压力控制阀、第三压力控制阀、第一压力传感器均与控制器电连接。3.根据权利要求1所述的水氧颗粒自动分析系统,其特征在于,所述测试仪器包括水分仪、氧分析仪和颗粒仪,水分仪的进气端、氧分析仪的进气端、颗粒仪的进气端均与测试管路相连。4.根据权利要求1所述的水氧颗粒自动分析系统,其特征在于,所述进气管路、测试管路均设置有多路,进气管路和测试管路的数量均与待测设备的数量相等,每个待测设备上均连接有一路进气管路、一路测试管路。5.根据权利要求4所述的水氧颗粒自动分析系统,其特征在于,所述测试管路由一路测试主管、以及并联设置在测试主管出气端的三路测试支管构成,三路测试支管依次连接至水分仪、氧分析仪和颗粒仪的进气端;所述测试主管上设置有第一测试控制阀,所述测试支管上依次串联连接有第二测试控制阀和第三测试控制阀,第二测试控制阀和第三测试控制阀的连接点处依次连接有第一单向阀和排气阀,所述第一测试控制阀、第二测试控制阀、第三测试控制阀、排气阀均与控制器电连接。6.根据权利要求1所述的水氧颗粒自动分析系统,其特征在于,所述吹扫管路由吹扫主管、以及并联设置在吹扫主管进气端的多路吹扫支管构成,每路吹扫支管分别连接一个待测设备;所述吹扫主管上设置有第二单向阀,每路吹扫支管上均设置有吹扫控制阀,所述吹扫控制阀与控制器电连接。7.根据权利要求1所述的水氧颗粒自动分析系统,其特征在于,所述保养管路由保养主管、以及并联设置在保养主管出气端的三路保养支管构成,三路保养支管依次连接至水分仪、氧分析仪和颗粒仪的进气端;所述保养主管上设有微漏阀,每路保养支管上均设有保养控制阀,所述保养控制阀与控制器电连接。8.根据权利要求1所述的水氧颗粒自动分析系统,其特征在于,所述纯化器的出气端管路上设...
【专利技术属性】
技术研发人员:时昌杰,陈菊,鲍斌,
申请(专利权)人:至砾机电设备上海有限公司,上海至纯洁净系统科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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