【技术实现步骤摘要】
柔性声电基板及其制备方法、柔性声电装置
本专利技术涉及声电转换
，具体涉及一种柔性声电基板及其制备方法、柔性声电装置。
技术介绍
近年来，压电式换能器逐渐应用于显示装置，主要作为发声装置，还可以用于指纹识别和距离检测。压电式换能器是一种利用压电效应和逆压电效应进行声-电和电-声转换的器件，既可以将电能转换为声能，又可以将声能转化为电能。随着显示装置朝着柔性、超薄、窄边框甚至全屏设计等方向发展，对压电式换能器提出新的挑战。一方面，由于安装换能器的空间越来越小，使得较大体积的传统换能器安装位置受限。另一方面，由于传统换能器通常是硬质、不透明结构，很难与柔性显示装置集成，因而限制了换能器在可植入、可穿戴、非侵入等领域的潜在应用。为了实现压电式换能器与柔性显示装置集成，现有技术提出了一种压电薄膜发声装置。实际使用表明，压电薄膜固有频率远离可听声频段，存在工作效率低、驱动电压高、功耗高、低频特性差等缺陷。现有技术还提出了一种柔性压电换能器，采用牺牲层工艺制备腔室。实际使用表明，由于需要通过很小的刻蚀孔进行牺牲层刻蚀，容易造成刻蚀残留和不均匀的问题，因而良品率较低。此外...
【技术保护点】
1.一种柔性声电基板的制备方法，其特征在于，包括：形成柔性基底；在所述柔性基底上形成规则排布的多个压电组件；采用感应耦合等离子体刻蚀所述柔性基底，形成与所述多个压电组件一一对应的腔室。
【技术特征摘要】
1.一种柔性声电基板的制备方法，其特征在于，包括：形成柔性基底；在所述柔性基底上形成规则排布的多个压电组件；采用感应耦合等离子体刻蚀所述柔性基底，形成与所述多个压电组件一一对应的腔室。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，形成柔性基底，包括：在玻璃载板上形成第一柔性层；在所述第一柔性层上形成掩膜层，所述掩膜层用于在采用感应耦合等离子体刻蚀时作为形成腔室的硬掩膜；依次形成第二柔性层、阻挡层和第三柔性层，形成所述柔性基底。3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，采用感应耦合等离子体刻蚀所述柔性基底，形成与所述多个压电组件一一对应的腔室，包括：剥离玻璃载板；采用感应耦合等离子体刻蚀掉所述第一柔性层，以所述掩膜层作为硬掩膜蚀继续刻蚀未被所述掩膜层遮挡的第二柔性层，直到刻蚀到所述阻挡层，形成与所述多个压电组件一一对应的腔室。4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，形成柔性基底，包括：提供第一柔性薄膜、阻挡层和第二柔性薄膜；将第一柔性薄膜和第二柔性薄膜通过所述阻挡层相贴合，所述阻挡层设置在所述第一柔性薄膜与第二柔性薄膜之间，形成所述柔性基底。5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，采用感应耦合等离子体刻蚀所述柔性基底，形成与所述多个压电组件一一对应的腔室，包括：在所述第一柔性薄膜一侧设置掩膜板；采用感应耦合等离子体刻蚀未被所述掩膜板遮挡的第一柔性薄膜，直到刻蚀到所述阻挡层，形成与所述多个压电组件一一对应的腔室。6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，形成柔性基底，包括：在玻璃载板上通过涂覆固化成膜方式形成第一柔性薄膜；在所述第一柔性薄膜通过沉积方式形成阻挡层；在所述阻挡层上通过涂覆固化成膜方式形成第二柔性薄膜。7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，采用感应耦合等离子体刻蚀所述柔性基底，形成与所述多个压电组件一一对应的腔室，包括：剥离玻璃载板；在所述第一柔性薄膜一侧设置掩膜板；采用感应耦合等离子体刻蚀未被所述掩膜板遮挡的第一柔性薄膜，直到刻蚀到所述阻挡层，形成与所述多个压电组件一一对应的腔室。8.根据权利要求2～7任一所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩艳玲，董学，王海生，刘英明，赵利军，郭玉珍，李佩笑，姬雅倩，张晨阳，李秀锋，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11
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