一种角度调节器及使用该角度调节器的真空设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种角度调节器及使用该角度调节器的真空设备，角度调节器包括第一安装法兰和第二安装法兰，第一安装法兰和第二安装法兰之间通过波纹软管连接并连通，波纹软管外侧套装有环形安装架，环形安装架的内径大于波纹软管的外径，环形安装架上设置有设置于朝向第一安装法兰悬伸并与之连接的第一连接臂，第一连接臂的数量为两个并相对设置，各第一连接臂与第一安装法兰的外周面之间设置有第一调节螺钉，环形安装架上设置有朝向第二安装法兰悬伸的并与第二安装法兰连接的第二连接臂。通过调节两个第一调节螺钉即可实现环形安装架上的第一连接臂与第一安装法兰之间的位置，进而调节环形安装架和第二安装法兰的位置及真空零部件的位置。

An Angle Regulator and Vacuum Equipment Using the Angle Regulator

【技术实现步骤摘要】
一种角度调节器及使用该角度调节器的真空设备
本技术涉及真空设备上用的用于调节真空零部件角度的角度调节装置,具体涉及一种角度调节器及使用该角度调节器的真空设备。
技术介绍
在真空镀膜、半导体以及航空航天领域均会用到真空设备，真空设备一般包括真空腔体和设置于真空腔体上的驱动器等真空零部件，在真空零部件与真空腔体安装时，一般通过安装法兰进行密封连接安装，但是安装成功后，想要调节真空零部件相对于真空腔体的位置则无法实现，例如驱动器与真空腔体安装位置不合适时，导致传动轴上的夹头无法夹持东西，无法调节驱动器的位置，只能重新对真空腔体和驱动器之间的安装结构进行重新加工，导致费事费力，也增加了生产的成本。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种角度调节器，以解决现有技术中的真空腔体与真空零部件之间安装后真空零部件控制无法调节的问题；同时，本技术的目的还在于提供一种使用该角度调节器的真空设备。为实现上述目的，本技术的一种角度调节器采用如下技术方案：一种角度调节器，包括用于与真空腔体密封连接的第一安装法兰和用于与真空零部件密封连接的第二安装法兰，第一安装法兰和第二安装法兰之间通过波纹软管连接并连通，波纹软管外侧套装有环形安装架，环形安装架的内径大于波纹软管的外径，环形安装架上设置有设置于朝向第一安装法兰悬伸并与之连接的第一连接臂，第一连接臂的数量为两个并相对设置，各第一连接臂与第一安装法兰的外周面之间设置有第一调节螺钉以调节第一安装法兰与第一连接臂之间的距离，所述环形安装架上设置有朝向第二安装法兰悬伸的并与第二安装法兰连接的第二连接臂。所述第二连接臂的数量为两个并相对设置，第二连接臂与第二安装法兰之间设置有第二调节螺钉以调节第二安装法兰与第二连接臂之间的距离，所述第一连接臂和第二连接臂沿环形安装架的外周面均匀间隔设置。所述环形安装架与第一安装法兰之间设置有第三调节螺钉，第三调节螺钉的轴线平行于第一安装法兰的轴线，用于调节第二安装法兰的轴线角度。所述环形安装架与第二安装法兰之间设置有第四调节螺钉，第四调节螺钉的轴线平行于第二安装法兰的轴线，用于调节第二安装法兰的轴线角度。所述第三调节螺钉的数量为两个并相对设置，第四调节螺钉的数量为两个并相对设置，第三调节螺钉和第四调节螺钉沿环形安装架周向均匀间隔设置。本技术的一种真空设备采用如下技术方案：一种真空设备，包括真空腔体、真空零部件及连接于真空腔体与真空零部件之间的角度调节器，包括用于与真空腔体密封连接的第一安装法兰和用于与真空零部件密封连接的第二安装法兰，第一安装法兰和第二安装法兰之间通过波纹软管连接并连通，波纹软管外侧套装有环形安装架，环形安装架的内径大于波纹软管的外径，环形安装架上设置有设置于朝向第一安装法兰悬伸并与之连接的第一连接臂，第一连接臂的数量为两个并相对设置，各第一连接臂与第一安装法兰的外周面之间设置有第一调节螺钉以调节第一安装法兰与第一连接臂之间的距离，所述环形安装架上设置有朝向第二安装法兰悬伸的并与第二安装法兰连接的第二连接臂。所述第二连接臂的数量为两个并相对设置，第二连接臂与第二安装法兰之间设置有第二调节螺钉以调节第二安装法兰与第二连接臂之间的距离，所述第一连接臂和第二连接臂沿环形安装架的外周面均匀间隔设置。所述环形安装架与第一安装法兰之间设置有第三调节螺钉，第三调节螺钉的轴线平行于第一安装法兰的轴线，用于调节第二安装法兰的轴线角度。所述环形安装架与第二安装法兰之间设置有第四调节螺钉，第四调节螺钉的轴线平行于第二安装法兰的轴线，用于调节第二安装法兰的轴线角度。所述第三调节螺钉的数量为两个并相对设置，第四调节螺钉的数量为两个并相对设置，第三调节螺钉和第四调节螺钉沿环形安装架周向均匀间隔设置。本技术的有益效果：两个第一连接臂相对设置，通过调节两个第一调节螺钉即可实现环形安装架上的第一连接臂与第一安装法兰之间的位置，而环形安装架通过第二连接臂与第二安装法兰连接，环形安装架的位置调节也可以带动第二安装法兰的位置调节，进而可以调节安装在第二安装法兰上的真空零部件的位置调节，使用方便，通用性强。附图说明图1是本技术的一种真空设备的一个实施例中的角度调节的结构示意图。具体实施方式本技术的一种真空设备的实施例，如图1所示，包括真空腔体(图中未给出)、真空零部件(图中未给出)及连接于真空腔体与真空零部件之间的角度调节器，真空零部件本实施例中为与真空腔体配合的驱动器，可实现对真空腔体内部的物品进行抓取和放置。角度调节器包括用于与真空腔体密封连接的第一安装法兰1和用于与真空零部件密封连接的第二安装法兰2，第一安装法兰1和第二安装法兰2之间通过波纹软管3连接并连通。波纹软管3外侧套装有环形安装架4，环形安装架4的内径大于波纹软管3的外径，环形安装架4上设置有设置于朝向第一安装法兰1悬伸并与之连接的第一连接臂5，第一连接臂5的数量为两个并相对设置，各第一连接臂5与第一安装法兰1的外周面之间设置有第一调节螺钉6以调节第一安装法兰1与第一连接臂5之间的距离。环形安装架4上设置有朝向第二安装法兰2悬伸的并与第二安装法兰2连接的第二连接臂7，第二连接臂7的数量为两个并相对设置，第二连接臂7与第二安装法兰2之间设置有第二调节螺钉8以调节第二安装法兰2与第二连接臂7之间的距离。第一连接臂5和第二连接臂7沿环形安装架4的外周面均匀间隔设置，可以在上、下、左、右四个方向上的对驱动器的位置进行调节。环形安装架4与第一安装法兰1的朝向第二安装法兰的侧面之间设置有第三调节螺钉9，第三调节螺钉9的轴线平行于第一安装法兰的轴线，以调节第二安装法兰的轴线角度。环形安装架4与第二安装法兰2的朝向第一安装法兰的侧面之间设置有第四调节螺钉10，第四调节螺钉10的轴线平行于第二安装法兰的轴线，以调节第二安装法兰的轴线角度。第三调节螺钉9的数量为两个并相对设置，第四调节螺钉10的数量为两个并相对设置，第三调节螺钉9和第四调节螺钉10沿环形安装架周向均匀间隔设置。可以对四个方向上对驱动器的输出轴线的角度进行调节。以上结构的角度驱动器具有很强的调节功能，通用性强，使用方便。在本技术的其他实施例中，在不需要多方向调解时，也可以使第二连接臂与第二安装法兰固定连接，比如焊接，而不设置第二调节螺钉；在不需要度真空零部件的轴线角度调节时，也可以不设置第三调节螺钉和第四调节螺钉。一种角度调节器的实施例与上述一种真空设备的各实施例中的角度调节器的结构相同，此处不再赘述。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种角度调节器，其特征在于：包括用于与真空腔体密封连接的第一安装法兰和用于与真空零部件密封连接的第二安装法兰，第一安装法兰和第二安装法兰之间通过波纹软管连接并连通，波纹软管外侧套装有环形安装架，环形安装架的内径大于波纹软管的外径，环形安装架上设置有设置于朝向第一安装法兰悬伸并与之连接的第一连接臂，第一连接臂的数量为两个并相对设置，各第一连接臂与第一安装法兰的外周面之间设置有第一调节螺钉以调节第一安装法兰与第一连接臂之间的距离，所述环形安装架上设置有朝向第二安装法兰悬伸的并与第二安装法兰连接的第二连接臂。

【技术特征摘要】
1.一种角度调节器，其特征在于：包括用于与真空腔体密封连接的第一安装法兰和用于与真空零部件密封连接的第二安装法兰，第一安装法兰和第二安装法兰之间通过波纹软管连接并连通，波纹软管外侧套装有环形安装架，环形安装架的内径大于波纹软管的外径，环形安装架上设置有设置于朝向第一安装法兰悬伸并与之连接的第一连接臂，第一连接臂的数量为两个并相对设置，各第一连接臂与第一安装法兰的外周面之间设置有第一调节螺钉以调节第一安装法兰与第一连接臂之间的距离，所述环形安装架上设置有朝向第二安装法兰悬伸的并与第二安装法兰连接的第二连接臂。2.根据权利要求1所述的角度调节器，其特征在于：所述第二连接臂的数量为两个并相对设置，第二连接臂与第二安装法兰之间设置有第二调节螺钉以调节第二安装法兰与第二连接臂之间的距离，所述第一连接臂和第二连接臂沿环形安装架的外周面均匀间隔设置。3.根据权利要求1或2所述的角度调节器，其特征在于：所述环形安装架与第一安装法兰之间设置有第三调节螺钉，第三调节螺钉的轴线平行于第一安装法兰的轴线，用于调节第二安装法兰的轴线角度。4.根据权利要求3所述的角度调节器，其特征在于：所述环形安装架与第二安装法兰之间设置有第四调节螺钉，第四调节螺钉的轴线平行于第二安装法兰的轴线，用于调节第二安装法兰的轴线角度。5.根据权利要求4所述的角度调节器，其特征在于：所述第三调节螺钉的数量为两个并相对设置，第四调节螺钉的数量为两个并相对设置，第三调节螺钉和第四调节螺钉沿环形安装架周向均匀间隔设置。6.一种真空设备，包括真空腔体...

【专利技术属性】
技术研发人员：白红帅，
申请(专利权)人：河南晶珂锐真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41