换向阀及涂敷装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的是提供一种能够抑制由气泡造成的不良状况的发生的换向阀及涂敷装置。有关实施方式的换向阀具备：壳体，具有阀室、和分别连接在上述阀室上的第1端口、第2端口及第3端口；以及阀芯，可旋转地设置在上述阀室中，在外壁上具有凹部。

Directional Valve and Coating Device

【技术实现步骤摘要】
换向阀及涂敷装置
本专利技术涉及换向阀及涂敷装置。
技术介绍
有从喷嘴喷出流动体、向基板等工件的表面涂敷流动体的涂敷装置。此外，在喷嘴与容纳着流动体的罐之间设置有换向阀。在将流动体向喷嘴供给时，由换向阀将喷嘴与罐连接。在将流动体的供给停止时，由换向阀将流路切换，从而将喷嘴与回收罐等连接。但是，当用换向阀切换了流路时，有在处于配管的内部或换向阀的内部中的流动体中发生气泡的情况。如果在流动体中发生气泡，则包含气泡的流动体被供给到工件的表面，有可能发生涂敷不匀，或在涂敷膜的内部中发生气孔。所以，希望进行能够抑制由气泡带来的不良状况的发生的技术的开发。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014－63807号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术要解决的课题是提供一种能够抑制由气泡造成的不良状况的发生的换向阀及涂敷装置。用来解决课题的手段有关技术方案的换向阀具备：壳体，具有阀室、和分别连接在上述阀室上的第1端口、第2端口及第3端口；以及阀芯，可旋转地设置在上述阀室中，在外壁上具有凹部。附图说明图1是用来例示有关本实施方式的换向阀及涂敷装置的示意图。图2(a)～图2(c)是用来例示本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种换向阀，其特征在于，具备：壳体，具有阀室、和分别连接在上述阀室上的第1端口、第2端口及第3端口；以及阀芯，可旋转地设置在上述阀室中，在外壁上具有凹部。

【技术特征摘要】
2018.01.16 JP 2018-0046741.一种换向阀，其特征在于，具备：壳体，具有阀室、和分别连接在上述阀室上的第1端口、第2端口及第3端口；以及阀芯，可旋转地设置在上述阀室中，在外壁上具有凹部。2.如权利要求1所述的换向阀，其特征在于，上述凹部当与上述第1端口连接时，与上述第2端口或上述第3端口连接。3.如权利要求1或2所述的换向阀，其特征在于，与上述阀芯的中心轴平行的方向上的上述第3端口的位置与上述第2端口的位置不同。4.一种换向阀，其特征在于，具备：壳体，具有阀室、和分别连接在上述阀室上的第1端口、第2端口及第3端口；以及阀芯，可旋转地设置在上述阀室中；与上述阀芯的中心轴平行的方向上的上述第3端口的位置与上述第2...

【专利技术属性】
技术研发人员：石原治彦，大城健一，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：日本,JP