脱气装置及带有脱气装置的电镀设备制造方法及图纸

该实用新型专利技术涉及一种脱气装置及带有脱气装置的电镀设备，其中脱气装置，包括：进液口，用于向脱气装置通入待脱气液体；脱气单元，与进液口相连通，用于脱去待脱气液体中的气体；还包括：加热器，设置于进液口与脱气单元之间，与进液口和脱气单元相连通，用于加热流过的待脱气液体，以降低待脱气液体中的气体的溶解度，使待脱气液体中溶解的气体析出。本实用新型专利技术的脱气装置及带有脱气装置的电镀设备具有加热器和脱气单元，能对待脱气液体进行加热，以降低待脱气液体中的气体的溶解度，使待脱气液体中溶解的气体析出，使得使用脱气单元对待脱气液体进行脱气处理时，液体中溶解的大部分气体都被加热析出，从而具有更好的脱气效果。

Degassing device and plating equipment with degassing device

【技术实现步骤摘要】
脱气装置及带有脱气装置的电镀设备
本技术涉及半导体生产领域，具体涉及一种脱气装置及带有脱气装置的电镀设备。
技术介绍
在半导体领域中，经常需要使用到电镀工艺。如使用铜作为金属导线时，就需要使用电镀工艺沉积铜。但是在现有技术中，电镀液中的气体难以去除，而电镀液中的气体通常会使沉积层出现凹坑缺陷，影响最终的电镀效果。在现有技术中，通常利用上下震动的方式将附着于电镀液中的气体震出，并在震出气泡后之后再进行电镀。具体的，上下抖动电镀液，破坏电镀液中气泡的表面张力，将电镀液中的气泡震出。但采用该方法时，电镀液中的气泡震出效果有限，随着电镀反应的进行，电镀液中溶解的气体仍然会进一步析出，在电镀沉积的过程中造成凹坑缺陷，影响最终的电镀效果。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种脱气装置及带有脱气装置的电镀设备，能够在进行脱气处理之前尽可能析出液体中溶解的气体，使参与反应的液体中溶解的气体能够被充分脱出，优化反应效果。为了解决上述技术问题，本技术提供了一种脱气装置，包括：进液口，用于向所述脱气装置通入待脱气液体；脱气单元，与所述进液口相连通，用于脱去待脱气液体中的气体；还包括：加热器，设置于所述进液口与所述脱气单元之间，与所述进液口和脱气单元相连通，用于加热流过的待脱气液体，以降低待脱气液体中的气体的溶解度，使待脱气液体中溶解的气体析出。可选的，还包括：冷却器，与所述脱气单元相连通，用于对经过脱气处理的液体进行冷却处理。可选的，所述冷却器包括双套管，所述双套管包括内管和外管，所述内管设置在外管内，且所述双套管的内管用于通过已经过脱气处理的液体，所述双套管的内管和外管之间充有冷却液，用于冷却自所述内管通过的液体。可选的，所述冷却液包括水。可选的，所述脱气单元包括：真空管，用于盛装所述脱气单元从待脱气液体中脱出的气体；脱气膜管，设置于所述真空管内，与所述加热器相连通，用于对流过的待脱气液体进行脱气处理。可选的，所述脱气单元包括至少两根脱气膜管，并行设置于所述真空管内。可选的，所述脱气膜管的管壁为中空纤维管壁。可选的，所述脱气单元还包括：真空泵，连通至所述真空管，用于对所述真空管进行抽真空。可选的，还包括：过滤器，设置于进液口与所述加热器之间，用于对自所述进液口输入的待脱气液体进行过滤处理，以脱去所述待脱气液体中的杂质。为了解决上述技术问题，本技术还提供了一种带有脱气装置的电镀设备，包括：反应槽，用于盛装发生电镀反应的电镀液；脱气装置，连通至所述反应槽，用于向所述反应槽内通入完成脱气处理的电镀液，包括：进液口，用于向所述脱气装置通入待脱气电镀液；脱气单元，与所述进液口和反应槽相连通，用于脱去待脱气电镀液中的气体，并将脱去气体后的电镀液通入至所述反应槽；加热器，设置于所述进液口与所述脱气单元之间，与所述进液口和脱气单元相连通，用于加热流过的待脱气电镀液，以降低待脱气电镀液中的气体的溶解度，使待脱气电镀液中溶解的气体析出。本技术的脱气装置及带有脱气装置的电镀设备具有加热器，通过加热器对待脱气液体进行加热，以降低待脱气液体中的气体的溶解度，使待脱气液体中溶解的气体析出。这样，在通过脱气单元对加热后的待脱气液体进行脱气处理时，绝大部分溶解于待脱气液体中的气体已经被加热析出，都能够被所述脱气单元脱除，因此具有更好的脱气效果，脱气后的液体中所含的气体更少，在使用脱气后的液体进行反应时，也具有更好的反应效果。附图说明图1为本技术的一种具体实施方式中的脱气装置的结构示意图。图2为本技术的一种具体实施方式中的脱气装置的冷却器的结构示意图。图3为本技术的一种具体实施方式中的脱气装置的脱气单元的结构示意图。图4为本技术的一种具体实施方式中的脱气装置的脱气单元的脱气示意图。图5为本技术的一种具体实施方式中的带有脱气装置的电镀设备的结构示意图。具体实施方式以下结合附图和具体实施方式对本技术提出的一种脱气装置及带有脱气装置的电镀设备作进一步详细说明。请参阅图1，为本技术的一种具体实施方式中的脱气装置的结构示意图。在该具体实施方式中，所述脱气装置包括：进液口100，用于向所述脱气装置通入待脱气液体；脱气单元102，与所述进液口100相连通，用于脱去待脱气液体中的气体；还包括：加热器101，设置于所述进液口100与所述脱气单元102之间，与所述进液口100和脱气单元102相连通，用于加热流过的待脱气液体，以降低待脱气液体中的气体的溶解度，使待脱气液体中溶解的气体析出。在该具体实施方式中，所述加热器101包括加热管道1011和缠绕于所述加热管道1011表面的加热丝1012。所述加热管道1011连通至所述进液口100，用于供待脱气液体流过，所述加热丝1012用于加热流经所述加热管道1011的待脱气液体。在一种具体实施方式中，所述加热丝1012均匀缠绕在所述加热管道1011的外表面，使所述加热管道1011内流过的待脱气液体能够被均匀加热。实际上，也可将所述加热管道1011设置成其他结构，如具有一个加热腔，且加热丝1012均匀缠绕在所述加热腔的外表面。所述加热腔连通至所述进液口100和所述脱气单元102。自进液口100通入所述脱气装置的待脱气液体首先存放在所述加热腔内，由所述加热丝1012对加热腔内的待脱气液体进行加热，并在加热完成后，将待脱气液体排放至所述脱气单元102。在该具体实施方式中，由于加热器101先将待脱气液体加热到一定温度后，再将待脱气液体排放至脱气单元102，因此在设置加热腔时，可以适当延长待脱气液体在加热腔内留存的时间，通过延长加热时间来降低对加热丝1012的功率要求。实际上，也可根据需要使用其他加热结构来加热待脱气液体，如微波加热装置等。当采用所述加热丝1012时，也可将所述加热丝1012设置到加热管道1011或加热腔的其他位置，如设置到所述加热管道1011或加热腔的管壁内。所述待脱气液体被所述加热丝1012加热后，不会造成待脱气液体的物理性质和化学性质的变化，也不会使加热后的待脱气液体与加热管道1011的管壁发生反应，更不会使加热后的待脱气液体与脱气单元102发生反应。在通过加热器101对待脱气液体进行加热，使待脱气液体的温度升高后，气体在待脱气液体中的溶解度降低，原本溶解在待脱气液体中的气体被析出，所述加热器101连通的脱气单元102对待脱气液体进行脱气时，能够将被析出的气体也脱去，对待脱气液体的脱气处理的效果更好。在图1所示的具体实施方式中，所述脱气装置还包括：冷却器103，与所述脱气单元102相连通，用于对经过脱气处理的液体进行冷却处理。设置了冷却器103后，可通过冷却器103将被加热到一定温度的液体冷却至正常的工作温度，防止高于正常工作温度的液体对后续的工艺流程造成影响。请同时参阅图2，为本技术的一种具体实施方式中的脱气装置的冷却器的结构示意图。在该具体实施方式中，所述冷却器103包括双套管，所述双套管包括内管202和外管201，所述内管202的直径小于外管201的直径，设置在外管201内，内管202和外管201之间有夹层，且内管202用于通过已经过脱气处理的液体，所述双套管的内管202和外管201之间的夹层充有冷却液203，用于冷却自所述内管202流经的液体。在一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种脱气装置，包括：进液口，用于向所述脱气装置通入待脱气液体；脱气单元，与所述进液口相连通，用于脱去待脱气液体中的气体；其特征在于，还包括：加热器，设置于所述进液口与所述脱气单元之间，与所述进液口和脱气单元相连通，用于加热流过的待脱气液体，以降低待脱气液体中的气体的溶解度，使待脱气液体中溶解的气体析出。

【技术特征摘要】
1.一种脱气装置，包括：进液口，用于向所述脱气装置通入待脱气液体；脱气单元，与所述进液口相连通，用于脱去待脱气液体中的气体；其特征在于，还包括：加热器，设置于所述进液口与所述脱气单元之间，与所述进液口和脱气单元相连通，用于加热流过的待脱气液体，以降低待脱气液体中的气体的溶解度，使待脱气液体中溶解的气体析出。2.根据权利要求1所述的脱气装置，其特征在于，还包括：冷却器，与所述脱气单元相连通，用于对经过脱气处理的液体进行冷却处理。3.根据权利要求2所述的脱气装置，其特征在于，所述冷却器包括双套管，所述双套管包括内管和外管，所述内管设置在外管内，且所述双套管的内管用于通过已经过脱气处理的液体，所述双套管的内管和外管之间充有冷却液，用于冷却自所述内管通过的液体。4.根据权利要求3所述的脱气装置，其特征在于，所述冷却液包括水。5.根据权利要求1所述的脱气装置，其特征在于，所述脱气单元包括：真空管，用于盛装所述脱气单元从待脱气液体中脱出的气体；脱气膜管，设置于所述真空管内，与所述加热器相连通，用于对流过的待脱气液体进行脱气处理。6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱晓彤，吴孝哲，林宗贤，吴龙江，熊建锋，吴明，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32