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本发明公开了一种用于安装拆卸拾取放置头的工具及安装拆卸方法，涉及半导体加工设备的辅助工具技术领域，本发明的工具包括安装座、直线导轨、托盘和定位卡件，所述直线导轨安装在安装座下端一侧，所述托盘与直线导轨配合，安装在安装座上，所述定位卡件安装在...
该专利属于英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司所有，仅供学习研究参考，未经过英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司授权不得商用。

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