一种用于安装拆卸拾取放置头的工具及拆卸安装方法技术

本发明专利技术公开了一种用于安装拆卸拾取放置头的工具及安装拆卸方法，涉及半导体加工设备的辅助工具技术领域，本发明专利技术的工具包括安装座、直线导轨、托盘和定位卡件，所述直线导轨安装在安装座下端一侧，所述托盘与直线导轨配合，安装在安装座上，所述定位卡件安装在托盘上方，且平行于托盘设置。本申请的工具用于辅助操作人员对拾取放置头中吸盘及测试头的更换，本申请的工具可以实现测试头的自动对准，在进行更换时不需要停机，提高更换效率，且在本申请的工具的辅助作用下，操作人员不会触碰到吸盘，避免出现操作人员污染吸嘴的问题。

A Tool for Installing, Disassembling, Picking and Placing Head and Its Disassembly and Installation Method

【技术实现步骤摘要】
一种用于安装拆卸拾取放置头的工具及拆卸安装方法
本专利技术涉及半导体加工设备的辅助工具
，更具体地说涉及一种用于安装拆卸拾取放置头的工具及拆卸安装方法。
技术介绍
拾取放置设备是在半导体工业加工过程中的常用设备，其工作原理是采用真空吸附的方式拾取元件，然后放置到指定的位置，在半导体工业中对拾取放置设备的要求更加严格。在半导体工业中，在加工过程中要求保持元件的清洁，而采用拾取放置设备对元件进行转移，可以有效地保证元件的清洁，也能快速地将元件进行搬运和转移，提高加工效率。在半导体工业中，对于拾取放置设备的要求，需要使用到不同型号的拾取放置头以适应不同产品的生产要求。对拾取放置头的吸盘进行更换的现有方式，是采用人工手动操作。为确保操作人员的安全，需要对拾取放置设备进行断电处理，然后将拾取放置设备进行锁定，操作人员手动将拾取放置头测试头及吸盘拆卸下来，再更换其他型号的测试头和吸盘，这种方式存在以下问题：首先，操作人员纯手工操作进行测试头和吸盘的更换，需要进行断电处理，更换时间较长，不利于生产；其次，对于测试头安装的对准率较差，易造成安装错误，导致设备停机时间较长；另外手工进行更换时，易本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于安装拆卸拾取放置头的工具，其特征在于：包括安装座(1)、直线导轨(2)、托盘(3)和定位卡件(4)；所述安装座(1)的上端与拾取放置头的安装架(9)相适配；所述安装座(1)与拾取放置头的轴向平行，所述直线导轨(2)安装在安装座(1)下端一侧，所述托盘(3)与直线导轨(2)配合，所述定位卡件(4)安装在托盘(3)上方，且平行于托盘(3)设置，定位卡件(4)与托盘(3)可以一起在直线导轨(2)上滑动；所述托盘(3)上设置有定位孔(11)，托盘(3)中心位置设置有吸嘴放置槽(5)。

【技术特征摘要】
1.一种用于安装拆卸拾取放置头的工具，其特征在于：包括安装座(1)、直线导轨(2)、托盘(3)和定位卡件(4)；所述安装座(1)的上端与拾取放置头的安装架(9)相适配；所述安装座(1)与拾取放置头的轴向平行，所述直线导轨(2)安装在安装座(1)下端一侧，所述托盘(3)与直线导轨(2)配合，所述定位卡件(4)安装在托盘(3)上方，且平行于托盘(3)设置，定位卡件(4)与托盘(3)可以一起在直线导轨(2)上滑动；所述托盘(3)上设置有定位孔(11)，托盘(3)中心位置设置有吸嘴放置槽(5)。2.如权利要求1所述的一种用于安装拆卸拾取放置头的工具，其特征在于：定位卡件(4)上设置有卡口(12)。3.如权利要求1所述的一种用于安装拆卸拾取放置头的工具，其特征在于：所述直线导轨(2)上设置有滑动连接块(10)，所述滑动连接块(10)在直线导轨(2)上滑动，所述托盘(3)和定位卡件(4)均固定安装在滑动连接块(10)上。4.如权利要求1所述的一种用于安装拆卸拾取放置头的工具，其特征在于：所述安装座(1)上端设置有磁力座(15)，所述磁力座(15)用于安装座(1)与拾取放置头安装架(9)之间的固定连接。5.如权利要求4所述的一种用于安装拆卸拾取放置头的工具，其特征在于：所述磁力座(15)上设置有磁力控制开关(16)，所述磁力控制开关(16)用于控制磁力座(15)的磁力开闭。6.如权利要求1所述的一种用于安装拆卸拾取放置头的工具，其特征在于：所述工具还包括有导杆(13)和导杆安装件(14)，所述导杆安装件(14)固定安装在安装座(1)上，且位于托盘(3)上方与托盘(3)平行...

【专利技术属性】
技术研发人员：张敏，
申请(专利权)人：英特尔产品成都有限公司，英特尔公司，
类型：发明
国别省市：四川,51