基于石墨板的测温系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种基于石墨板的测温系统；包括石墨板本体、紧固件和测温探头；所述石墨板本体上开设有固定孔，所述紧固件部分伸入所述固定孔内将所述测温探头夹持在所述石墨板本体和所述紧固件之间，所述测温探头与所述石墨板本体的表面贴合，和/或所述测温探头与所述石墨板本体的内部贴合；本实用新型专利技术系统通过在石墨板多个测温点开设固定孔，实现了石墨板内部或表面的多个位置的温度测量；紧固件采用机械结构固定牢固，不会因测温点温度过高而脱落；本系统结构简单，能够多次使用从而减少了标准件的消耗节省了成本，应用方便。

Temperature Measurement System Based on Graphite Plate

【技术实现步骤摘要】
基于石墨板的测温系统
本技术涉及测温元件的固定，具体涉及一种基于石墨板的测温系统。
技术介绍
在MOCVD设备的运行过程中，需要用到石墨板来承载晶片，并在加热真空腔室内进行气相外延生长，石墨板在高温密闭真空腔室内进行工作，通常密闭腔室内的温度可达到700℃以上，目前已有的测温方法是在石墨板表面粘贴或焊接的方式固定测温元件；首先，在腔室高温的情况下测温度元件由于受温度的影响容易脱落；其次，目前已有的测量方法只能测量石墨板表面的温度，因而无法准确全面的获得石墨板的温度信息。为了准确测量反应温度需要精确地检测出石墨板的温度，以保证高温真空腔室内石墨板上的晶体在特定的温度中生长，提供稳定的MOCVD设备制造设备，因此亟需一种精确检测石墨板温度的装置。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题为了解决高温密闭腔室内石墨板温度测量时测温点单一，测温元件易脱落，且仅能测量石墨板表面温度的问题，本技术提供一种基于石墨板的测温系统。(二)技术方案为了达到上述目的，本技术采用的主要技术方案包括：石墨板本体、紧固件和测温探头；所述石墨板本体上开设有固定孔，所述紧固件部分伸入所述固定孔内将所述测温探头夹持在所述石墨板本体和所述紧固件之间，所述测温探头与所述石墨板本体的表面贴合，和/或所述测温探头与所述石墨板本体的内部贴合。可选地，所述固定孔设置有至少两个，各所述固定孔内壁均设置有螺纹，相应的所述紧固件和所述测量探头的数量均与所述固定孔的数量相同；其中，至少一个所述固定孔为盲孔，用于测量所述石墨板本体的内部温度，至少一个所述固定孔为通孔，用于测量所述石墨板本体的表面温度。可选地，所述测温探头为热电偶接头。可选地，每一所述紧固件均包括石墨螺柱和石墨螺母；测量内部温度的所述热电偶接头放置在所述盲孔底部，所述石墨螺柱与盲孔的螺纹连接将测量内部温度的所述热电偶接头压紧在所述石墨螺柱与盲孔之间，石墨螺母与石墨螺柱延伸出盲孔外的部位螺纹连接；与所述通孔配合的所述石墨螺柱与所述通孔螺纹连接，所述石墨螺母与所述石墨螺柱延伸出通孔外的部位螺纹连接，测量表面温度的所述热电偶接头放置在所述石墨螺母与所述石墨板本体之间。可选地，所述石墨板本体表面设置有与所述盲孔连通的边槽，用于将所述热电偶接头连接的导线从所述盲孔引出。可选地，与所述通孔配合的紧固件还包括设置在所述石墨螺母与所述热电偶接头之间的石墨垫片，测量表面温度的所述热电偶接头放置在所述石墨垫片与所述石墨板本体之间。可选地，还包括测温仪，所述测温仪放置在高温密闭腔室外，各所述测温探头分别通过导线与所述测温仪连接。可选地，与所述石墨板本体的表面贴合的测温探头及与所述石墨板本体的内部贴合的测温探头均设置多个。(三)有益效果本技术的有益效果是：首先，本技术系统通过在石墨板多个测温点开设固定孔，实现了石墨板内部或表面的多个位置的温度测量；其次，紧固件采用机械结构固定牢固，不会因测温点温度过高而脱落；最后，本系统结构简单，能够多次使用从而减少了标准件的消耗节省了成本，应用方便。附图说明图1为本技术一实施例提供的一种基于石墨板的测温系统整体结构示意图；图2为本技术一实施例提供的盲孔固定热电偶接头的结构示意图；图3为本技术一实施例提供的通孔固定热电偶接头的结构示意图。【附图标记说明】1：石墨板本体；2：盲孔；3：通孔；41：石墨螺柱；42：石墨螺母；5：石墨垫片；6：热电偶接头；7：边槽。具体实施方式为了更好的解释本技术，以便于理解，下面结合附图，通过具体实施方式，对本技术作详细描述。如图1所示，本实施例提供了一种基于石墨板的测温系统：包括：石墨板本体1、紧固件和测温探头；具体的，石墨板本体1用于在高温密闭真空腔室内承载晶体气相外延生长；石墨板本体1上开设有固定孔，紧固件部分伸入固定孔内将测温探头夹持在石墨板本体1和紧固件之间，测温探头与石墨板本体1的表面贴合，和/或测温探头与石墨板本体1的内部贴合。具体地，与石墨板本体1的表面贴合的测温探头及与石墨板本体1的内部贴合的测温探头均设置多个，以实现多位置温度测量；举例来说，固定孔设置有至少两个，各固定孔内壁均设置有螺纹，相应的紧固件和测量探头的数量均与固定孔的数量相同，测温探头可为热电偶接头6，在测量过程中各热电偶接头6均与测温仪连接，测温仪放置在高温密闭腔室的外部。其中，至少一个固定孔为盲孔2，用于测量石墨板本体1的内部温度，至少一个固定孔为通孔3，用于测量石墨板本体1的表面温度；进一步地，与盲孔2配合使用的紧固件和与通孔配合使用的紧固件均包括石墨螺柱41和石墨螺母42，其中石墨螺柱41的长度大于固定孔深，以保证石墨螺柱与固定孔配合使用时，在孔外部留有用于与石墨螺母连接的部分；如图2所示，使用盲孔2测量石墨板本体1内部温度时，将热电偶接头6放置在盲孔2的底部，石墨螺柱41与盲孔2螺纹连接将测量内部温度的热电偶接头压紧在石墨螺柱41与盲孔2之间，石墨螺母42与石墨螺柱41延伸出盲孔2外的部位螺纹连接，以使热电偶接头6受到的紧固力更大，不易脱落。具体地，为了将测量内部温度的热电偶接头6的导线引出可在石墨板本体1的表面位于盲孔2的边上开设与盲孔2连通的边槽7。如图3所示，使用通孔3测量石墨板本体1表面温度时，与通孔3配合的石墨螺柱41与通孔3螺纹连接，石墨螺母42与石墨螺柱41延伸出通孔3外的部位螺纹连接，将热电偶接头6放置在石墨螺母42与石墨板本体1之间，以使石墨螺母42将热电偶接头6压住；举例来说，为了使热电偶接头6受到的紧固力均衡，可在热电偶接头6和石墨螺母42之间增设石墨垫片5，将测量表面温度的热电偶接头6放置在石墨垫片5与石墨板本体1之间，在固定过程中热电偶接头不会被石墨螺母摩擦而损坏。参照上述使用通孔3测量表面温度的固定方法，在具体实施过程中也可以使用盲孔2测量石墨板本体1的表面温度，由于在加工螺纹孔的工艺过程中加工通孔更加方便，因此在测量石墨板本体1表面温度时优选的将固定孔加工成通孔；特殊说明，上述过程中至少两个固定孔仅用于举例说明，本技术并不对固定孔的数量进行限定，在实际测量过程中可根据测温的需求在石墨板本体1上开设适宜数量的固定孔；综上，本技术测温系统通过在石墨板本体多个测温点开设固定孔，实现了石墨板本体内部或表面的多个位置的温度测量；紧固件采用机械结构固定牢固，不会因测温点温度过高而脱落；本系统结构简单，能够多次使用从而减少了标准件的消耗节省了成本，应用方便。最后应说明的是：以上的各实施例仅用于说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或全部技术特征进行等同替换；而这些修改或替换，并不使相应技术方案的本质脱落本技术各实施例技术方案的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于石墨板的测温系统，其特征在于，包括：石墨板本体(1)、紧固件和测温探头；所述石墨板本体(1)上开设有固定孔，所述紧固件部分伸入所述固定孔内将所述测温探头夹持在所述石墨板本体(1)和所述紧固件之间，所述测温探头与所述石墨板本体(1)的表面贴合，和/或所述测温探头与所述石墨板本体(1)的内部贴合。

【技术特征摘要】
1.一种基于石墨板的测温系统，其特征在于，包括：石墨板本体(1)、紧固件和测温探头；所述石墨板本体(1)上开设有固定孔，所述紧固件部分伸入所述固定孔内将所述测温探头夹持在所述石墨板本体(1)和所述紧固件之间，所述测温探头与所述石墨板本体(1)的表面贴合，和/或所述测温探头与所述石墨板本体(1)的内部贴合。2.如权利要求1所述的基于石墨板的测温系统，其特征在于，所述固定孔设置有至少两个，各所述固定孔内壁均设置有螺纹，相应的所述紧固件和所述测温探头的数量均与所述固定孔的数量相同；其中，至少一个所述固定孔为盲孔(2)，用于测量所述石墨板本体(1)的内部温度，至少一个所述固定孔为通孔(3)，用于测量所述石墨板本体(1)的表面温度。3.如权利要求2所述的基于石墨板的测温系统，其特征在于，所述测温探头为热电偶接头(6)。4.如权利要求3所述的基于石墨板的测温系统，其特征在于，每一所述紧固件均包括石墨螺柱(41)和石墨螺母(42)；测量内部温度的所述热电偶接头(6)放置在所述盲孔(2)底部，所述石墨螺柱(41)与盲孔(2)的螺纹连接将测量内部温度的所述热电偶接头(6)压紧在所述石墨螺柱(41)与盲孔(2)之间，石墨螺母(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜鹏，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11