大流体输送装置制造方法及图纸

技术编号:2159934 阅读:160 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术是一种大流体输送装置,其包含:阀体座,具有微凸结构;阀体盖体,具有压力腔室以及微凸结构;阀体薄膜,设置于阀体座及阀体盖体之间,具有至少一个阀开关结构,其杨氏系数是2GPa至240GPa,厚度是10μm至50μm,阀开关结构与微凸结构相抵触以形成一预作用力,使阀开关结构与阀体座及阀体盖体之间形成一间隙,其距离是10μm至790μm;以及致动装置,包含致动器以及振动薄膜;其中,当施以操作频率10Hz-50Hz于致动装置的致动器上,致动装置将致使压力腔室体积改变,进而驱动阀开关结构的启闭,以使流经压力腔室的流体达到5cc/min以上的大流量传输。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种大流体输送装置,用以传送一流体,其特征在于包含: 一阀体座,其具有一微凸结构; 一阀体盖体,其设置于该阀体座上,且具有一压力腔室以及一微凸结构; 一阀体薄膜,其设置于该阀体座及该阀体盖体之间,并具有至少一个阀开关结构;以及 一致动装置,其包含一致动器以及一振动薄膜; 其中,当施以操作频率10Hz-50Hz于该致动装置的该致动器上,该致动装置将致使该压力腔室体积改变,进而驱动该阀开关结构的启闭作用,以使流经该压力腔室的该流体达到5cc/min以上的大流量传输。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈世昌郑江河余荣侯蔡志宏邱士哲
申请(专利权)人:研能科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]

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