一种液体管路以及检测液体管路泄露的方法技术

本申请提供一种液体管路以及检测液体管路泄露的方法，所述液体管路包括：管内壁层，所述管内壁层整体上电绝缘；导电件，设置在所述管内壁层形成的空间内；第一导电层，直接设置在所述管内壁层表面，所述第一导电层的电阻率小于管路内传输介质的电阻率；第一绝缘层，设置在所述第一导电层表面；导线层，设置在所述第一绝缘层表面，所述导线层包括一根以上独立排布的金属线，所述金属线互相不导通；第二绝缘层，设置在所述导线层表面；第二导电层，设置在所述第二绝缘层表面，所述第二导电层的电阻率小于管路内传输介质的电阻率。所述液体管路可在管路发生渗漏的初期发现泄漏点，并精确识别发生泄漏的管路，从而及时处理管路泄露问题。

A liquid pipeline and a method for detecting leakage of liquid pipeline

【技术实现步骤摘要】
一种液体管路以及检测液体管路泄露的方法
本专利技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种半导体制造企业中用于自检泄漏的液体管路以及检测所述液体管路泄露的方法。
技术介绍
当前，半导体行业中大量设备都使用液态管路进行冷却，因此，液体管路在半导体设备里的布置和走向错综复杂，在液态管路由于使用不当或者使用时间过久，会出现不同程度的老化、弯折、渗漏、泄漏甚至爆管等现象，给电器设备带来了巨大的安全隐患，例如电路短路、设备器件发生不可逆转的损坏等现象。由于液体管路布置的复杂性，以及部分液体管路走向的隐蔽性，当所述老化、弯折、渗漏、泄漏甚至爆管等现象发生时，通常并不能及时找到问题点并有效处理。目前为了及时找到问题点，在设备上安装各种传感器，以便在所述现象发生后能检测到泄露，随后再寻找泄漏点。所述方法并不能及时有效处理泄漏问题，可能导致较大的经济损失。因此，需要提供一种能够及时检测液体泄露的新方法，以解决上述技术问题。
技术实现思路
本申请的目的在于提供一种用于自检泄漏的液体管路，所述液体管路可在管路发生老化渗漏的初期，或者其它原因导致泄漏的的初期发现泄漏点，并精确识别发生泄漏的管路，从而及时处理管路泄露问题，避免产生损失。本申请的目的还在于提供一种检测所述液体管路泄露的方法。本申请的一个方面提供一种液体管路，包括：管内壁层，所述管内壁层整体上电绝缘；导电件，设置在所述管内壁层形成的空间内；第一导电层，直接设置在所述管内壁层表面，所述第一导电层的电阻率小于管路内传输介质的电阻率；第一绝缘层，设置在所述第一导电层表面；导线层，设置在所述第一绝缘层表面，所述导线层包括一根以上独立排布的金属线，所述金属线互相不导通；第二绝缘层，设置在所述导线层表面；第二导电层，设置在所述第二绝缘层表面，所述第二导电层的电阻率小于管路内传输介质的电阻率。在本申请的一些实施例中，所述液体管路还包括：第三绝缘层，设置在所述第二导电层表面。在本申请的一些实施例中，所述第一导电层以及第二导电层为网状结构。在本申请的一些实施例中，所述第一导电层以及第二导电层材料为导电橡胶。在本申请的一些实施例中，所述金属线沿管路方向均匀排布在所述第一绝缘层表面。在本申请的一些实施例中，所述金属线材料为铝或者铜。本申请的另一方面还提供一种检测液体管路泄露的方法，包括：利用所述的任一液体管路，将所述液体管路的导电件，第一导电层，导线层，第二导电层分别连接至检测报警系统并监测其导通状况；所述导电件，第一导电层以及第二导电层中的任意两个线路发生电导通，或者所述导线层中的任意一根金属线与检测报警系统之间从导通状态变为断路状态，则发出警报。在本申请的一些实施例中，仅导电件与第一导电层导通，则判断所述液体管路老化。在本申请的一些实施例中，导电件与第一导电层和第二导电层同时导通，则判断所述液体管路存在泄露点。在本申请的一些实施例中，所述导线层中的任何一根金属线与检测报警系统之间从导通状态变为断路状态，则判断所述液体管路外表面破损或者发生弯折。在本申请的一些实施例中，通过检测所述液体管路的导电件，第一导电层，导线层，第二导电层的电阻值来判断其导通状态。采用本申请所述的液体管路以及检测液体管路泄露的方法，可实时监控液体管路的状态，当管路发生本申请所述的风险状况时，可提前发现并预警提示液体管路老化，存在泄漏风险；在管路泄漏初期及已发生泄漏时可及时发现并做紧急处置；液体管路外壁发生破损时可及时发现并预警提示；在液体管路发生泄漏时能给应急处置人员提供精确的泄漏源头信息；从而给管路工程师争取了足够多的提前处置时间，减小了管路的泄漏损失，做到了提前发现，提前处置的高效安全的联动机制。本申请中另外的特征将部分地在下面的描述中阐述。通过该阐述，使以下附图和实施例叙述的内容对本领域普通技术人员来说变得显而易见。本申请中的专利技术点可以通过实践或使用下面讨论的详细示例中阐述的方法、手段及其组合来得到充分阐释。附图说明以下附图详细描述了本申请中披露的示例性实施例。其中相同的附图标记在附图的若干视图中表示类似的结构。本领域的一般技术人员将理解这些实施例是非限制性的、示例性的实施例，附图仅用于说明和描述的目的，并不旨在限制本公开的范围，其他方式的实施例也可能同样的完成本申请中的专利技术意图。应当理解，附图未按比例绘制。其中：图1示出了根据本申请的一些实施例所示的液体管路的横截面结构示意图；图2示出了根据本申请的一些实施例所示的液体管路的沿管路方向剖开的剖面结构示意图示意图；图3示出了根据本申请的一些实施例所示的液体管路的横截面结构示意图；图4示出了根据本申请的一些实施例所示的液体管路的沿管路方向剖开的剖面结构示意图示意图。具体实施方式以下描述提供了本申请的特定应用场景和要求，目的是使本领域技术人员能够制造和使用本申请中的内容。对于本领域技术人员来说，对所公开的实施例的各种局部修改是显而易见的，并且在不脱离本公开的精神和范围的情况下，可以将这里定义的一般原理应用于其他实施例和应用。因此，本公开不限于所示的实施例，而是与权利要求一致的最宽范围。参考附图1以及附图3所示，本申请提供一种液体管路，所述液体管路包括：管内壁层10，所述管内壁层10整体上电绝缘；导电件11，设置在所述管内壁层10形成的空间内；第一导电层12，直接设置在所述管内壁层10表面，所述第一导电层12的电阻率小于所述液体管路内传输介质的电阻率；第一绝缘层13，设置在所述第一导电层12表面；导线层14，设置在所述第一绝缘层13表面，所述导线层14包括一根以上独立排布的金属线，所述金属线互相不导通；第二绝缘层15，设置在所述导线层14表面；第二导电层16，设置在所述第二绝缘层15表面，所述第二导电层16的电阻率小于所述液体管路内传输介质的电阻率。结合附图2以及附图4所示，本实施例所述的液体管路还包括第三绝缘层17，所述第三绝缘层17设置在第二导电层表面。下面结合附图1以及附图3对本申请所述的液体管路进行进一步的详细说明。管内壁层10需要满足常规液体管路在强度，耐腐蚀性等方面的需求，可以是单层材料一体化成型制作的单层管，例如塑料管，碳纤维管等，也可以是包括绝缘材料、弱导电材料(如导电纤维，导电橡胶)以及耐腐蚀材料等多种材料形成的复合管或者多层管，然而，本实施例中，所述管内壁层10整体上电绝缘。也就是说，所述管内壁层10内表面必须是电绝缘的，所述的内表面指用于容纳流动液体的表面，所述的内表面形成一个封闭的空间。所述管内壁层10的外表面，也即与第一导电层12直接接触的表面，必须是电绝缘的，以避免与所述第一导电层12发生电导通。本实施例所述的导电件11为导电性能好的导体，例如为金属材料，所述的金属又例如银，铜等材料，本实施例对所述的导电件11的形状，大小都没有严格限制，所述的导电件11设置在所述管内壁层10形成的空间内，可位于所述管内壁层10内的任意位置，并且，所述导电件11在所述管内壁层10内的位置可发生变动，比如，液体管路内有液体流动的时候，或者液体管路发生位置转移的时候等。在本申请的一些实施例中，所述的导电件11通过连接线与液体管路的检测报警系统连通，所述的连接线通过液体管路的阀门引出至检测报警系统。本实施例所述的第一导电层12直接设置在所述管内壁层10表面本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液体管路，其特征在于，包括：管内壁层，所述管内壁层整体上电绝缘；导电件，设置在所述管内壁层形成的空间内；第一导电层，直接设置在所述管内壁层表面，所述第一导电层的电阻率小于管路内传输介质的电阻率；第一绝缘层，设置在所述第一导电层表面；导线层，设置在所述第一绝缘层表面，所述导线层包括一根以上独立排布的金属线，所述金属线互相不导通；第二绝缘层，设置在所述导线层表面；第二导电层，设置在所述第二绝缘层表面，所述第二导电层的电阻率小于管路内传输介质的电阻率。

【技术特征摘要】
1.一种液体管路，其特征在于，包括：管内壁层，所述管内壁层整体上电绝缘；导电件，设置在所述管内壁层形成的空间内；第一导电层，直接设置在所述管内壁层表面，所述第一导电层的电阻率小于管路内传输介质的电阻率；第一绝缘层，设置在所述第一导电层表面；导线层，设置在所述第一绝缘层表面，所述导线层包括一根以上独立排布的金属线，所述金属线互相不导通；第二绝缘层，设置在所述导线层表面；第二导电层，设置在所述第二绝缘层表面，所述第二导电层的电阻率小于管路内传输介质的电阻率。2.如权利要求1所述的液体管路，其特征在于，所述液体管路还包括：第三绝缘层，设置在所述第二导电层表面。3.如权利要求1所述的液体管路，其特征在于，所述第一导电层以及第二导电层为网状结构。4.如权利要求3所述的液体管路，其特征在于，所述第一导电层以及第二导电层材料为导电橡胶。5.如权利要求1所述的液体管路，其特征在于，所述金属线沿管路方向均匀排布在所述第一绝缘层...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘庆超，徐丽芝，唐磊，颜廷彪，黄志凯，叶日铨，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32