光学检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种光学检测装置，包括：照明系统、检测系统和控制系统；照明系统包括用于明场照明的第一光源、用于暗场照明的第二光源以及用作背光源的第三光源；控制系统包括光源控制子系统，光源控制子系统用于控制第一光源按照第一脉冲序列提供照明、第二光源按照第二脉冲序列提供照明以及第三光源按照第三脉冲序列提供照明；第一脉冲序列、第二脉冲序列和第三脉冲序列的脉冲信号依次重复设置且不交叠；控制系统还包括检测控制子系统，检测控制子系统用于控制检测系统按照第四脉冲序列获取检测信号；第四脉冲序列的各脉冲信号分别在第一脉冲序列、第二脉冲序列以及第三脉冲序列的脉冲信号持续的时间内。如此，可降低检测耗时，降低成本。

Optical detection device

【技术实现步骤摘要】
光学检测装置
本专利技术实施例涉及光学检测
，尤其涉及一种光学检测装置。
技术介绍
线扫描光学检测设备一般包含明场检测系统、暗场检测系统或背光检测系统，分别用于不同缺陷的检测。各检测系统所使用的光源不同，对待侧物进行检测时一般只能使用一种检测系统，以避免其他检测系统的成像干扰而导致的相关缺陷不能被有效检出。例如，有些缺陷在明场检测系统中可以显现，但若同时使用背光检测系统则本可以显现的缺陷就可能不显现。如果要检出待测物的各种表面缺陷，通常采用多次不同的检测系统分开进行检测，导致现有的线扫描光学检测设备在进行待测物表面缺陷检测时耗时较久，成本较高。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种光学检测装置，以减少对待测物的表面缺陷进行全面检测所耗用的时间，降低成本。本专利技术实施例提出一种光学检测装置，该光学检测装置包括：照明系统、检测系统和控制系统；所述照明系统和所述检测系统分别与所述控制系统电连接；所述照明系统包括第一光源、第二光源以及第三光源；所述第一光源用于明场照明，所述第二光源用于暗场照明，所述第三光源用作背光源；所述控制系统包括光源控制子系统，所述光源控制子系统用于控制所述第一光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学检测装置，其特征在于，包括：照明系统、检测系统和控制系统；所述照明系统和所述检测系统分别与所述控制系统电连接；所述照明系统包括第一光源、第二光源以及第三光源；所述第一光源用于明场照明，所述第二光源用于暗场照明，所述第三光源用作背光源；所述控制系统包括光源控制子系统，所述光源控制子系统用于控制所述第一光源按照第一脉冲序列提供照明、控制所述第二光源按照第二脉冲序列提供照明以及控制第三光源按照第三脉冲序列提供照明；所述第一脉冲序列包括多个第一脉冲信号，所述第二脉冲序列包括多个第二脉冲信号，所述第三脉冲序列包括多个第三脉冲信号，所述第一脉冲信号、所述第二脉冲信号、所述第三脉冲信号依次重复设...

【技术特征摘要】
1.一种光学检测装置，其特征在于，包括：照明系统、检测系统和控制系统；所述照明系统和所述检测系统分别与所述控制系统电连接；所述照明系统包括第一光源、第二光源以及第三光源；所述第一光源用于明场照明，所述第二光源用于暗场照明，所述第三光源用作背光源；所述控制系统包括光源控制子系统，所述光源控制子系统用于控制所述第一光源按照第一脉冲序列提供照明、控制所述第二光源按照第二脉冲序列提供照明以及控制第三光源按照第三脉冲序列提供照明；所述第一脉冲序列包括多个第一脉冲信号，所述第二脉冲序列包括多个第二脉冲信号，所述第三脉冲序列包括多个第三脉冲信号，所述第一脉冲信号、所述第二脉冲信号、所述第三脉冲信号依次重复设置且不交叠；所述控制系统还包括检测控制子系统，所述检测控制子系统用于控制所述检测系统按照第四脉冲序列获取检测信号；所述第四脉冲序列的各脉冲信号分别在所述第一脉冲序列、所述第二脉冲序列以及所述第三脉冲序列的脉冲信号持续的时间内；所述检测系统包括信号获取子系统，所述信号获取子系统用于按照所述第四脉冲序列依次获取与所述第一脉冲序列、所述第二脉冲序列以及所述第三脉冲序列分别对应的所述检测信号。2.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，所述信号获取子系统包括线性扫描相机。3.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，所述检测系统还包括分光子系统，所述分光子系统用于将所述第一光源发出的光线分束出与所述信号获取子系统的光轴平行的同轴光线；所述同轴光线用于按照所述第一脉冲序列提供明场照明。4.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，所述第二光源为沿所述信号获取子系统的光轴对称分布的光源。5.根据权利要求4所述的光学检测装置，其特征在于，所述第二光源为环形光源。...

【专利技术属性】
技术研发人员：李俊，
申请(专利权)人：苏州精濑光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32