【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种大流体输送装置,用以传送一流体,其特征在于包含: 一阀体座,其具有一微凸结构; 一阀体盖体,其设置于该阀体座上,且具有一压力腔室以及一微凸结构; 一阀体薄膜,其设置于该阀体座及该阀体盖体之间,并具有至少一个阀开关结构;以及 一致动装置,其包含一致动器以及一振动薄膜; 其中,当施以操作频率10Hz-50Hz于该致动装置的该致动器上,该致动装置将致使该压力腔室体积改变,进而驱动该阀开关结构的启闭作用,以使流经该压力腔室的该流体达到5cc/min以上的大流量传输。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:陈世昌,郑江河,余荣侯,蔡志宏,邱士哲,
申请(专利权)人:研能科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]
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