分光器，分析设备和波长可变光源制造技术

为了能够提供小型且低成本的分光器，一种分光器包括：光入射单元，被构造为允许来自外部的光入射；衍射光栅，被构造为根据波长分散通过光入射单元入射的光；以及反射单元，包括反射表面，用于反射由衍射光栅根据波长分散的光。反射表面的倾斜是可变的。

Splitter, Analytical Equipment and Wavelength Variable Light Source

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】分光器，分析设备和波长可变光源
本专利技术涉及分光器、分析设备和波长可变光源。
技术介绍
所谓的分光器，其用于在波长基础上分散测量光，以便获得每个波长的分光镜光谱(spectroscopicspectrum)，在本领域中通常是已知的。注意，一般的分光器构造有凹衍射光栅，用于将测量的入射光分散到具有多个波长的光中，并且构造有能够检测具有多个波长的每个光的阵列传感器(例如，参见如下所示的专利文献1)。例如，硅(Si)光电二极管、InGaAs(铟镓砷)光电二极管等可以用于阵列传感器。引用文献列表专利文献专利文献1：日本未审查专利申请公开No.2015-148485
技术实现思路
技术问题然而，传统上，由于用于分光器的阵列传感器是大型且昂贵的，因此存在不能提供小型且廉价的分光器的问题。作为与传统技术有关的上述问题的解决方案，本专利技术的目的是提供一种小型且廉价的分光器。解决技术问题的技术方案作为上述问题的解决方案，本专利技术的一个方面提供了一种分光器，包括：光入射单元，被构造为允许来自外部的光入射；衍射光栅，被构造为根据波长分散通过光入射单元入射的光；以及反射单元，包括反射表面，用于反射由衍射光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种分光器，包括：光入射单元，该光入射单元被构造为允许来自外部的光的入射；衍射光栅，该衍射光栅被构造为根据波长分散通过所述光入射单元入射的光；和反射单元，该反射单元包括反射表面，用于反射由衍射光栅根据波长已经分散的光，其中反射表面的倾斜是可变的。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.01.20 JP 2017-008806;2017.09.19 JP 2017-178911.一种分光器，包括：光入射单元，该光入射单元被构造为允许来自外部的光的入射；衍射光栅，该衍射光栅被构造为根据波长分散通过所述光入射单元入射的光；和反射单元，该反射单元包括反射表面，用于反射由衍射光栅根据波长已经分散的光，其中反射表面的倾斜是可变的。2.根据权利要求1所述的分光器，还包括驱动单元，该驱动单元被构造为驱动所述反射单元以控制所述反射表面的倾斜。3.根据权利要求1或2所述的分光器，还包括光输出单元，该光输出单元被构造为在被所述反射单元反射之后从外部输出所述光。4.根据权利要求3所述的分光器，其中所述光输出单元和所述衍射光栅形成在单个基板上。5.根据权利要求1至4中任一项所述的分光器，其中所述光入射单元和所述反射单元形成在单个基板上。6.根据权利要求3所述的分光器，其中所述光输出单元和所述光入射单元形成在单个基板上。7.根据权利要求3所述的分光器，还包括：第一基板；第二基板；和设置在第一基板和第二基板之间的介入构件，其中光入射单元和反射单元形成在第一基板上，其中光输出单元和衍射光栅形成在第二基板上，和其中第一基板和第二基板中的每一个结合到介入构件。8.根据权利要求3所述的分光器，还包括：第一基板；第二基板；和设置在第一基板和第二基板之间的第三基板，该第三基板不平行于第一基板和第二基板，其中反射单元形成在第一基板上，其中衍射光栅形成在第二基板上，其中光入射单元和光输出单元形成在第三基板上，和其中第一基板和第二基板中的每一个都结合到第三基板。9.根据权利要求4，5，7和8中任一项所...

【专利技术属性】
技术研发人员：野口英刚，安住纯一，加藤英记，末松政士，藤岛正幸，铃木修一，
申请(专利权)人：株式会社理光，
类型：发明
国别省市：日本,JP