晶片分拣设备制造技术

本发明专利技术涉及一种晶片分拣设备(100)，其包括晶片传输装置(10)，所述晶片传输装置(10)包括：主传输路径(1)，其包括至少一个分支(2)；至少一个分支传输路径(3，4)，其从所述至少一个分支(2)延伸；和控制装置(8)，用于控制晶片的传输，其特征在于，所述至少一个分支(2)包括减速输送器(12)，减速输送器(12)形成所述主传输路径(1)的一部分并且与所述控制装置(8)通信，其中所述控制装置(8)构造成通过降低所述减速输送器(12)的速度而选择性地使接近所述分支(2)的晶片减速。

Wafer sorting equipment

【技术实现步骤摘要】
晶片分拣设备
本专利技术涉及晶片分拣设备，其包括晶片传输装置，晶片传输装置包括：主传输路径，包括至少一个分支；至少一个分支传输路径，其从所述至少一个分支延伸；和控制装置，用于控制晶片的传输。此外，本专利技术还涉及通过晶片分拣设备进行晶片分拣的方法。
技术介绍
DE102005046216A1公开了晶片分拣方法。晶片通过传输带被传输。晶片从主传输带通过提升横向传输带被移除。US4483651A不涉及晶片分拣，但是公开了用于片状材料(例如高纯度硅半导体晶片)的连续处理的自动装置。该装置包括主传输输送器，其用于将晶片从片匣输送到气体等离子反应腔。晶片通过分支传输输送器被从主传输输送器传输到气体等离子反应腔。主传输输送器传输的晶片当到达一对滚轮的位置时，被止挡器停留在那里并且同时被该对滚轮升高，以放置在分支线输送器上。由于晶片需要停留，所以不能维持连续材料流，从而影响系统的通过量。在现有技术中出现的问题实际上包括在通过量大的情况下，当从主传输输送器被传输到分支传输输送器时大量晶片受损，特别是对于薄晶片(例如厚度100μm或更薄的晶片)尤其如此。为了增加通过量，晶片的传输速度增大。但是，这对晶片产生不利影响，例如在US4483651A中，晶片撞在止挡器上。另一方面，DE102005046216A1公开了仅一个分支。还没有解决如下问题：通过多个分支以高传输速度和高通过量输送晶片，而不损坏晶片。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服上述问题并且提供晶片分拣设备，其允许以高速或高通过量分别进行分拣操作。同时，应当防止晶片损坏。分拣过程可以变得更可靠并且适应于前序处理，例如晶片监测、晶片清洁等。具体地，在分拣设备之前或中不会发生晶片阻塞。相反，晶片分拣设备可以与前序处理“准时地”操作。通过在开头提到的晶片分拣设备实现上述目的，其中至少一个分支包括减速输送器，该减速输送器形成主传输路径的一部分并且与控制装置通信，其中控制装置构造成通过降低减速输送器的速度而选择性地使接近所述分支的晶片减速。只有当接近晶片被选定为在该分支处离开主传输路径(到分支传输路径)时，才降低减速输送器的传输速度。在晶片被选定为经过分支时，即不离开主传输路径，该分支的减速输送器的速度优选为不减速。以此方式，晶片的通过量可以增大。当使用术语输送器的速度时，其应当理解为该输送器的传输速度。术语“选择性地”表示(仅)选择的接近某一分支的晶片被减速的事实。不打算在相应分支离开主传输路径的晶片不需要被减速，而是以恒定速度或加速行进，例如朝向后续分支行进。晶片的选择例如通过晶片监测装置来实现，晶片监测装置通过质量特性来对晶片分类。但是，还可以独立于质量特性来实现选择。例如，每第二个、第三个、第四个等晶片可以被在某一分支处被从主传输路径移除。至少一个分支传输路径从分支延伸。优选地，两个分支传输路径从分支沿相反方向延伸。晶片分类设备可以包括沿主传输路径相继布置的至少两个减速输送器，优选为多个减速输送器。在本实施例中，至少两个、优选为多个分支设置在主传输路径中，其中(至少两个分支中的)每一个与减速输送器相关联。控制装置构造成单独控制与不同分支相关联的这些减速输送器。也就是说，不同减速输送器的实际速度能够独立于其他减速输送器的速度被控制。减速输送器各自具有自身的驱动器，并能够(由控制装置)独立地被控制。优选地，至少一个分支包括分支输送器，分支输送器形成分支传输路径的一部分，其中所述分支输送器的传输方向与减速输送器的传输方向相交，优选垂直于减速输送器的传输方向。在分支传输路径的端部，可以设置用于接收分类的晶片的收集装置，例如容器。优选地，主传输路径包括沿主传输路径相继布置的至少两个分支，其中至少两个分支中的每一个包括减速输送器，减速输送器形成主传输路径的一部分并且与控制装置通信，其中控制装置构造成控制、优选为单独控制至少两个分支的减速输送器，以使得减速输送器能够以不同的速度、减速度和/或加速度被驱动，其中优选地，一个分支的减速输送器能够以与另一分支的减速输送器以不同的速度、减速度和/或加速度被驱动。这里，不同分支的减速输送器可以彼此独立地操作。至少两个分支中的每个分支具有单独的减速输送器。同时，减速输送器可以具有不同的速度和/或减速度和/或加速度。以此方式，减速输送器的速度可以减速，以使选定为在分支离开主传输路径的晶片减速。减速输送器的速度可以独立于与其他分支相关联的其他减速输送器的速度被调节。优选地，减速输送器和/或分支输送器至少在分支的区域中延伸，优选地延伸穿过分支。以此方式，可以在紧邻分支处影响晶片的速度。在优选实施例中，控制装置与分支输送器通信，并且构造成通过增大分支输送器的传输速度，优选为从零速度开始增大，而使分支输送器上的晶片加速，优选为连续地加速。在优选实施例中，至少一个另一输送器布置在分支输送器的下游(即，离开主传输路径的晶片从分支输送器被传输到另一输送器)。优选地，控制装置与分支输送器通信并且与至少一个另一输送器通信。控制装置可以构造成单独控制分支输送器的速度和至少一个另一输送器的速度，即它们的传输速度可以彼此独立地被控制。优选地，减速输送器包括至少两个部分，其中第一部分在分支输送器的上游延伸。该部分对接近晶片的减速贡献最大。优选地，减速输送器的另一部分在分支输送器的下游延伸。该部分对下一减速阶段的减速作出贡献，但是确保晶片的有限移动，特别是防止晶片改变其方位。优选地，减速输送器的另一部分在分支输送器的输送带之间延伸。该部分在中间减速阶段接收晶片，并且确保晶片在分支中心的可靠有限减速或停止。优选地，减速输送器包括至少一个输送带，该传输带位于第一部分和另一部分之间并且在分支输送器的传输平面下方被引导至少一次。以此方式，减速输送器可以由至少一个、优选为至少两个连续带形成。这确保第一部分和至少一个另一部分以相同速度操作。优选地，晶片传输装置包括至少一个加速输送器，该加速输送器形成主传输路径的一部分，其中加速输送器布置在减速输送器的上游并且与控制装置通信，其中控制装置构造成通过增加加速输送器的速度来使晶片加速，其中优选地，加速输送器与减速输送器一体形成。加速输送器临时加速晶片，以(至少部分地)(在上游区域)获得时间收益，该时间收益后续由减速输送器的减速过程(在下游区域)消耗。加速阶段还增加晶片的通过量。优选地，晶片传输装置包括移位装置，减速输送器的传输平面和分支输送器的传输平面能够通过移位装置而相对于彼此沿竖直方向移位，和/或减速输送器的传输平面和加速输送器的传输平面能够通过移位装置而相对于彼此沿竖直方向移位。通过移位装置，晶片可以被容易地传输到其他输送器(例如分支输送器)。在移位状态下，晶片的边缘可以与后续晶片的边缘重叠。传输平面是被传输的晶片所在的平面。优选地，移位装置与控制装置通信，其中控制装置构造成控制移位装置，以使得在接近分支的晶片的传输速度被减速到低于阈值或者达到零之后，传输平面相对于彼此移位。这样的处理保证晶片和输送器之间没有(或仅有微小的)摩擦。优选地，减速输送器的传输平面能够相对于分支输送器的传输平面被降低，和/或其中，减速输送器的传输平面能够相对于加速输送器的传输平面被降低。当降低减速输送器时，晶片变得可以由分支输送器接收。当晶片放在分支输送器上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶片分拣设备(100)，其包括晶片传输装置(10)，所述晶片传输装置(10)包括：‑主传输路径(1)，其包括至少一个分支(2)；‑至少一个分支传输路径(3，4)，其从所述至少一个分支(2)延伸；和‑控制装置(8)，其用于控制晶片(9)的传输，其特征在于，所述至少一个分支(2)包括减速输送器(12)，所述减速输送器(12)形成所述主传输路径(1)的一部分并且与所述控制装置(8)通信，其中所述控制装置(8)构造成通过降低所述减速输送器(12)的速度而选择性地使接近所述分支(2)的晶片(9)减速。

【技术特征摘要】
2018.01.22 EP 18152791.21.一种晶片分拣设备(100)，其包括晶片传输装置(10)，所述晶片传输装置(10)包括：-主传输路径(1)，其包括至少一个分支(2)；-至少一个分支传输路径(3，4)，其从所述至少一个分支(2)延伸；和-控制装置(8)，其用于控制晶片(9)的传输，其特征在于，所述至少一个分支(2)包括减速输送器(12)，所述减速输送器(12)形成所述主传输路径(1)的一部分并且与所述控制装置(8)通信，其中所述控制装置(8)构造成通过降低所述减速输送器(12)的速度而选择性地使接近所述分支(2)的晶片(9)减速。2.根据权利要求1所述的晶片分拣设备，其中，所述减速输送器(12)包括至少一个循环带，优选为至少两个平行延伸的循环带。3.根据权利要求1或2所述的晶片分拣设备，其中，所述至少一个分支(2)包括分支输送器(13)，所述分支输送器(13)形成所述分支传输路径(3，4)的一部分，其中所述分支输送器(13)的传输方向与所述减速输送器(12)的传输方向相交，优选垂直于所述减速输送器(12)的传输方向，其中优选地，所述分支输送器(13)包括至少一个循环带，优选为至少两个平行延伸的循环带。4.根据权利要求1至3中任一项所述的晶片分拣设备，其中，所述主传输路径(1)包括沿所述主传输路径(1)相继布置的至少两个分支(2)，其中所述至少两个分支(2)中的每一个包括所述减速输送器(12)，所述减速输送器(12)形成所述主传输路径(1)的一部分并且与所述控制装置(8)通信，其中所述控制装置(8)构造成控制、优选为单独控制所述至少两个分支(2)的所述减速输送器(12)，以使得所述减速输送器(12)能够以不同的速度、减速度和/或加速度被驱动，其中优选地，一个分支(2)的所述减速输送器(12)能够以与另一分支(2)的所述减速输送器(12)不同的速度、减速度和/或加速度被驱动。5.根据权利要求1至4中任一项所述的晶片分拣设备，其中，所述减速输送器(12)和/或所述分支输送器(13)至少在所述分支(2)的区域中延伸，优选地延伸穿过所述分支(2)。6.根据权利要求1至5中任一项所述的晶片分拣设备，其中，所述减速输送器(12)包括至少两个部分(5，6，7)，其中第一部分(5)在所述分支输送器(13)的上游延伸，其中优选地，所述减速输送器(12)的另一部分(7)在所述分支输送器(13)的下游延伸，和/或其中优选地，所述减速输送器(12)的另一部分(6)在所述分支输送器(13)的输送带之间延伸。7.根据权利要求6所述的晶片分拣设备，其中，所述减速输送器(12)包括至少一个输送带，所述输送带位于所述第一部分(5)和所述另一部分(6，7)之间并且在所述分支输送器(13)的传输平面下方被引导至少一次。8.根据权利要求1至7中任一项所述的晶片分拣设备，其中，所述晶片传输装置包括至少一个加速输送器(14)，所述加速输送器(14)形成所述主传输路径(1)的一部分，其中所述加速输送器(14)布置在所述减速输送器(12)的上游并且与所述控制装置(8)通信，其中所述控制装置(8)构造成通过增加所述加速输送器(14)的速度来使晶片加速，和/或其中所述加速输送器(14)与所述减速输送器(12)一体形成。9.根据权利要求8所述的晶片分拣设备，其中，所述加速输送器(14)包括至少一个循环带，优选地至少两个平行延伸的循环带。10.根据权利要求1至9中任一项所述的晶片分拣设备，其中，所述晶片传输装置(10)包括移位装置(16)，所述减速输送器(12)的传输平面和所述分支输送器(13)的传输平面能够通过所述移位装置(16)而相对于彼此沿竖直方向移位，和/或所述减速输送器(12)的传输平面和所述加速输送器(14)的传输平面能够通过所述移位装置(16)而相对于彼此沿竖直方向移位，其中优选地，所述移位装置(16)与所述控制装置(8)通信，其中所述控制装置(8)构造成控制所述移位装置(16)，以使得在接近所述分支(2)的晶片的传输速度被减速到低于阈值或者达到零之后，优选为仅在接近所述分支(2)的晶片的传输速度被减速到低于阈值或者达到零之后，传输平面相对于彼此移位。11.根据权利要求1至10中任一项所述的晶片分拣设备，其中，所述减速输送器(12)的传输平面能够相对于所述分支输送器(13)的传输平面被降低，和/或其中，所述减速输送器(12)的传输平面能够相对于所述加速输送器(14)的传输平面被降低。12.根据权利要求1至11中任一项...

【专利技术属性】
技术研发人员：海因茨·斯塔肯斯，彼得·亨尼克，
申请(专利权)人：亨内克系统有限责任公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE