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分光器,分析设备和波长可变光源制造技术
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文档序号:21976302
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为了能够提供小型且低成本的分光器,一种分光器包括:光入射单元,被构造为允许来自外部的光入射;衍射光栅,被构造为根据波长分散通过光入射单元入射的光;以及反射单元,包括反射表面,用于反射由衍射光栅根据波长分散的光。反射表面的倾斜是可变的。...
该专利属于株式会社理光所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社理光授权不得商用。
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