下载光学检测装置的技术资料

文档序号:21830108

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本发明公开了一种光学检测装置,包括:照明系统、检测系统和控制系统;照明系统包括用于明场照明的第一光源、用于暗场照明的第二光源以及用作背光源的第三光源;控制系统包括光源控制子系统,光源控制子系统用于控制第一光源按照第一脉冲序列提供照明、第二光...
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