分光器制造技术

分光器(1A)包括：封装体(2)，其具有底座(4)及盖(5)；光学单元(10A)，其配置于底座(4)上；及引线销(3)，其将光学单元(10A)固定于底座(4)。光学单元(10A)包含：分光部(21)，其将自盖(5)的光入射部(6)入射的光分光并且反射；光检测元件(30)，其具有将由分光部(21)分光并且反射的光进行检测的光检测部(31)；支撑体(40)，其以在分光部(21)与光检测元件(30)之间形成空间的方式支撑光检测元件(30)；及突出部(11)，其自支撑体(40)突出，且固定有引线销(3)。光学单元(10A)成为可在光学单元(10A)与底座(4)的接触部相对于底座(4)移动的状态。

Spectrometer

【技术实现步骤摘要】
分光器本申请是申请日为2015年2月3日、申请号为201580007265.7、专利技术名称为分光器的专利申请的分案申请。
本专利技术涉及一种将光分光并进行检测的分光器。
技术介绍
例如，在专利文献1中记载有一种分光器，该分光器包括：光入射部；分光部，其将自光入射部入射的光分光并且反射；光检测元件，其对经分光部分光并且反射的光进行检测；及箱状的支撑体，其支撑光入射部、分光部及光检测元件。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2000-298066号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题然而，如上所述的分光器存在如下波长温度依赖性的问题：因由使用分光器的环境的温度变化或光检测元件的光检测部的发热等所引起的材料的膨胀及收缩，而导致分光部与光检测元件的光检测部的位置关系产生偏移，从而被检测的光的峰值波长位移。若被检测的光的峰值波长的位移量(波长位移量)变大，则有分光器的检测精度降低的担忧。因此，本专利技术的目的在于提供一种可抑制检测精度的降低的分光器。解决问题的技术手段本专利技术的一个方面的分光器包括：封装体，其具有底座(stem)、及设置有光入射部的盖(cover)；光学单元，其在封装体内配置于底座上；及固定构件，其将光学单元固定于底座；光学单元包含：分光部，其将自光入射部入射至封装体内的光分光并且反射；光检测元件，其包含对由分光部分光并且反射的光进行检测的光检测部；支撑体，其以在分光部与光检测元件之间形成有空间的方式支撑光检测元件；及突出部，其自支撑体突出，且固定有固定构件；且光学单元成为可在光学单元与底座的接触部相对于底座移动的状态。该分光器中，光学单元在封装体内配置于底座上。由此，可抑制因构件的劣化等而导致的检测精度的降低。另外，光学单元通过固定构件而相对于封装体定位。另一方面，光学单元成为可在光学单元与底座的接触部相对于底座移动的状态。即，光学单元并非通过粘结等方式固定于底座。由此，可缓和因由使用分光器的环境的温度变化或光检测元件的发热等所引起的底座的膨胀及收缩而产生的底座与光学单元之间的残留应力或应力，而可抑制分光部与光检测元件的光检测部的位置关系产生偏移。因此，根据该分光器，可减少因分光器的材料的膨胀及收缩而产生的波长位移量，而可抑制检测精度的降低。本专利技术的一个方面的分光器中，也可为分光部设置于基板上而构成分光元件，支撑体也可包含：底壁部，其以与底座相对的方式配置，且固定有光检测元件；及侧壁部，其以自分光部的侧方相对于底座竖立设置的方式配置，并支撑底壁部；且侧壁部也可在侧壁部与基板的接触部的一部分接合于基板。根据该构成，支撑体的侧壁部在侧壁部与基板的接触部的一部分接合于基板，由此，可恰当地进行分光部相对于固定于底壁部的光检测元件的定位。另一方面，由于侧壁部未完全接合于基板，因而可缓和支撑体及基板因膨胀及收缩而相互赋予的应力或残留应力。由此，可抑制分光部与光检测元件之间的位置偏移，可进一步减少因分光器的材料的膨胀及收缩而产生的波长位移量。本专利技术的一个方面的分光器中，侧壁部也可由相互相对的第1壁部及第2壁部构成，第1壁部也可在第1壁部与基板的接触部的至少一部分接合于基板，且第2壁部也可成为可在第2壁部与基板的接触部相对于基板移动的状态。根据该构成，通过以夹着分光部而相对的方式设置的第1壁部及第2壁部，可简化支撑体的构造并且可谋求支撑体相对于基板的位置关系的稳定化。再有，通过仅在支撑体的侧壁部中的一者(第1壁部)至少将其一部分接合(单侧固定)于基板，可可靠地进行支撑体相对于基板的定位，并且可缓和支撑体及基板因膨胀及收缩而相互赋予的应力或残留应力。本专利技术的一个方面的分光器中，第1壁部与基板的接触部的面积也可大于第2壁部与基板的接触部的面积。根据该构成，可确保足以将支撑体接合于基板的面积，并且可缓和支撑体及基板因膨胀及收缩而相互赋予的应力或残留应力。本专利技术的一个方面的分光器中，第1壁部与基板的接触部的面积也可小于第2壁部与基板的接触部的面积。根据该构成，通过抑制用于将支撑体接合于基板的面积，可进一步缓和支撑体及基板因膨胀及收缩而相互赋予的应力或残留应力。本专利技术的一个方面的分光器中，在自底座与底壁部相对的方向观察的情况下，第1壁部与第2壁部也可在与光检测部相对于分光部偏移的方向平行的方向上相互相对。根据该构成，可使得用于将光检测元件设置于支撑体的制造作业容易化，并且可谋求基板上的空余空间的有效利用。本专利技术的一个方面的分光器中，分光部也可通过设置于基板上而构成分光元件，支撑体也可包含：底壁部，其以与底座相对的方式配置，且固定有光检测元件；及侧壁部，其以自分光部的侧方相对于底座竖立设置的方式配置，并支撑底壁部；侧壁部也可由第1壁部及第2壁部构成，在自底座与底壁部相对的方向观察的情况下，上述第1壁部及第2壁部也可在与光检测部相对于分光部偏移的方向垂直的方向上相互相对，且侧壁部也可在侧壁部与基板的接触部的至少一部分接合于基板。根据该构成，第1壁部及第2壁部以在对产生位置偏移的情况下的波长位移量造成的影响较小的方向上相互相对的方式设置，因此，可期待进一步减少因支撑体及基板因膨胀及收缩而相互赋予的应力或残留应力所产生的波长位移量。专利技术的效果根据本专利技术，能够提供一种可抑制检测精度的降低的分光器。附图说明图1是本专利技术的第1实施方式的分光器的截面图。图2是沿着图1的II-II线的侧面视的截面图。图3是沿着图1的III-III线的平面视的截面图。图4是图1的分光器的支撑体的底面图。图5是图1的分光器的变形例的支撑体的底面图。图6是图1的分光器的变形例的支撑体的底面图。图7是本专利技术的第2实施方式的分光器的截面图。图8是沿着图7的VIII-VIII线的侧面视的截面图。图9是图7的分光器的支撑体的底面图。图10是本专利技术的第3实施方式的分光器的侧面视的截面图。图11是本专利技术的第4实施方式的分光器的截面图。图12是沿着图11的XII-XII线的侧面视的截面图。图13是图11的分光器的支撑体的底面图。图14是本专利技术的第5实施方式的分光器的截面图。图15是沿着图14的XV-XV线的侧面视的截面图。图16是图14的分光器的支撑体的底面图。图17是图14的分光器的变形例的支撑体的底面图。具体实施方式以下，参照附图，对本专利技术的优选的实施方式进行详细说明。再者，在各图中对相同或相当部分标注相同符号并省略重复的说明。[第1实施方式]如图1及图2所示，分光器1A具备：封装体2，其具有CAN封装体的构成；光学单元10A，其收纳于封装体2内；及多个引线销(固定构件)3。封装体2包含由金属构成的矩形板状的底座4、及由金属构成的长方体箱状的盖5。底座4与盖5以底座4的凸缘部4a与盖5的凸缘部5a接触的状态气密性地接合。作为一个例子，底座4与盖5的气密密封在进行了露点管理(例如-55℃)的氮气氛中或真空气氛中进行。由此，可抑制因由湿气所引起的封装体2内的构件的劣化、及因外部气体温度降低所引起的封装体2内的结露的产生等而导致的检测精度的降低。再者，封装体2的一边的长度为例如10～20mm左右。在盖5中的与底座4相对的壁部5b，设置有使光L1自封装体2外入射至封装体2内的光入射部6。光入射部6通过如下方法构成：以覆盖形成于壁部5b的截面圆形状的光通过孔5c的方式，将圆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种分光器，其特征在于，包括：封装体，其具有底座、及设置有光入射部的盖；及光学单元，其在所述封装体内配置于所述底座上，所述光学单元包含：分光部，其将自所述光入射部入射至所述封装体内的光分光并且反射；光检测元件，其包含检测由所述分光部分光并且反射的光的光检测部；支撑体，其以在所述分光部与所述光检测元件之间形成空间的方式支撑所述光检测元件，所述支撑体包含：底壁部，其以与所述底座相对的方式配置，且固定有所述光检测元件；及侧壁部，其以相对于所述底座竖立设置的方式配置，并支撑所述底壁部，所述侧壁部由相互相对的第1壁部及第2壁部构成，所述第1壁部和所述第2壁部相对的方向上的所述第1壁部的宽度大于所述第1壁部和所述第2壁部相对的方向上的所述第2壁部的宽度。

【技术特征摘要】
2014.02.05 JP 2014-0206561.一种分光器，其特征在于，包括：封装体，其具有底座、及设置有光入射部的盖；及光学单元，其在所述封装体内配置于所述底座上，所述光学单元包含：分光部，其将自所述光入射部入射至所述封装体内的光分光并且反射；光检测元件，其包含检测由所述分光部分光并且反射的光的光检测部；支撑体，其以在所述分光部与所述光检测元件之间形成空间的方式支撑所述光检测元件，所述支撑体包含：底壁部，其以与所述底座相对的方式配置，且固定有所述光检测元件；及侧壁部，其以相对于所述底座竖立设置的方式配置，并支撑所述底壁部，所述侧壁部由相互相对的第1壁部及第2壁部构成，所述第1壁部和所述第2壁部相对的方向上的所述第1壁部的宽度大于所述第1壁部和所述第2壁部相对的方向上的所述第2壁部的宽度。2.如权利要求1所述的分光器，其特征在于，所述分光部设置于基板上而构成分光元件，所述侧壁部在所述侧壁部与所述基板的接触部的一部分上接合于所述基板。3.如权利要求2所述的分光器，其特征在于，所述第1壁部与所述基板的接触部的面积大于所述第2壁部与所述基板的接触部的面积，所述第1壁部在所述第1壁部与所述基板的接触部的至少一部分上接合于所述基板，所述第2壁部成为在所述第2壁部与所述基板的接触部上能够相对于所述基板移动的状态。4.如权利要求2所述的分光器，其特征在于，所述第1壁部与所述基板的接触部的面积大于所述第2壁部与所述基板的接触部的面积，所述第1壁部成为在所述第1壁部与所述基板的接触部上能够相对于所述基板移动的状态，所述第2壁部在所述第2壁部与所述基板的接触部的至少一部分上接合于所述基板。5.如权利要求1～4中任一项所述的分光器，其特征在于，在自所述底座与所述底壁部相对的方向观察的情况下，所述第1壁部与所述第2壁部在与所述光检测部相对于所述分光部偏移的方向平行的方向上相互相对。6.如权利要求1～5中任一项所述的分光器，其特征在于，所述分光部设置于基板上而构成分光元件，在自所述底座与所述底壁部相对的方向观察的情况下，所述第1壁部与所述第2壁部在与所述光检测部相对于所述分光部偏移的方向垂直的方向上相互相对，所述侧壁部在所述侧壁部与所述基板的接触部的至少一部分上接合于所述基板。7.一种分光器，其特征在于，包括：封装体，其具有底座、及设置有光入射部的盖；及...

【专利技术属性】
技术研发人员：能野隆文，柴山胜己，加藤胜彦，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP