钙钛矿太阳能电池及其制造方法技术

本发明专利技术实施例公开了一种钙钛矿太阳能电池器件及其制造方法。该钛矿太阳能电池器件包括依次层叠的衬底、阳极（ITO）、电子束蒸镀无机空穴传输层（NiOx）、无机钙钛矿光吸收层、电子束蒸镀无机电子传输层（Nb2O5）和电子束蒸镀阴极（Ag）。本发明专利技术的全无机钙钛矿太阳能电池器件及其制备方法获得了较高的能量转化效率，且空穴传输层氧化镍可以通过双源电子束共蒸达到不同元素不同浓度的掺杂进而改善其光学和电学特性，此全无机钙钛矿电池器件具备较低的加工成本和能够实现大面积加工，因而在太阳能电池领域具有良好的应用前景。

Perovskite Solar Cell and Its Manufacturing Method

【技术实现步骤摘要】
钙钛矿太阳能电池及其制造方法
本专利技术涉及电子材料
，尤其是涉及一种钙钛矿太阳能电池及其制造方法。
技术介绍
早在2006年日本桐荫横滨大学的Miyasaka教授课题组尝试将钙钛矿材料作为光吸收材料用于染料敏化太阳能电池中，他们于2009年首次报道了太阳能转化效率为3-4％的染料敏化钙钛矿太阳能电池(J.Am.Chem.Soc.,2009,131,6050)。接着韩国成均馆大学的Nam-GyuPark教授课题组通过优化前驱体溶液浓度和退火温度，使能量转化效率提升了近一倍(Nanoscale,2011,3,4088)，而钙钛矿太阳能电池真正得到关注是他们将钙钛矿材料用于类似有机薄膜太阳能电池的全固态结构中，并使得能量转换效率和稳定性得到了大大的提高(Sci.Rep.,2012,2,591)。由于钙钛矿太阳能电池具有原料及制造成本低等显著优势，并且随着相关领域研究力量的大量投入，钙钛矿太阳能电池的能量转换效率在近几年得到了迅速的提高。这类钙钛矿材料一般具有ABX3的基本化学式，其中A+一般为有机阳离子(最常见的是甲胺离子，CH3NH3+，MA+)，B2+为无机阳离子(一般为Pb2+)，X-为卤素阴离子(一般为I-、Cl-或Br-:MAPb(I，Br，Cl)3)。所使用的卤素元素种类的不同，钙钛矿材料的带隙可以在1.6至3.2电子伏特内连续调控。使用甲脒离子(CH(NH2)2+，FA+)替换MA+或使用Sn2+来替换Pb2+或采用混合型离子等方法可以进一步的调控钙钛矿材料的带隙，实现更宽范围的太阳光吸收。因钙钛矿太阳能电池最初是由染料敏化太阳能电池所演变而来的，因而介孔型结构较为常见。在这一结构当中，在致密的TiO2选择性电子传输层上还有一层由TiO2纳米颗粒组成的介孔层。这一介孔层一方面作为沉积钙钛矿薄膜的骨架，另一方面可以减少电子扩散的距离，进而提高电子采集效率。在最初的研究中使用的介孔厚度约为500-600纳米，钙钛矿光吸收材料完全渗透到介孔骨架当中。然而随着研究的深入，人们发现可以使用较薄的介孔层约为150-200纳米，同时在其上面形成一层连续致密的钙钛矿光吸收层可以得到更好的器件性能。由于电子和空穴在钙钛矿材料中的扩散长度都很长，因而当完全去除介孔层后使用平面型的结构也可以得到效率较高的钙钛矿太阳能电池，而且结构更简单的平面型钙钛矿太阳能电池相比于介孔型的钙钛矿太阳能电池在制备结构上具有明显的优势，因而平面型的钙钛矿太阳能电池最终更易实现商业化。目前有机-无机杂化钙钛矿太阳能电池中使用的有机基团使最终的器件热稳定性和湿度稳定性较差，因而使用无机阳离子取代有机阳离子甲氨(MA)或甲脒(FA)成为当下提高稳定性获得高效率的主要途径之一，利用阳离子铯(Cs)取代有机阳离子得到全无机钙钛矿器件，且全无机组分CsPbI2Br具有合适的能带(1.8电子伏特左右)，有利于与现有的硅基太阳能电池整合制备串联电池，可以进一步的获得高效的电池器件。当下常见的平面钙钛矿太阳能电池器件结构包括平面型(n-i-p)和平面反型(p-i-n)。平面型结构中使用的n型电子传输材料一般是金属氧化物半导体材料，p型空穴传输材料一般是有机空穴传输材料，而使用的有机空穴传输材料因其迁移率较低而往往需要掺杂其它的物质器件才能获得较高的能量转化效率，这限制了其进一步的商业应用。而平面反型结构中使用的n型电子传输材料一般是富勒烯及其衍生物，这类材料具有生产成本高、提纯不易等制约其大规模生产的缺点。因而开发低成本大面积稳定的全无机钙钛矿太阳能电池器件及其结构迫在眉睫。
技术实现思路
本专利技术的目的之一是提供一种钙钛矿太阳能电池及其制造方法。一个实施例中，提供了一种制造钙钛矿太阳能电池的方法，其特征在于，包括：获取衬底；依次用微米级半导体专用洗涤剂、去离子水、丙酮和异丙醇超声清洗所述衬底并烘干；在所述衬底上形成阳极层；在常温下使用具有双源的电子束蒸镀设备所述阳极层上同时蒸镀氧化镍和氧化镁形成氧化镁掺杂的无机氧化镍层作为空穴传输层，其中通过调节蒸镀速率使得所述无机氧化镍层中氧化镁的掺杂浓度为2.5％至9％，并且所述无机氧化镍层的厚度为20-50纳米；将形成了所述无机氧化镍层的所述衬底在空气中在300摄氏度下退火处理1小时；在无水无氧并且充满高纯氮气的环境下在退火处理后的所述空穴传输层上旋涂形成组分包括CsPbI2Br的混合型钙钛矿光活性层，其中所述混合型钙钛矿光活性层的厚度为300-400纳米；将形成了所述混合型钙钛矿光活性层的所述衬底在40摄氏度下加热4分钟，然后在160摄氏度下加热10分钟；在真空度小于5×10-4Pa的条件下在加热处理后的所述混合型钙钛矿光活性层上使用电子束蒸镀的方法蒸镀五氧化二铌层作为电子传输层，其中所述电子传输层的厚度为50-70纳米；在所述电子传输层上形成阴极层，其中所述阴极层的厚度不小于80纳米。一个实施例中，所述衬底为玻璃、石英、蓝宝石、金属、合金或不锈钢薄膜。一个实施例中，所述阳极层和所述阴极层为金属、金属氧化物、聚(3,4-亚乙二氧基噻吩)-聚(苯乙烯磺酸)或其改性产物。一个实施例中，所述金属为铝、银镁合金、银、金、钛或者铜；所述金属氧化物为氧化铟锡、掺氟二氧化锡、氧化锌和铟镓锌氧化物中的一种或两种以上的组合。一个实施例中，在所述阳极层上形成无机氧化镍层作为空穴传输层还包括：在所述无机氧化镍层上形成电子阻挡层和/或激子阻挡层，其中所述无机氧化镍层与所述电子阻挡层和/或激子阻挡层作为所述空穴传输层；和/或在加热处理后的所述混合型钙钛矿光活性层上蒸镀五氧化二铌层作为电子传输层还包括：在所述五氧化二铌层上形成空穴阻挡层和/或激子阻挡层，其中所述五氧化二铌层与所述空穴阻挡层和/或激子阻挡层作为所述电子传输层。一个实施例中，还包括：在所述阳极层与所述空穴传输层之间形成阳极缓冲层；和/或在所述阴极层与所述电子传输层之间形成阴极缓冲层。一个实施例中，提供了一种制造钙钛矿太阳能电池的方法，其特征在于，包括：获取衬底；依次用微米级半导体专用洗涤剂、去离子水、丙酮和异丙醇超声清洗所述衬底并烘干；在所述衬底上形成阳极层；在常温下用电子束蒸镀的方法在所述阳极层上蒸镀形成无机氧化镍层作为空穴传输层，其中所述无机氧化镍层的厚度为20-50纳米；在无水无氧并且充满高纯氮气的环境下在所述空穴传输层上旋涂形成组分包括CsPbI2Br的混合型钙钛矿光活性层，其中所述混合型钙钛矿光活性层的厚度为300-400纳米；将形成了所述混合型钙钛矿光活性层的所述衬底在40摄氏度下加热4分钟，然后在160摄氏度下加热10分钟；在真空度小于5×10-4Pa的条件下在加热处理后的所述混合型钙钛矿光活性层上使用电子束蒸镀的方法蒸镀五氧化二铌层作为电子传输层，其中所述电子传输层的厚度为50-70纳米；在所述电子传输层上形成阴极层，其中所述阴极层的厚度不小于80纳米。一个实施例中，在无水无氧并且充满高纯氮气的环境下在所述空穴传输层上旋涂形成组分包括CsPbI2Br的混合型钙钛矿光活性层之前还包括：将蒸镀形成了所述无机氧化镍层的衬底在空气中在200-300摄氏度下退火处理1小时。一个实施例中，提供了一种由前述方法制造的钙钛矿太阳能电池，其特征在于，包括：衬底；阳本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制造钙钛矿太阳能电池的方法，其特征在于，包括：获取衬底；依次用微米级半导体专用洗涤剂、去离子水、丙酮和异丙醇超声清洗所述衬底并烘干；在所述衬底上形成阳极层；在常温下使用具有双源的电子束蒸镀设备所述阳极层上同时蒸镀氧化镍和氧化镁形成氧化镁掺杂的无机氧化镍层作为空穴传输层，其中通过调节蒸镀速率使得所述无机氧化镍层中氧化镁的掺杂浓度为2.5%至9%，并且所述无机氧化镍层的厚度为20‑50纳米；将形成了所述无机氧化镍层的所述衬底在空气中在300摄氏度下退火处理1小时；在无水无氧并且充满高纯氮气的环境下在退火处理后的所述空穴传输层上旋涂形成组分包括CsPbI2Br的混合型钙钛矿光活性层，其中所述混合型钙钛矿光活性层的厚度为300‑400纳米；将形成了所述混合型钙钛矿光活性层的所述衬底在40摄氏度下加热4分钟，然后在160摄氏度下加热10分钟；在真空度小于5×10

【技术特征摘要】
1.一种制造钙钛矿太阳能电池的方法，其特征在于，包括：获取衬底；依次用微米级半导体专用洗涤剂、去离子水、丙酮和异丙醇超声清洗所述衬底并烘干；在所述衬底上形成阳极层；在常温下使用具有双源的电子束蒸镀设备所述阳极层上同时蒸镀氧化镍和氧化镁形成氧化镁掺杂的无机氧化镍层作为空穴传输层，其中通过调节蒸镀速率使得所述无机氧化镍层中氧化镁的掺杂浓度为2.5%至9%，并且所述无机氧化镍层的厚度为20-50纳米；将形成了所述无机氧化镍层的所述衬底在空气中在300摄氏度下退火处理1小时；在无水无氧并且充满高纯氮气的环境下在退火处理后的所述空穴传输层上旋涂形成组分包括CsPbI2Br的混合型钙钛矿光活性层，其中所述混合型钙钛矿光活性层的厚度为300-400纳米；将形成了所述混合型钙钛矿光活性层的所述衬底在40摄氏度下加热4分钟，然后在160摄氏度下加热10分钟；在真空度小于5×10-4Pa的条件下在加热处理后的所述混合型钙钛矿光活性层上使用电子束蒸镀的方法蒸镀五氧化二铌层作为电子传输层，其中所述电子传输层的厚度为50-70纳米；在所述电子传输层上形成阴极层，其中所述阴极层的厚度不小于80纳米。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述衬底为玻璃、石英、蓝宝石、金属、合金或不锈钢薄膜。3.如权利要求1至2中任意一项所述的方法，其特征在于：所述阳极层和所述阴极层为金属、金属氧化物、聚(3,4-亚乙二氧基噻吩)-聚(苯乙烯磺酸)或其改性产物。4.如权利要求3所述的方法，其特征在于：所述金属为铝、银镁合金、银、金、钛或者铜；所述金属氧化物为氧化铟锡、掺氟二氧化锡、氧化锌和铟镓锌氧化物中的一种或两种以上的组合。5.如权利要求1至4中任意一项所述的方法，其特征在于：在所述阳极层上形成无机氧化镍层作为空穴传输层还包括：在所述无机氧化镍层上形成电子阻挡层和/或激子阻挡层，其中所述无机氧化镍层与所述电子阻挡层和/或激子阻挡层作为所述空穴传输层；和/或在加热处理后的所述混合型钙钛矿光活性层上蒸镀五氧化二铌层作为电子传输层还包括：在所述五氧化二铌层上形成空穴阻挡层和/或激子阻挡层，其中所述五氧化二铌层与所述空穴阻挡层和/或激子阻挡层作为所述电子传输层。6.如权利要求1至5中任意一项所述的方法，其特征在于，还包括：在所述阳极层与所述空穴传输层之间形成阳极缓冲层；和/或...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘欣，李严波，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：四川,51