换向阀及涂敷装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的是提供一种能够抑制由气泡造成的不良状况的发生的换向阀及涂敷装置。有关实施方式的换向阀具备：壳体，具有阀室、和分别连接在上述阀室上的第1端口、第2端口及第3端口；以及阀芯，可旋转地设置在上述阀室中，在外壁上具有凹部。

Directional Valve and Coating Device

【技术实现步骤摘要】
换向阀及涂敷装置
本专利技术涉及换向阀及涂敷装置。
技术介绍
有从喷嘴喷出流动体、向基板等工件的表面涂敷流动体的涂敷装置。此外，在喷嘴与容纳着流动体的罐之间设置有换向阀。在将流动体向喷嘴供给时，由换向阀将喷嘴与罐连接。在将流动体的供给停止时，由换向阀将流路切换，从而将喷嘴与回收罐等连接。但是，当用换向阀切换了流路时，有在处于配管的内部或换向阀的内部中的流动体中发生气泡的情况。如果在流动体中发生气泡，则包含气泡的流动体被供给到工件的表面，有可能发生涂敷不匀，或在涂敷膜的内部中发生气孔。所以，希望进行能够抑制由气泡带来的不良状况的发生的技术的开发。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014－63807号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术要解决的课题是提供一种能够抑制由气泡造成的不良状况的发生的换向阀及涂敷装置。用来解决课题的手段有关技术方案的换向阀具备：壳体，具有阀室、和分别连接在上述阀室上的第1端口、第2端口及第3端口；以及阀芯，可旋转地设置在上述阀室中，在外壁上具有凹部。附图说明图1是用来例示有关本实施方式的换向阀及涂敷装置的示意图。图2(a)～图2(c)是用来例示有关比较例的换向阀的示意剖视图。图3是用来例示有关本实施方式的换向阀的示意立体图。图4(a)～图4(c)是用来例示有关本实施方式的换向阀的示意剖视图。图5(a)是用来例示有关比较例的换向阀的端口的配置的示意图。图5(b)、图5(c)是用来例示有关本实施方式的换向阀的端口的配置的示意图。图6(a)～图6(c)是用来例示由孔进行的流路的切换的示意图。图7(a)～图7(c)是用来例示由凹部进行的流路的切换的示意图。图8(a)～图8(c)是用来例示有关其他实施方式的凹部的示意图。图9是用来例示有关其他实施方式的涂敷装置的示意图。图10(a)是用来例示换向阀的动作的时间图。图10(b)是用来例示流动体的压力变化的示意曲线图。标号说明1换向阀；1a～1c端口；2供给部；3涂敷部；4载置部；5回收罐；6控制部；7检测部；11壳体；11a阀室；12阀芯；12a中心轴；12b凹部；13驱动部；21罐；22泵；31移动单元；32喷嘴；41工作台；41a台座；42驱动部；43杯；100涂敷装置；101涂敷装置。具体实施方式以下，参照附图对实施方式进行例示。另外，在各图中，对同样的构成要素赋予相同的标号而将详细的说明适当省略。以下，作为一例，说明有关本实施方式的涂敷装置是旋涂机的情况。另外，有关本实施方式的涂敷装置并不限定于旋涂机等具有旋转的工作台的结构。例如，涂敷装置也可以为具有固定的工作台的结构，也可以为具有XY工作台等的在平面内移动的工作台的结构，也可以为具有鼓状等曲面的工作台的结构，也可以为具有带式输送机等的带状的工作台的结构。图1是用来例示有关本实施方式的换向阀1及涂敷装置100的示意图。图2(a)～图2(c)是用来例示有关比较例的换向阀200的示意剖视图。图3是用来例示有关本实施方式的换向阀1的示意立体图。图4是用来例示有关本实施方式的换向阀1的示意剖视图。如图1所示，在涂敷装置100中，设置有换向阀1、供给部2、涂敷部3、载置部4、回收罐5(相当于第2罐的一例)及控制部6。如图3及图4所示，在换向阀1中，设置有壳体11、阀芯12及驱动部13。在壳体11上，设置有端口1a(相当于第1端口的一例)、端口1b(相当于第2端口的一例)及端口1c(相当于第3端口的一例)。端口1a连接在供给部2(罐21(相当于第1罐))上，端口1b连接在涂敷部3(喷嘴32)上，端口1c连接在回收罐5上。此外，在壳体11的内部设置有阀室11a。端口1a、端口1b及端口1c分别连接在阀室11a上。此外，与阀芯12的中心轴12a平行的方向上的端口1c的位置与端口1b的位置不同。阀芯12设置在阀室11a的内部中。阀芯12被设置为，能够以中心轴12a为中心旋转。阀芯12可以呈圆柱状。但是，阀芯12的形状并不限定于圆柱状。阀芯12的形状例如也可以是球状，也可以是圆锥台状。即，阀芯12只要具有与中心轴12a正交的方向的截面为圆的形状就可以。在阀芯12的外壁上设置有凹部12b。凹部12b与阀室11a的内壁之间的空间为流动体的流路。如后述那样，凹部12b在与端口1a连接时与端口1b或端口1c连接。即，换向阀1可以做成三通阀。驱动部13使阀芯12旋转。驱动部13例如可以为气缸等的空压设备、螺线管等的电气设备、伺服马达或脉冲马达等的控制马达等。如果考虑阀芯12的转速的控制及阀芯12的旋转位置的控制等，则驱动部13优选的是控制马达。换向阀1通过凹部12b进行流路的切换。例如，在供给流动体时，换向阀1经由凹部12b使端口1a与端口1b之间连通。此时，端口1a与端口1c之间被封闭。在将流动体的供给停止时，换向阀1经由凹部12b使端口1b与端口1c之间连通。此时，端口1a与端口1b之间被封闭。另外，关于端口1a、端口1b及端口1c的配置以及凹部12b的形状等的详细情况后述。这里，对有关比较例的换向阀200进行说明。如图2(a)～图2(c)所示，换向阀200也是三通阀。换向阀200具有壳体201和阀芯202。在壳体201的内部，形成设置有阀芯202的阀室201a。在壳体201上设置有端口200a、端口200b及端口200c。端口200a能够连接在供给部2上，端口200b能够连接在涂敷部3上，端口200c能够连接到回收罐5。阀芯202呈球状，以中心轴202a为中心旋转。在阀芯202的内部设置有L字状的孔202b。端口200a、端口200b、端口200c及孔202b各自的中心设置在与中心轴202a正交的相同的平面内。在供给流动体时，使供给流动体的泵动作，如图2(a)所示，将孔202b的一方的开口与端口200a连接，将孔202b的另一方的开口与端口200b连接。此时，端口200c被阀芯202的外壁封闭。当使流动体的涂敷停止时，使供给流动体的泵停止，使阀芯202旋转，如图2(c)所示，将孔202b的一方的开口与端口200c连接，将孔202b的另一方的开口与端口200a连接。此时，端口200b被阀芯202的外壁封闭。然后，当再次进行流动体的涂敷时，使阀芯202向反方向旋转，成为图2(a)所示的状态。如图2(b)所示，在进行流路的切换的过程中，端口200a、端口200b及端口200c被阀芯202的外壁封闭。此外，孔202b的2个开口被阀室201a的内壁封闭。因此，在进行流路的切换的过程中，为对处于供给部2侧的流动体和处于孔202b的内部的流动体作用着压力的状态。即，在处于这些部分的流动体中有残压。在此情况下，如果流动体的压力较高，则混入到流路中的气体容易溶入到流动体中。并且，如图2(c)所示，如果处于大致大气压的回收罐5侧与孔202b及供给部2侧被连接，则处于孔202b及供给部2侧的流动体的压力急剧地下降。因此，溶存在流动体中的气体容易析出。如果气体析出，则在流动体中发生气泡。处于孔202b及供给部2侧的流动体被残压向回收罐5的内部压出，但并不是全部的流动体被容纳到回收罐5的内部中。即，在孔202b及供给部2侧残留包含气泡的流动体。如果在孔202b及供给部2侧残留包含气泡的流动体，则当再次进行流动体的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种换向阀，其特征在于，具备：壳体，具有阀室、和分别连接在上述阀室上的第1端口、第2端口及第3端口；以及阀芯，可旋转地设置在上述阀室中，在外壁上具有凹部。

【技术特征摘要】
2018.01.16 JP 2018-0046741.一种换向阀，其特征在于，具备：壳体，具有阀室、和分别连接在上述阀室上的第1端口、第2端口及第3端口；以及阀芯，可旋转地设置在上述阀室中，在外壁上具有凹部。2.如权利要求1所述的换向阀，其特征在于，上述凹部当与上述第1端口连接时，与上述第2端口或上述第3端口连接。3.如权利要求1或2所述的换向阀，其特征在于，与上述阀芯的中心轴平行的方向上的上述第3端口的位置与上述第2端口的位置不同。4.一种换向阀，其特征在于，具备：壳体，具有阀室、和分别连接在上述阀室上的第1端口、第2端口及第3端口；以及阀芯，可旋转地设置在上述阀室中；与上述阀芯的中心轴平行的方向上的上述第3端口的位置与上述第2...

【专利技术属性】
技术研发人员：石原治彦，大城健一，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：日本,JP